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Maintenance
Pompe turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 300
HiPace 400
HiPace 700
Tab. 15:
7.4 Changer le fluide d'exploitation
Risque pour la santé et l'environnement dû à la contamination du fluide d'exploitation par des
substances toxiques
Les substances toxiques et procédés peuvent contaminer le fluide d'exploitation. Lors du remplace-
ment du fluide d'exploitation, tout contact avec des substances toxiques présente un risque pour la
santé. L'élimination illégale de substances toxiques nuit à l'environnement.
► Portez des équipements de protection individuelle adaptés pour manipuler ces substances.
► Mettez au rebut le fluide d'exploitation conformément à la réglementation locale en vigueur.
Risque de brûlures dues au fluide d'exploitation chaud
Risque de brûlures lors de la vidange du fluide d'exploitation, si celui-ci vient en contact avec la peau.
► Portez des équipements de protection individuelle.
► Utilisez un récipient de vidange adéquat.
Conditions préalables
● Pompe à vide mise hors service
● Pompe à vide ventilée à la pression atmosphérique
● La pompe à vide est à température ambiante et peut donc être touchée
● Le fluide d'exploitation est encore chaud
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
48/82
Couple de serrage pour la fixation des pompes turbomoléculaires
AVERTISSEMENT
ATTENTION
Utiliser les fluides d'exploitation
S'applique seulement à la HiCube Pro avec une pompe rotative à palettes comme pompe à
vide primaire.
Vis de fixation
Douille hexagonale M5 × 12
Douille hexagonale M8 × 20
Douille hexagonale M8 × 20
Douille hexagonale M8 × 20
Quantité
Couple de serrage
6 pièces
10 Nm
5 pièces
30 Nm
6 pièces
30 Nm
6 pièces
30 Nm
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