Page 1 TV 303 Pump model: 969-8964 Controller model: 969-8998 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Page 2 Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 3 TV 303 TV 303 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 3/268...
Page 4 TV 303 4/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 5: Table Des Matières
Preparazione per l’installazione 17 Installazione 19 Uso 21 Manutenzione 23 Smaltimento 24 Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen 27 Lagerung 29 Vor der Installation 29 Installation 31 Gebrauch 33 Wartung 35 Entsorgung 36 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 5/268...
Page 6 Informacion general 51 Almacenamiento 53 Preparación para la instalación 53 Instalación 55 Uso 57 Mantenimiento 59 Eliminación 60 Manual de Istruções 61 Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais 63 Armazenagem 65 6/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 7 77 Uitpakken 77 Installatie 79 Gebruik 81 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog 85 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86 Generel information 87 Opbevaring 89 Forberedelse før installation 89 Installation 91 Anvendelse 93 Vedligeholdelse 95 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 7/268...
Page 8 Instruksjon Manual 109 Sikkerhetsanvisninger for turbomolekylære pumper 110 Generell informasjon 111 Lagring 112 Klargjøring før Installasjon 112 Installasjon 114 Bruk 116 Vedlikehold 119 Avfallsbehandling 120 10 Ohjekäsikirja 121 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122 Yleistä tietoja 123 8/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 9 138 Telepítés 139 Használat 141 Karbantartás 143 Megsemmisités 144 12 Podrecznik Instrukcji 145 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 146 Ogolne informacje 147 Magazynowanie 149 Przygotowanie do instalacji 149 Instalacja 151 Uzytkowanie 154 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 9/268...
Page 10 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 172 Všeobecné informácie 173 Uchovávanie 175 Príprava pre inštaláciu 175 Inštalácia 177 Použitie 179 Údržba 181 Likvidácia 182 15 Priročnik za Navodila 183 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184 10/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 11 Preparation for Installation 199 Installation 201 Use 203 Maintenance 205 Disposal 206 17 Technical Information 207 Description of the TV 303 209 Technical Specification 212 TV 303 Outline 214 Interconnections 216 Inlet Screen Installation 235 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 11/268...
Page 12 Vibration Isolator Installation 248 Purge Valve Installation 249 Serial Cable Installation 251 TV 303 Controller Installation 252 Pump used with Corrosive Gases 258 Pump used in Presence of Magnetic Fields 260 Accessories and Spare Parts 261 12/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 13: Istruzioni Per L'uso
TV 303 User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 17 Installazione Accensione ed Uso della TV 303 22 Arresto della TV 303 Arresto di Emergenza 23 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/268...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 15: Informazioni Generali
La TV 303 è una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
Page 16 I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 17: Immagazzinamento
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la TV 303 e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 94/62 e successive modifiche per la tutela dell’ambiente.
Page 18 Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. Figura 1 La TV 303 non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta NOTA all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
Page 19: Installazione
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La TV 303 deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 20 EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. La TV 303 ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Page 21: Uso
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 21/268...
Page 22: Accensione Ed Uso Della Tv 303
(vedere il paragrafo “RS232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” nell’appendice “Technical Information”). Il LED verde posto sul pannello della base della TV 303 indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;...
Page 23: Manutenzione
Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza la TV 303 occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di alimentazione elettrica. Manutenzione Il TV 303 non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
Page 24: Smaltimento
24/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 25: Gebrauchsanleitung
TV 303 User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 303 Stoppen von Modell TV 303 35 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/268...
Page 26: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 26/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 27: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Missachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Das Modell TV 303 ist eine Turbomolekular-Pumpe für hohe und sehr hohe Vakuumanwendungen. Sie eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemi-schen, nicht jedoch für das Pumpen von Flüssigkeiten oder Festpartikeln.
Page 28 Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text HINWEIS hervorgehoben werden. 28/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 29: Lagerung
Das Modell TV 303 wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 303 ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Page 30 Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Abbildung 1 Modell TV 303 kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es HINWEIS sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Page 31: Installation
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 303 ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 31/268...
