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Maintenance
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
1
6
5
Fig. 20:
1 Câble de commande de refroidissement par air
2 Câble de commande de vanne de ventilation (« Ac-
3 Raccord de vide primaire, anneau de serrage
Procédure
1. Enlevez tous les connecteurs de l'unité de commande électronique.
2. Enlevez le raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Évitez d'endommager le tuyau flexible de vide primaire.
46/82
2
4
Raccordements de la pompe turbomoléculaire
(« Accessoire »)
cessoire »)
3
4
Câble d'interface RS-485
5
Raccordement « CC in »
6
ACP ou câble de commande de pompe
à vide primaire HiScroll (« Remote »)
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