Publicité
Table des matières
1
2
3
4
5
6
A propos de ce manuel
1.1
Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2
Groupe cible
1.3
Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
2.2
Consignes de sécurité
2.3
Mesures de sécurité
2.4
Limites d'utilisation du produit
2.5
Utilisation conforme
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Description du produit
3.1
Fonction
3.1.1 Interface de fonctionnement
3.1.2 Entraînement
3.1.3 Refroidissement
3.2
Identification du produit
3.3
Fonctionnalités du produit
3.4
Contenu de la livraison
Transport et stockage
4.1
Transporter le groupe de pompage
4.2
Blocage de transport
4.3
Stocker le groupe de pompage
Installation
5.1
Préparatifs pour l'installation
5.2
Régler le groupe de pompage
5.3
Ancrer le groupe de pompage
5.4
Raccordement côté vide élevé
5.4.1 Réaliser la contre-bride
5.4.2 Utiliser un pare-éclats ou un écran protecteur
5.4.3 Utilisation du compensateur de vibrations
5.4.4 Effectuer le raccordement externe de la pompe turbomoléculaire
5.4.5 Installation d'une bride ISO-KF
5.4.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
5.4.7 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F
5.4.8 Fixation d'une bride CF sur CF-F
5.5
Raccorder le côté d'échappement
5.6
Enlever le blocage de transport
5.7
Remplir avec du fluide d'exploitation
5.8
Raccorder les accessoires
5.9
Connecter les tubes de mesure
5.10 Raccorder le groupe de pompage à la prise de terre
5.11 Raccorder au réseau d'alimentation
Utilisation
6.1
Mettre en service
6.2
Mettre en route le groupe de pompage turbomoléculaire
Table des matières
7
7
7
7
7
7
7
8
8
9
10
10
10
15
15
16
16
17
17
17
18
18
18
19
20
21
21
22
22
23
23
23
24
25
25
25
26
26
27
27
28
29
31
32
32
33
35
35
36
37
37
38
3/82
Publicité