Page 32 Installation Modell TV 303 kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 303 ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 33: Gebrauch
Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluss soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 33/268...
Page 34: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 303
Modus mittels der Software freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 303 gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des Systems Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Page 35: Wartung
Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 303 in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. Wartung Modell TV 303 erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
Page 36: Entsorgung
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 36/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 37: Mode D'emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l'installation Installation Utilisation Mise en marche et utilisation de la TV 303 Arrêt de la TV 303 46 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...
Page 38: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 38/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 39: Indications Générales
TV 303 est totalement exempte d'agents polluants et elle par conséquent indiquée pour toutes les applications exigeant un vide "propre". La TV 303 est en outre dotée de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté...
Page 40 Les messages d'avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. NOTE 40/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 41: Stockage
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par- ticulièrement à ne pas laisser tomber la TV 303 et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Page 42 éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. Figure 1 La TV 303 ne peut s'endommager en restant simplement exposée à NOTE l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé...
Page 43: Installation
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". La TV 303 doit être connectée à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 44 être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché à la TV 303 a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Page 45: Utilisation
"Technical Information"). AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 45/268...
Page 46: Mise En Marche Et Utilisation De La Tv 303
"Soft Start", il est nécessaire d'activer ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information"). La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base de la TV 303 indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale;...
Page 47: Entretien
Avant d’effectuer les opérations d’entretien à l’intérieur de l’unité débrancher le câble d’alimentation. Arrêt d'urgence Pour arrêter la TV 303 en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation de la prise électrique. Entretien La TV 303 n'exige aucun entretien particulier. Toute interven-tion doit être effectuée par un personnel agréé.
Page 48: Mise Au Rebut
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. 48/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Informacion general Almacenamiento Preparación para la instalación 53 Instalación Uso 57 Encendido y Uso de la TV 303 Parada de la TV 303 Parada de Emergencia 59 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Page 50: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 50/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 51: Informacion General
La TV 303 es una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controlador correspondiente. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de composición...
Page 52 Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Las notas contienen informaciones importantes extrapoladas del texto. NOTA 52/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 53: Almacenamiento
Agilent. Preparación para la instalación La TV 303 se suministra en un embalaje especial de protección;si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 54 Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. Figura 1 LA TV 303 no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesta a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Page 55: Instalación
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. La TV 303 ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 56 Manual de istrucciones Instalación LA TV 303 puede instalarse en cualquier posición. Fijar la TV 303 en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje.
Page 57: Uso
(Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 57/268...
Page 58: Encendido Y Uso De La Tv 303
“RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). El LED verde situado en el panel de la base de la TV 303 indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: encendido fijo: la bomba está en rotación normal;...
Page 59: Mantenimiento
Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia la TV 303 es necesario desconectar cable de la toma de alimentación eléctrica. Mantenimiento LA TV 303 no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá...
Page 60: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. 60/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 61: Manual De Istruções
TV 303 User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização da TV 303 70 Paragem da TV 303 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/268...
Page 62: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 62/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 63: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. A TV 303 é uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é adequado para bombear líquidos ou partículas sólidas.
Page 64 As mensagens de atenção chamam a atenção do operador sobre um procedimento ou um processo específico que, se não executado em modo correto, poderia provocar graves lesões pessoais. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 64/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 65: Armazenagem
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a TV 303 e para não submetê-la a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
Page 66 à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. Figura 1 A TV 303 não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à NOTA atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
Page 67: Instalação
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". A TV 303 deve ser ligada a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 68 Manual de Istruções Instalação A TV 303 pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a TV 303 em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.
Page 69: Utilização
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 69/268...
Page 70: Acendimento E Utilização Da Tv 303
Não usar a bomba na presença de gases explosivos. Acendimento e Utilização da TV 303 Para ligar a TV 303 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller reconhece automaticamente o sinal de activação, e acciona a bomba.
Page 71: Manutenção
Antes de realizar operações de manutenção no interno da unidade, desligar o cabo de alimentação. Paragem de Emergência Para parar a TV 303 em condições de emergência é necessário desligar o cabo de alimentação da tomada de alimentação eléctrica. Manutenção A TV 303 não requer qualquer manutenção.
