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Pfeiffer Vacuum TM 700 EC Manuel De L'utilisateur
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Pfeiffer Vacuum TM 700 EC Manuel De L'utilisateur

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MANUEL DE L'UTILISATEUR
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Traduction d'original
TM 700 EC
Unité de commande électronique

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Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum TM 700 EC

  • Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original TM 700 EC Unité de commande électronique...
  • Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
  • Page 3 4.2.4 Données de service Interfaces Interface RS-485 5.1.1 Options de connexion 5.1.2 Interconnexion via le raccordement RS-485 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.2.1 Cadre télégramme 5.2.2 Description du télégramme 5.2.3 Télégramme exemple 1 5.2.4 Télégramme exemple 2 5.2.5 Types de données Ensemble de paramètres...
  • Page 4 Mise au rebut de l’unité de commande électronique Dysfonctionnements Généralités Codes d’erreur Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionne- ment avec des appareils de commande Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 4/60...
  • Page 5 Tab. 11: Données administratives (informations sur l’appareil, communication) Tab. 12: Données d’entrée (TM 700 EC --> commande) Tab. 13: Données de sortie (commande -> TM 700 EC) Tab. 14: Données de configuration (commande -> TM 700 EC) Tab. 15: Caractéristiques de l’interface RS-485 Tab.
  • Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Panneau de connexion TM 700 EtherCAT Fig. 2: Schéma de raccordement TM 700 EC Fig. 3: Exemple de connexion câblée EtherCAT Fig. 4: Commutateur de codage hexadécimal Fig. 5: Options de connexion via l’interface RS-485 Fig.
  • Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
  • Page 8 1.4.3 Étiquettes sur le produit Cette section décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification. Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur le côté de l’unité d’entraî- nement électronique. TM 700 EC Mod.: PM C01 854 M.-No.: Ser.-No.: 12345678 48 V ±...
  • Page 9 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
  • Page 10 Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement élec- tronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). AVIS Dégât matériel suite à...
  • Page 11 2.5 Utilisation conforme ● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires. 2.6 Utilisation abusive prévisible Toute utilisation abusive du produit entraîne une annulation de la garantie et des droits de réclamations.
  • Page 12 000021320. 3.2 Caractéristiques du produit L'unité d’entraînement électronique de type TM 700 EC est un composant fixe de la turbopompe. L’ob- jectif de l’unité d’entraînement électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander l’ensemble de la pompe.
  • Page 13 Prise M12 (codée D) avec raccord fileté et LED L/A pour le branchement d’un câble EtherCAT vers l’appareil suivant. RS-485 Prise M12 avec vis pour la connexion des panneaux de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC. L’utilisation d’un raccord en Y permet l’intégration dans un système de bus.
  • Page 14 Installation 4 Installation 4.1 Schéma de raccordement DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
  • Page 15 + U B (+48 VDC ± 10 %) Fig. 2: Schéma de raccordement TM 700 EC ® 4.2 Raccord EtherCAT Vous pouvez utiliser les raccords « EtherCAT » (2x prises à 5 broches, M12, codées D) pour raccorder la pompe turbomoléculaire à un système de bus EtherCAT. L'interface est séparée galvaniquement et isolée de la tension d’alimentation maximale de l’unité...
  • Page 16 1. Brancher le câble entrant de la commande vers EtherCAT IN. 2. Établir un raccordement de bus vers les autres appareils via EtherCAT OUT. 3. Utiliser le fichier ESI valide de Pfeiffer Vacuum pour la configuration. 4.2.1 Identification de l’appareil Les appareils EtherCAT sont toujours adressés en utilisant leur position dans le bus. Aucun réglage d’adresse conventionnel n’est nécessaire.
