Manuels Connexes pour Edwards Diffstak 63/150M
Sommaire des Matières pour Edwards Diffstak 63/150M
- Page 1 B344-21-883 Edition N Mode d’emploi Pompes à diffusion Diffstak® Rév. 2 Diffstak 63/150, 100/300, 160/700 et 250/2000, modèles M, P, C et F...
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- Page 3 Déclaration de conformité Nous, la société Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, R.U. déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que le ou les produit(s) suivant(s)
- Page 4 Déclaration de conformité Nous, la société Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, R.U. déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que le ou les produit(s) suivant(s)
- Page 5 Réadmission d’air dans le système de vide .................34 Ré-évacuation du système de vide ...................34 Arrêt de la pompe ......................34 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page i Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 6 Pièces détachées pour pompes Diffstak modèles M et P ............52 Accessoires .......................53 Pour un retour d’équipement, complétez les formulaires HS à la fin de ce manuel. Page ii © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 7 Viton™ est une marque déposée de DuPont Dow Elastomers L.L.C. Diffstak est une marque déposée du groupe de sociétés Edwards. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page iii Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 8 B344-21-883 Edition N Cette page a été laissée intentionnellement vierge. Page iv © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 9 Introduction Portée et définitions Ce manuel donne les instructions d’installation, d’utilisation et d’entretien des pompes à diffusion Edwards Diffstak Rév. 2. Il convient d’utiliser la pompe Diffstak comme indiqué dans ce manuel. Lisez ce manuel avant d’installer et d’utiliser la pompe. Les informations de sécurité importantes sont mises en évidence dans des encadrés intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION.
- Page 10 Page 2 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 11 Le jet d’éjection purge également le fluide de tout contaminant lors de son retour vers la chaudière et garantit simultanément une pression critique de refoulement élevée, même en cas d’utilisation de fluides à faible pression de vapeur. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 3 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 12 17. Entretoise fluide 9. Condenseur au refoulement 18. Elément chauffant 28. Vidange de fluide Page 4 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 13 7. Barre d’accouplement 14. Bloc de connexions 24. Chapeau de baffle 8. Raccordement au 15. Câbles électriques refoulement 16. Elément chauffant © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 5 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 14 8. Condenseur à baffle thermique de défaillance de 9. Orifice de refoulement refroidissement 10. Jet d’éjecteur 18. Tube de vapeur Page 6 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 15 9. Condenseur à baffle 18. Corps de pompe 10. Orifice de refoulement 19. Vanne d’isolement à vide poussé 11. Jet d’éjecteur © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 7 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 16 B344-21-883 Edition N Cette page a été laissée intentionnellement vierge. Page 8 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 17 Pour les applications ne nécessitant pas de débit maximal, la pompe RV3 peut être utilisée. † Pompes modèle P seulement. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 9 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 18 20 kg Dimensions Voir la Figure 7 Caractéristiques du fluide de pompe Remarque : Les fiches de sécurité des matériaux Edwards concernant les fluides suivants sont disponibles sur demande. Type de fluide Pression critique de refoulement Vide limite Santovac 5 0.6 mbar...
- Page 19 B348-40-976 210 à 225 V, monophasée, 50/60 Hz B346-40-977 B348-40-977 230 à 250 V, monophasée, 50/60 Hz B346-40-978 B348-40-978 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 11 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 20 B344-21-883 Edition N Figure 5 - Dimensions des pompes Diffstak modèle M (mm) 1. 63/150M 3. 60/700M 2. 100/300M 4. 250/2000M Page 12 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 21 B344-21-883 Edition N Figure 6 - Dimensions des pompes Diffstak modèle P (mm) 1. 63/150P 3. 160/700P 2. 100/300P 4. 250/2000P © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 13 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 22 B344-21-883 Edition N Figure 7 - Dimensions des pompes Diffstak modèle C (mm) 1. 63/150C 3. 160/700C 2. 100/300C 4. 250/2000C Page 14 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 23 Diffstak 250/2000 sont donc recouvertes d’un fin film de ce fluide. Vous devez nettoyer la pompe avant de la remplir d’un fluide autre que du Santovac 5 (voir la Section 3.9). © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 15 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 24 Raccordements de vide Les configurations types d’un système de vide dans lequel la pompe Diffstak est installée sont illustrées aux Figures 18 et 19. Les composants Edwards requis pour raccorder les conduites de refoulement et de prévidage sont illustrés aux Figures 12 et 13.