Page 72: Eliminação
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. 72/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 73: Bedrijfshandleiding
TV 303 User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag 77 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 303 Afzetten van de TV 303 82 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/268...
Page 74: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 74/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 75: Algemene Informatie
De TV 303 is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die in staat is om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Page 76 Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 76/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 77: Opslag
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 303 niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG- milieurichtlijn 94/62 en latere wijzigingen.
Page 78 Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. Figuur 1 De TV 303 kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer OPMERKING blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Page 79: Installatie
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De TV 303 moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 80 Controleer of de inrichting verbonden met de TV 303 goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Page 81: Gebruik
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 81/268...
Page 82: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 303
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. Inschakeling en gebruik van de TV 303 Om de TV 303 in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De controller herkent automatisch de aanwezigheid van het startsignaal en start de pomp.
Page 83: Onderhoud
Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 303 in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van het stopcontact worden losgekoppeld. Onderhoud De TV 303 is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
Page 84: Afvalverwerking
84/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 85: Istruktionsbog
TV 303 User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelse før installation 89 Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 303 Stop af TV 303 Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/268...
Page 86: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 86/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 87: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (66000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 303 er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent”...
Page 88 Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 88/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 89: Opbevaring
TV 303 leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 303 ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 94/62 om miljøbeskyttelse samt efterfølgende ændringer.
Page 90 Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse. Figur 1 Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 303. Det anbefales dog, at BEMÆRK opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen.
Page 91: Installation
0 – 95 % (ikke kondenserende) Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TV 303 skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 91/268...
Page 92 Istruktionsbog Installation TV 303 kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 303 i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen. Flangen ISO 100 K kan for eksempel fastgøres med klemmer af højstyrkestål (type Agilent -model IC 63250 DCMZ).
Page 93: Anvendelse
I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 93/268...
Page 94: Start Og Anvendelse Af Tv 303
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TV 303 For at starte TV 303 er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Styreenhed genkender automatisk startsignalet, og starter pumpen. “Soft Start” moden bruges for at tænde pumpen efter lang stilstand.
Page 95: Vedligeholdelse
Før der foretages vedligeholdelses- operationer inde i enheden, skal man koble fødekablet fra. Nødstop Afbrydelse af TV 303 i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra stikkontakten. Vedligeholdelse TV 303 behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale.
Page 96: Bortskaffelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. 96/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 97: Bruksanvisning
TV 303 User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installationen 100 Installation Användning Start och användning av TV 303 105 Att stänga av TV 303 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/268...
Page 98: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 98/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 99: Allmän Information
Inga tillsatsämnen används i TV 303, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 303 har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
Page 100: Förvaring
TV 303 levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 303 inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 94/62 och följande ändringar om...
Page 101 OBSERVER! p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Figur 1 Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 303. Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Page 102: Installation
0 – 95 % (utan kondens). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 303 måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). 102/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 103 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 303 har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Page 104: Användning
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). 104/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 105: Start Och Användning Av Tv 303
Stop eller "Waiting for interlock"; hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd. Att stänga av TV 303 Om du vill stänga av TV 303 behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.
Page 106: Underhåll
Dra därför alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti enheten. Nödstopp Dra ut elsladden från eluttaget för att utföra ett nödstopp av TV 303. Underhåll TV 303 är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
Page 107: Bortskaffning
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 107/268...
Page 108 Bruksanvisning Bortskaffning 108/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 109: Instruksjon Manual
TV 303 User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for turbomolekylære pumper Generell informasjon Lagring 112 Klargjøring før Installasjon 112 Installasjon Bruk Starte og bruke TV 303 117 Stoppe TV 303 117 Nødstopp Vedlikehold Avfallsbehandling 120 Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 109/268...
Page 110: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene i denne håndboken følges nøye! 110/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 111: Generell Informasjon
TV 303 er en turbomolekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg. Den kan pumpe alle typer gass eller gassblandinger, men er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Page 112: Lagring
Når TV 303 pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alt materiale er 100 % resirkulerbart og er i samsvar med EU-direktiv 94/62 om miljøbeskyttelse og etterfølgende endringer.
