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Pfeiffer Vacuum HICUBE PRO Manuel De L'utilisateur page 47

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Fig. 21:
1 Pompe turbomoléculaire, complète
2 Câble de commande de refroidissement par air
3 Vis de fixation avec rondelle
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
Procédure
1. Dévissez toutes les vis de fixation et les rondelles de la plaque de montage.
2. Soulevez la pompe turbomoléculaire de la plaque de montage.
3. Faites attention au câble de commande.
4. Effectuez la maintenance conformément aux instructions spécifiques dans le manuel de l'utilisa-
7.3.3 Installer la pompe turbomoléculaire
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Procédure
1. Placez la pompe turbomoléculaire sur la plaque de montage.
2. Vissez les vis à tête cylindrique avec les disques sur la partie inférieure de la pompe.
3. Observez les couples de serrage indiqués.
1
3
Démonter la pompe turbomoléculaire
teur.
Effectuer l'entretien de la pompe turbomoléculaire
L'ouverture dans la plaque de montage facilite l'accès pour les opérations de maintenance
sur la pompe turbomoléculaire (remplacement du réservoir de fluide d'exploitation, par
exemple).
2
4
Cadre, châssis
5
Disque de freinage
6
Plaque de montage
Maintenance
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