Gebrauch - Agilent Technologies TV 303 Notice De Mode D'emploi

Gebrauch

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneu-
matischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen
Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am
Eingangsflansch 120 °C nicht überschreiten.
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
WARNUNG!
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
VORSICHT!
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase
verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluss soll unter 2 bar (über
dem atmosphärischen Druck) betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe
ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon)
zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information").
TV 303 User Manual / 87-901-019-01 (A)
Gebrauchsanleitung

Gebrauch

33/268
2