Page 113 Instruksjon Manual Klargjøring før Installasjon Figur 1 Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 303. Likevel anbefaler MERK vi at du holder pumpen lukket til den er montert i systemet slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 114: Installasjon
TV 303 må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). TV 303 kan monteres i en valgfri stilling. Fest TV 303 i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen.
Page 115 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 303 har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil (jf. EN 61010-1 standarden).
Page 116: Bruk
å beskytte lagrene (se “Technical Information”). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser, skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 116/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 117: Starte Og Bruke Tv 303
“Waiting for interlock” Den blinker hurtig (ca. hver 200 ms) ved feiltilstand. Stoppe TV 303 TV 303 stoppes ved at den koples fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 118: Nødstopp
Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra den elektriske kontakten for å stoppe TV 303 i en nødssituasjon. 118/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 119: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 303 er vedlikeholdsfri. Alt arbeid på systemet skal kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før det utføres noe som helst arbeid på systemet, skal strømtilførselen kobles fra. Pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 120: Avfallsbehandling
– IKKE behandles som vanlig husholdnings-/industriavfall. Vi oppfordrer derfor sluttbrukeren om å henvende seg til produktleverandøren (produsenten eller en forhandler), som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert vilkårene og betingelsene i kjøpekontrakten. 120/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 121: Ohjekäsikirja
TV 303 User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122 Yleistä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 129 TV 303:n käynnistys ja käyttö TV 303:n pysäyttäminen 130 Hätäpysäytys 131 Huolto 131 Havittaminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 121/268...
Page 122: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 122/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 123: Yleistä Tietoja
TV 303:ssa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. TV 303 -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen avulla (RS 232/RS 485).
Page 124 Ohjekäsikirja Yleistä tietoja VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 124/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 125: Varastointi
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa HUOMIO! tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent -edustajalta. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 125/268...
Page 126: Valmistelut Asennusta Varten
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Kuva 1 TV 303 ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On kuitenkin HUOM suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
Page 127: Asennus
0 – 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 303 tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” - liitteen kaaviota). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 127/268...
Page 128 Ohjekäsikirja Asennus TV 303 voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TV 303 vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 1000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi laippa ISO 100 K voidaan kiinnittää suurta rasitusta kestävillä teräspuristimilla (tyyppiä Agilent IC 63250 DCMZ).
Page 129: Käyttö
(typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 129/268...
Page 130: Tv 303:N Käynnistys Ja Käyttö
(ks. kappale “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” “Technical Information” - liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 303:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa;...
Page 131: Huolto
Hätäpysäytys TV 303 on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli pistorasiasta. Huolto TV 303 ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä...
Page 132: Havittaminen
EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 132/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 133: Felhasználói Kézikönyv
TV 303 User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás 137 Előkészités telepítésre 138 Telepítés Használat A TV 303 bekapcsolása és használata A TV 303 kikapcsolása 142 Vészleállítás 143 Karbantartás Megsemmisités Az eredeti utasítás fordítása 133/268...
Page 134: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
– esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 134/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 135: Általános Informáicó
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 303 oylan nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz megfelelő turbomolekuláris szivattyú, amely bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni, de nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására.
Page 136 Általános informáicó VESZÉLY! A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 136/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 137: Tárolás
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni FIGYELEM! a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 137/268...
Page 138: Előkészités Telepítésre
Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. Ábra 1 A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 303-t. Mégis MEGJEGYZÉS ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.
Page 139: Telepítés
„Technical Information” függelékben) relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló) Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A TV 303-t primer szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 139/268...
Page 140 ISO 100 K 22 Nm A TV 303 nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A TV 303 a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az EN FIGYELEM! 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 303nak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső...
Page 141: Használat
(a légköri nyomás fölött). Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N2, Ar) stabil áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Technical Information” függelék). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 141/268...