- Page 25 Figure 8 - Détails de montage de bride d’aspiration 1. Bride d’aspiration 3. Goujon 2. Trou de fixation 4. Boulon © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 17 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 26 Figure 11 - Raccordement à l’aspiration de pompe Diffstak modèle C 1. Joint Co-Seal 2. Ensemble collier/tube ISO 3. Griffe de serrage 4. Bride d’aspiration de pompe Diffstak Page 18 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 27 ISO directement sur l’ensemble tube et collier ISO. Les boulons ne sont pas disponibles auprès d’Edwards. Les boulons ne sont pas requis pour les pompes modèle C. Utilisez des griffes de serrage pour boulonner la bride d’aspiration de pompe ISO directement sur l’ensemble tube et collier ISO.
- Page 28 ISO directement sur l’ensemble tube et collier ISO. Utilisez 6 griffes de serrage pour la bride ISO250. Les boulons ne sont pas disponibles auprès d’Edwards. Les boulons ne sont pas requis pour les pompes modèle C. Utilisez des griffes de serrage pour boulonner la bride d’aspiration de pompe ISO directement sur l’ensemble tube et collier ISO.
- Page 29 Diffstak 63/150, 100/300 et 160/700. Vous devrez utiliser deux vannes séparées (du type Edwards Modèle PV40) pour la sélection du mode de fonctionnement prévidage ou refoulement lorsque que vous raccordez une pompe Diffstak 250/2000 à votre système de vide.
- Page 30 5.8), placez les éléments chauffants dans un four à une température de 180 C pendant environ 8 heures puis reposez-les sur la pompe. Page 22 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 31 6. Ecran antirayonnement 7. Bloc de connexions en céramique 8. Câbles d’éléments de chauffage au nickel 9. Boîte de connexions © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 23 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 32 Ce rupteur peut être positionnée à l’extrémité du boîtier au niveau de l’étage éjecteur. Les détails d’installation sont fournis dans le mode d’emploi fourni avec le rupteur. Page 24 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 33 ; la borne au centre du microrupteur est la borne normalement ouverte. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 25 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 34 Le niveau d’étanchéité requis dépend de l’application du système. Vous devez effectuer un essai d’étanchéité du système pour assurer son étanchéité et celle de ses joints de vide. Page 26 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 35 Produits très Potentiellement décomposés, agressifs. mortel dont l’acide Toxiques et Perfluoropolyé- fluorhydrique caustiques en ther d’inhalation et de contact cutané. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 27 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 36 9. Vanne d’isolement à vide poussé de pompe 5. Lubrificateur Diffstak à sécurité intrinsèque ouverte 6. Vanne de commande à 5 orifices standard Page 28 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 37 6. Reposez la jauge et le joint torique et reposez et serrez l’écrou moleté sur le raccord du tube de remplissage. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 29 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 38 B344-21-883 Edition N Cette page a été laissée intentionnellement vierge. Page 30 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 39 ‘Refoulement’ (Backing) puis ouvrez lentement la vanne d’isolement à vide poussé. Si vous ouvrez la vanne trop rapidement, vous risquez de faire caler la pompe. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 31 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 40 7. Pompe secondaire rotative 4. Vanne combinée de prévidage et de 8. Pompe Diffstak refoulement 9. Vanne d’isolement à vide poussé Page 32 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 41 4. Vanne de prévidage 9. Pompe Diffstak 5. Tête de jauge de refoulement 10. Vanne d’isolement à vide poussé © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 33 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 42 4. Coupez l’alimentation en eau de refroidissement. Page 34 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 43 Diffstak ait surchauffé suite à une utilisation incorrecte ou à une anomalie de fonctionnement de la pompe Diffstak. Les fiches de sécurité des matériaux Edwards concernant les produits fluorés utilisés dans la pompe Diffstak sont disponibles sur demande.
