Publicité
Użytkowanie
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia
elektryczne i pneumatyczne.
Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C.
Podczas działania pompy, temperatura wirnika nie może nigdy
przekroczyć 120 °C.
Operator musi upewnić się że urządzenie jest przygotowane do
prawidłowego sposobu działania w zależności od gazu do
pompowania: 1 dla Azotu i lekkich gazów, 0 dla Argonu (tryb
default). W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z
dodatkiem "Technical Information"
ZAGROZENIE!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie
jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji
nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na
osobach.
Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej
UWAGA!
działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować
powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 1 bara (ponad ciśnienie
atmosferyczne). Aby możliwe było pompowanie gazów, zawierających cząsteczki
lub zanieczyszczenia niszczące łożyska, pompy te są wyposażone w odpowiedi
wlot, poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego gazu (Azot i
Hel) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek "Technical Information").
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
219/360
12
Publicité
Chapitres