Page 142: A Tv 303 Bekapcsolása És Használata
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A TV 303 bekapcsolása és használata A TV 303 bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A vezérlő automatikusan felismeri a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. A “Soft Start” mód a szivattyú hosszabb leállást követő elindítására szolgál.
Page 143: Karbantartás
Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. Vészleállítás A TV 303 vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszoló aljzatból. Karbantartás A TV 303 nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie.
Page 144: Megsemmisités
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. 144/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 145: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogolne informacje 146 Magazynowanie 149 Przygotowanie do instalacji 149 Instalacja Uzytkowanie Włączenie i Użytkowanie pompy TV 303 155 Zatrzymanie pompy TV 303 155 Zatrzymanie awaryjne 156 Konserwacja Przetwortswo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 145/268...
Page 146: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 146/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 147: Ogolne Informacje
TV 303 jest pompą turbomolekularną dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni i jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowana do pompowania płynów lub stałych cząstek.
Page 148 Podrecznik Instrukcji Ogolne informacje ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozenie przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 148/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 149: Magazynowanie
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę, aby nie upuścić pompy TV 303 oraz aby nie dopuścić do uderzenia jej ani też poddania działaniu drgań. Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się...
Page 150 Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Postać 1 Pompa TV 303, nie może zostać uszkodzona po wystawieniu jej na działanie PRZYPIS atmosfery. Mimo to zaleca się, aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 151: Instalacja
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w dodatku “Technical Information”) względna wilgoć 0 -95% (bez opar). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 151/268...
Page 152 IC 63250 DCMZ i moment na jaki trzeba je dokręcić. Kołnierz Typ zacisku Moment dokręcenia Podwójny zacisk z ISO 100 K 22 Nm gwintem M10 Pompa TV 303 nie może być mocowana z wykorzystaniem jej własnej podstawy. PRZYPIS 152/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 153 żadna część znajdująca się pod napięciem nie była dostępna. Należy upewnić się, czy izolacja podłączonego urządzenia do pompy TV 303 posiada odpowiednie odizolowanie nawet w przypadku pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1.
Page 154: Uzytkowanie
2 bar ( ponad ciśnienie atmosferyczne). Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek „Technical Information”). 154/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 155: Włączenie I Użytkowanie Pompy Tv 303
“Soft-Start”, należy włączyć w/w tryb poprzez oprogramowanie (patrz paragraf “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” w dodatku “Technical Information”). Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy pompy TV 303 wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych obrotów;...
Page 156: Konserwacja
śmierć. Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający. Zatrzymanie awaryjne Aby zatrzymać pompę TV 303 w stanie awaryjnym należy odłączyć kabel zasilania ze sterownika. Konserwacja Pompa TV 303 nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być...
Page 157: Przetwortswo Odpadow
. Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 157/268...
Page 158 Podrecznik Instrukcji Przetwortswo odpadow 158/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 159: Návod K Použití
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160 Všeobecné informace Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 167 Zapnutí a Použití vývěvy TV 303 168 Vypnutí vývěvy TV 303 168 Nouzové zastavení 169 Údržba 169 Likvidace Překlad originálního návodu 159/268...
Page 160: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 160/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 161: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 303 je turbomolekulární vývěva a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum, schopna odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodné...
Page 162 Návod k Použití Všeobecné informace NEBEZPEČÍ! Nebezpeči hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 162/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 163: Uskladnění
Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Příprava k instalaci Vývěva TV 303 se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Page 164 Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva TV 303 nemůže poškodit. Přesto doporučujeme, POZNÁMKA abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 165: Instalace
0 – 95 % (bez srážení) V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva TV 303 se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 165/268...
Page 166 žádná elektrická součást nebyla přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 303 byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".
Page 167: Použití
(např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical Information"). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 167/268...
Page 168: Zapnutí A Použití Vývěvy Tv 303
Návod k Použití Použití Zapnutí a Použití vývěvy TV 303 Pro uvedení vývěvy TV 303 do provozu je nutné přivést síťové napětí. Regulátor automaticky zjišťuje přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. Režim „Soft Start“ slouží k zapnutí vývěvy po delším vyřazení z provozu.