  • Page 17 4.2.3 Données de process Données de sortie du processus Les données de sortie du processus sont : ● Par défaut RxPDO (commande --> TM 700 EC, « sortie »), CoE 1600h.1 – 4 (1 octet) Octet.Bit Signification 7000.01 Marche arrêt turbo Poste de pompage (0 : arrêt, 1 : marche)
  • Page 18 Installation Données d’entrée du processus Les données d’entrée du processus sont : ● Par défaut TxPDO (TM 700 EC --> commande, « entrée »), CoE 1A00h.1 – 11 (7 octets) Octet.Bit Signification 6000.01 Rotation La pompe tourne > 60 tr/min (0 : non, 1 : oui) 6000.02 Normal...
  • Page 19 Installation Type Description STRING( ) Chaîne de caractères USINT Nombre entier positif, 8 bit UINT Nombre entier positif, 16 bit UDINT Nombre entier positif, 32 bit ULINT Nombre entier positif, 64 bit SINT Nombre entier, 8 bit Nombre entier, 16 bit DINT Nombre entier, 32 bit REAL...
  • Page 20 Nom de l’appareil SDP semi-conducteur (1) STRING( ) F9F8 – Fonct. mise à jour FW Num. génération (1) UDINT Tab. 11: Données administratives (informations sur l’appareil, communication) Données d’entrée (TM 700 EC --> commande) sIdx Type Description Accès 2000 Identité / statut entrée Fabricant STRING( ) Nom appareil élec.
  • Page 21 Installation sIdx Type Description Accès Puissance RW P Température puissance RW P °C Température pompe RW P °C Température moteur RW P °C Température palier RW P °C 2004 Identité / statut compo- sant entrée Prs1.DeviceName STRING( ) Prs2.DeviceName STRING( ) 2005 Fonctionnement compo- sant entrée...
  • Page 22 F9F7 – Temps total sous puis- UDINT RW P sance Tab. 12: Données d’entrée (TM 700 EC --> commande) Données de sortie (commande -> TM 700 EC) sIdx Type Description Accès 3005 Fonctionnement compo- sant sortie Chauf. activer BOOL...
  • Page 23 : 01 00 00 00 état USINT réponse OCTET( ) Tab. 13: Données de sortie (commande -> TM 700 EC) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process 23/60...
  • Page 24 Installation Données de configuration (commande -> TM 700 EC) sIdx Type Description cès 4001 Cfg fonctionnement pompe Intf. Configuration USINT 0 = relais standard 1: inversé Vitesse nominale UDINT Gaz de processus USINT RW P 0 : gaz lourds 1 : gaz légers 2 : hélium...
  • Page 25 Installation sIdx Type Description cès ACC A1 configuration USINT 0 : Ventilateur (mode continu) 1 : Vanne de ventilation 2 : Chauffage 3 : Pompe à vide primaire 4 : Ventilateur (à contrôle de températu- 5 : Gaz de pressurisation 6 : toujours «...
  • Page 26 Installation sIdx Type Description cès DO1 Configuration USINT 0 : Point de commutation de la vitesse de rotation atteint 1 : pas d’erreur 2 : Erreur 3 : Avertissement 4 : Erreur et/ou avertissement 5 : Régime nominal atteint 6 : Pompe en marche 7 : Accélération pompe 8 : Décélération pompe 9 : toujours «...
  • Page 27 F383.01 si le bit 1 y est réglé en conséquence Tab. 14: Données de configuration (commande -> TM 700 EC) 10) Idx = Index, sIdx = sous-index, hexadécimal 11) RO = lecture seule, RW = lecture/écriture, P = adapté aux données de process...
  • Page 28 L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne.
  • Page 29 Interfaces Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC Un appareil de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485. 1. Utilisez le câble de raccordement correspondant fourni avec l'appareil de commande ou issu du programme d’accessoires. 2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le transformateur USB/RS-485.
  • Page 30 ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant...
  • Page 31 Interfaces --> ASCII Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> ASCII 5.2.5 Types de données Nº Type de don- Description Lon- Exemple née gueur l1 – l0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 000000 est équivalent à...
  • Page 32 Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Va- cuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine.