- Page 44 5. Inspectez le joint torique de la jauge. Remplacez-le s’il est endommagé ou si un choc thermique s’est produit. 6. Reposez le joint torique et la jauge. Page 36 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 45 2. Déposez les vis de fixation du clapet sur l’axe et détachez le clapet (voir les Figures 20 et 21). 3. Sortez soigneusement l’axe de clapet avec son levier du corps de vanne. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 37 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 46 Pompes Diffstak 250/2000 : Dévissez le chapeau de jet supérieur puis retirez les sections du second et troisième étage séparément. Page 38 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 47 5. Vis (x 4) 2. Joints toriques d’axe de clapet 6. Contre-bride 3. Clapet 7. Joint de clapet 4. Axe de clapet © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 39 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 48 à fond. (Suite à la page Page 40 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 49 3. Support 4. Vis de fixation 5. Microrupteur de vanne fermée 6. Corps de vanne 7. Microrupteur de vanne ouverte © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 41 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 50 1. Déposez l’ensemble éléments chauffants. 2. Déposez l’écran antirayonnement. 3. Nettoyez l’écran antirayonnement. 4. Reposez l’écran antirayonnement puis l’ensemble éléments chauffants. Page 42 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 51 à la graisse Fomblin RT15. 5. Remontez la vanne et reposez la pompe de la manière décrite à la Section 5.5.6. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 43 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 52 Figure 25 - Ensemble éléments chauffants : Pompes Diffstak 63/150 et 100/300 1. Boîte de connexions 4. Ecran antirayonnement 2. Elément chauffant 5. Chaudière de pompe 3. Ecrou Page 44 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 53 1. Boîte de connexions 5. Ecran antirayonnement 2. Elément chauffant 6. Brides de serrage 3. Ecrou 7. Chaudière de pompe 4. Ecrou © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 45 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 54 10. Appliquez du mastic d’étanchéité (tel que Loctite 222e) sur la vis de serrage (7) et serrez la vis de serrage à un couple de 0,4 Nm. Page 46 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 55 6. Indicateur de position (vanne ouverte) 3. Rainure en queue d’aronde 7. Vis de serrage 4. Fils d’indicateur de position © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 47 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 56 Les joints toriques sont-ils trop Vérifiez et corrigez. lubrifiés ? Y a-t-il une charge excessive de Eliminez-la si nécessaire. fluide ? Page 48 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 57 Les fluoroélastomères soumis à des températures dépassant 315 C (voir la Section 5.1) Les composants contaminés par des substances de traitement dangereuses. © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 49 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 58 B344-21-883 Edition N Cette page a été laissée intentionnellement vierge. Page 50 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 59 Edwards très complets. Commandez vos pièces et accessoires à la société ou au distributeur Edwards les plus proches. Lors de la commande, indiquez pour chaque composant requis les éléments suivants : le modèle et la référence de votre équipement.
- Page 60 Un élément chauffant de chaque puissance nominale est requis pour les pompes Diffstak 160/700 et 250/2000. ▲ Lot de 5 ✝ Lot de 2 ◆ Pompes modèle P seulement Page 52 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 61 110 V c.a., monophasée, 50/60 Hz H062-00-136 230 V c.a., monophasée, 50/60 Hz H062-00-137 Co-Seal, polymère/fluoroélastomère ✝ Ensemble joint torique à bague de renfort © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Page 53 Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 62 B344-21-883 Edition N Cette page a été laissée intentionnellement vierge. Page 54 © Edwards Limited 2007. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
- Page 63 Téléchargez la dernière version des documents sur www.edwardsvacuum.com/HSForms/, suivez la procédure du formulaire HS1, renseignez le formulaire HS2 électronique, imprimez, signez et renvoyez l'exemplaire signé à Edwards. Remarque : Si nous ne recevons pas le formulaire HS2 rempli, nous n’acceptons pas le retour des...
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