Page 169: Údržba
Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TV 303 v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze zásuvky elektrické sítě. Údržba Vývěva TV 303 nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení...
Page 170: Likvidace
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 170/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 171: Návod Na Obsluhu
Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 172 Všeobecné informácie 172 Uchovávanie Príprava pre inštaláciu 175 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie vývevy TV 303 180 Vypnutie vývevy TV 303 180 Núdzové zastavenie 181 Údržba 181 Likvidácia Preklad originálneho návodu 171/268...
Page 172: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 172/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 173: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. TV 303 je turbomolekulárna výveva pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie, schopná vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.
Page 174 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie NEBEZPEČÍ! Nebezpeči majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 174/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 175: Uchovávanie
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Príprava pre inštaláciu Výveva TV 303 sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.
Page 176 POZOR! budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu. Postava 1 Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže vývevu TV 303 poškodiť. Napriek POZNÁMKA tomu je vhodné, aby zostala zabalená až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. 176/268...
Page 177: Inštalácia
0 -95% (bez kondenzácie) V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Výveva TV 303 sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 177/268...
Page 178 žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k výveve TV 303 má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Page 179: Použitie
častíc. Tlak na preplachovacom vstupe musí byť nižší než 2 bar (pretlakový). Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu (napríklad N2, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 179/268...
Page 180: Zapnutie A Použitie Vývevy Tv 303
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie vývevy TV 303 Ak chcete zapnúť vývevu TV 303, musíte ju pripojiť ku zdroju napájania. Kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť spúšťacích signálov a zapne vývevu. Režim „Soft Start“ slúži na zapnutie vývevy po dlšom vyradení z prevádzky.
Page 181: Údržba
Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu šnúru. Núdzové zastavenie Ak chcete vývevu TV 303 okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky elektrickej siete. Údržba Výveva TV 303 nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí...
Page 182: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. 182/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 183: Priročnik Za Navodila
TV 303 User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 303 191 Izklop naprave TV 303 191 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 183/268...
Page 184: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 184/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 185: Splošne Informacije
Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 66000 rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. Turbomolekularna črpalka TV 303 ne vsebuje onesnaževal in je zatorej primerna za aplikacije, ki zahtevajo čisto vakuumiranje. Opremljen je s pomožnimi priljučki za dodaten ventilator, ki skrbi za nazor šobe za zrak, ki je nadzorovana z računalnikom preko serijske...
Page 186: Shranjevanje
Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Priprava za montažo Črpalka TV 303 je ob prejemu shranjena v posebni zaščitni embalaži. Če bi na embalaži opazili znake poškodb, ki bi lahko nastale med prevozom, s posvetujte z območjo prodajno službo.
Page 187 Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. Slika 1 Izpostavljenost okoljskim dejavnikom črpalki TV 303 ne more škodovati. Kljub OPOMBA temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom.
Page 188: Montaža
Ob prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Črpalko TV 303 morate priključiti na primarno črpalko (oglejte si prikaz v poglavju “Tehnični podatki”). 188/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 189 M10 Naprave TV 303 ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA Po direktivi EN 61010-1 spada TV 303 v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Page 190: Uporaba
(kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. 190/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 191: Vklop In Uporaba Naprave Tv 303
Za zagon »Soft Start« načina je potrebno aktivirati ustrezen programski ukaz (glej odstavek »RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION« v prilogi “Technical Information”. Zelena LED dioda, ki se nahaja na prednji plošči TV 303, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;...
Page 192: Vzdrževanje
Visoka napetost, ki je prisotna v krmilniku, lahko povzroči hude poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti, izvlecite napajalni kabel. Zaustavitev v sili Za izklop naprave TV 303 v sili je treba napajalni kabel izvleči iz vtičnice. Vzdrževanje Naprava TV 303 ne potrebuje nikakršnega vzdrževanja.
Page 193: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 193/268...
Page 194 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 194/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 195: Instructions For Use
TV 303 User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for Installation 199 Installation Use 203 Switching on and Use of TV 303 204 TV 303 Switching off Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 195/268...
