Installation
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
Fig. 11:
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bri-
3. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
4. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
5. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
6. Serrer complètement les raccords vissés.
7. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
Fig. 12:
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
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agréés Pfeiffer Vacuum.
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
convient de vérifier le couple.
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
agréés Pfeiffer Vacuum.
de.
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
convient de vérifier le couple.
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
agréés Pfeiffer Vacuum.
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
convient de vérifier le couple.