  • Page 33 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut nées CfgSpdSwPt Configuration 0 = Point de commutation de du point de la vitesse de rotation 1 commutation 1 = Points de commutation de de la vitesse la vitesse de rotation 1 et 2 de rotation...
  • Page 34 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut nées Cfg Acc A1 Configuration 0 = ventilateur (fonctionne- de la conne- ment continu) xion des ac- 1 = vanne de ventilation, fer- cessoires A1 mée sans courant 2 = dispositif de chauffage...
  • Page 35 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut nées Cfg AO1 Configuration 0 = vitesse actuelle sortie AO1 1 = sortie 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = suit AI1 6 = valeur de pression 1 7 = valeur de pression 2...
  • Page 36 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonc- Type Type Unité min. max. tions d’ac- dé- don- cès faut nées OvTempPump Température excessive pom- 0 = non 1 = oui SetSpdAtt Vitesse de rotation réglée at- 0 = non teinte 1 = oui PumpAccel Accélération pompe 0 = non...
  • Page 37 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonc- Type Type Unité min. max. tions d’ac- dé- don- cès faut nées ErrHist9 Historique des codes d’er- reur, point 9 ErrHist10 Historique des codes d’er- reur, point 10 SetRotSpd Vitesse de rotation de consi- tr/min 999999 gne (tr/min)
  • Page 38 L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont dispo- nibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide).
  • Page 39 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité...
  • Page 40 ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement élec- tronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par friction.
  • Page 41 Utilisation Réglage du mode gaz 1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027]. 2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise. 3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de ro- tation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation.
  • Page 42 Utilisation Réglage du point de commutation de vitesse de rotation 1 La sortie du signal et les paramètres d'état sont basés sur la valeur réglée pour le point de commutation de vitesse de rotation 1 [P:701]. 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2.
  • Page 43 3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.6 Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de pro- cessus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la vitesse de rotation de la turbopompe.
  • Page 44 à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par intermittence. Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation.
  • Page 45 à vide primaire. 7.2.10 Frein électrique Après avoir mis la pompe à l’arrêt, Pfeiffer Vacuum recommande l’utilisation de la fonction de frein élec- trique. Il réduit le temps de ralenti et permet le freinage contrôlé du rotor jusqu’à ce que la pompe soit immobilisée.
  • Page 46 Pfeiffer Vacuum ou émis sur le PC via l’interface RS-485. ● L’émission des messages d’avertissement correspondants est effectuée à partir de 75 % du dés- équilibre autorisé.
  • Page 47 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
  • Page 48 Utilisation Symbole État LED Affichage Signification Rouge Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Tab. 27: Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique 7.5.2 Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé.
  • Page 49 ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 8.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer –...
  • Page 50 Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
  • Page 51 = 0 moléculaire défaillant Err010 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err021 L'unité d’entraînement ● Version de logiciel incompa- ●...
  • Page 52 Problème Causes possibles Action corrective d’erreur Err112 Erreur de groupe, pompe ● Défauts externes ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service à liquide de refroidisse- ● Appareil défectueux ● Confirmez uniquement pour la vitesse de ment rotation f = 0 Err113 Évaluation de la tempéra- ●...
  • Page 53 ● Vérifiez les conditions de fonctionne- ment Wrn089 Déséquilibre élevé ● Déséquilibre du rotor ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Informations de pompe ● Erreur de communication inter- 1. Arrêtez le groupe de pompage invalides 2. Attendez que la pompe turbomolécu- laire se soit complètement immobilisée...
  • Page 54 ● Adaptez le taux de remise à l'air à la ● Taux de remise à l'air trop élevé pompe Wrn801 Convertisseur de freina- ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ge défectueux Wrn806 Résistance de freinage ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service défaillante...
  • Page 55 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
  • Page 56 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
  • Page 57 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TM 700 EC Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Basse tension 2014/35/CE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
  • Page 58 Semi F47-0200 EN IEC 61326-1:2021 Semi S2-0706 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 59 59/60...