Page 196: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 196/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 197: General Information
The TV 303 pump is a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound.
Page 198 The warning messages are for attracting the attention of the operator to a WARNING! particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The notes contain important information taken from the text. NOTE 198/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 199: Storage
Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for information. Preparation for Installation The TV 303 is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.
Page 200 Always use gloves or other appropriate protection. Figure 1 Normal exposure to the environment cannot damage the TV 303. Nevertheless, NOTE it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
Page 201: Installation
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 303 must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 202 Instructions for Use Installation The TV 303 can be installed in any position. Fix the TV 303 in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis.
Page 203: Use
(see the appendix "Technical Information"). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 203/268...
Page 204: Switching On And Use Of Tv 303
Instructions for Use Switching on and Use of TV 303 To switch on the TV 303 it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes start signal presence and start up the pump. “Soft Start” mode is used to start the pump after it has stopped for a long time.
Page 205: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 303 does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 206: Disposal
The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. 206/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 207: Technical Information
TV 303 User Manual Technical Information Description of the TV 303 Pump Description 209 Controller Description 211 Technical Specification 212 TV 303 Outline Interconnections P3 – Vent P5 – External fan 217 Signal description 218 Controller internal and external fan 226...
Page 208 Technical Information Disposal Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation Serial Cable Installation TV 303 Controller Installation Pump used with corrosive gases 258 Pump used in presence of magnetic fields Accessories and Spare Parts 208/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 209: Description Of The Tv 303
Technical Information Description of the TV 303 Description of the TV 303 The TV 303 pumping system consists of a pump and a dedicated controller. The pump model number is 969-8964 (ISO100 vacuum flange). The controller model number is 969-8998 (120/220 Vac).
Page 210 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange (KF 25 – optional). 210/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 211: Controller Description
AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (optional). TV 303 User Manual / 87-901-019-01 211/268...
Page 212: Technical Specification
50 - 60 Hz Max input pwr: 300 VA Stand-by pwr: 10 W Max oper. power: 100 W with water or air cooling Protection fuse Protection fuse Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 212/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 213 Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump). When the TV 303 has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the NOTE system has reached the above mentioned temperature.
Page 214: Tv 303 Outline
Technical Information TV 303 Outline TV 303 Outline The following figures show the TV 303 outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 5 TV 303 outline 214/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 215 Technical Information TV 303 Outline Figure 6 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Figure 7 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 303 User Manual / 87-901-019-01 215/268...
Page 216: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 303 interconnections. Figure 8 Output voltage vs Output current P3 – Vent Figure 9 P3 - Vent 216/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 217: P5 - External Fan
Output curve (80W) 8000 7000 6000 5000 4000 3000 2000 1000 Current (mA) Figure 11 J5 – in-out This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 303. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 217/268...
Page 218: Signal Description
START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug & Pump"). 218/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 219 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz). It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: TV 303 User Manual / 87-901-019-01 219/268...
Page 220 NOTE programmable feature. When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START in-put with the GROUND input (see the following figure). 220/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 221 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 221/268...
Page 222 Technical Information Interconnections Figure 15 Case 1 222/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 223 Technical Information Interconnections Figure 16 Case 2 with relay utilisation TV 303 User Manual / 87-901-019-01 223/268...
Page 224 LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 224/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 225 J6 – Serial Figure 19 J6 - Serial This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 303. Table 3 Signal characteristics and use Pin N. Signal name...
Page 226: Controller Internal And External Fan
ON by setting WIN 138 to “1” and stays on for a period of time configurable using WIN138 Controller Over-Temperature Limit The controller over-temperature limit is set at 70 °C. 226/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 227: Rs 232/Rs 485 Communication Description
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); 2. the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: TV 303 User Manual / 87-901-019-01 227/268...
Page 228 <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. 228/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 229 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or tempo-rarily disabled (for ex- ample you can’t write the Soft Start when the Pump is running) TV 303 User Manual / 87-901-019-01 229/268...
Page 230 ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC 230/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 231 2 = Time (default = 0) Set Point threshold (default = 867) (expressed in Hz, mA or s) Set Point delay: time 0 to 99999 between the pump start and (default = 0) TV 303 User Manual / 87-901-019-01 231/268...
Page 232 Set vent valve on/off On = 1 Off = 0 (on = closed) (default = 1) Reserved to Agilent service Set the vent valve operation Automatic = 0 (see note 1.) On command = 232/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 233 0 to 999999 (zeroed by the reset command) Cycle number (zeroed by the 0 to 9999 reset command) Pump life in hours (zeroed by 0 to 999999 the reset command) Reserved to Agilent service TV 303 User Manual / 87-901-019-01 233/268...
Page 234 • are used continuously, they can cause the pump stopping. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 20 Window N. 206 Bit Description 234/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 235: Inlet Screen Installation
0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure TV 303 User Manual / 87-901-019-01 235/268...
Page 236 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 23 The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the following figure. 236/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 237 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 24 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. Figure 25 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 237/268...
Page 238: Air Cooling Kit Installation
Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation TV 303 with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9299) is available to improve the TV 303 cooling during heavy operational conditions (optional). Figure 26 Fan specifications: air flow: 140 m...
Page 239 When the pump is supplied by the rack C.U. 969-9437 or 969-9537 please utilize the special fan extension cable 969-9949. To fix the fan to the TV 303 case executes the following procedure (see the following figure): 1. Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws;...
Page 240 Technical Information Air Cooling Kit Installation Figure 28 240/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 241: Water Cooling Kit Installation
The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model) and 969- 9347 (plastic model). Figure 29 Model 969-9337 Figure 30 Model 969-9347 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 241/268...
Page 242 Figure 31 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure. 242/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 243 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 243/268...
Page 244: Vent Accessories
This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). 244/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 245 Technical Information Vent Accessories Figure 34 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm Figure 35 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 245/268...
Page 246 Figure 36 Screw the flange model 969-9108 on the pump, taking care of the o- ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF clamp. 246/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 247 Technical Information Vent Accessories Figure 37 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 247/268...
Page 248: Vibration Isolator Installation
A vibration isolators ISO100 is available as accessory. Its part number is: 969-9344 ISO 100 Vibration insulator. It typically reduce the vibration transmitted from the TV 303 to the system by a factor of 20. A high performance vibration isolators is also available. Its part...
Page 249: Purge Valve Installation
To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure. Figure 38 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 249/268...
Page 250 Technical Information Purge Valve Installation Figure 39 250/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 251: Serial Cable Installation
Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 303 or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Page 252: Tv 303 Controller Installation
5. Turn the pump again; 6. Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 7. Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. 252/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 253 1. Screw the 4 fixing studs (provided with the ac-cessories bag) in the holes on the L-shaped bracket; 2. Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the top of the controller; TV 303 User Manual / 87-901-019-01 253/268...
Page 254 10. Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11. Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 42 Mounting 2 254/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 255 Figure 43 Then fix the two flanges with the clamps as shown in the figure. Figure 44 For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 255/268...
Page 256 A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. 256/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 257 25 °C) and pin E is connected to the pump ground. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. TV 303 User Manual / 87-901-019-01 257/268...
Page 258: Pump Used With Corrosive Gases
Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can’t be kept opened, the backing pump should be left operating. 258/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 259 Technical Information Pump used with Corrosive Gases 1 Pure gas line 4 Gas purge port 7 Vent Valve 2 Pressure regulator 5 Forevacuum pump 3 Gas purge valve 6 Turbopump Figure 47 Purge layout TV 303 User Manual / 87-901-019-01 259/268...
Page 260: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However, if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 260/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 261: Accessories And Spare Parts
Purge valve with 7/16” flange 969-9240 Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241 Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242 Foreline flange KF25 1/4 gas 969-9130 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 949-9325 Forepump SH 110 SH01101UNIV TV 303 User Manual / 87-901-019-01 261/268...
Page 262 Technical Information Accessories and Spare Parts 262/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01...
Page 268 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Agilent Technologies TV 303 Notice De Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

16 Instructions for Use

17 Technical Information

Les langues disponibles

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TV 303

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TV 303