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Table des matières
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6.3
Fonctionnement normal
6.4
Mode stand-by
6.5
Fonctionnement avec lest d'air
6.6
Éliminer la charge de condensat
6.7
Surveillance des opérations
6.7.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
6.7.2 Surveillance de la température
6.8
Fonctionnement avec la vanne à vide primaire
6.9
Mise hors circuit et mise à l'air
6.9.1 Arrêt du groupe de pompage turbo
6.9.2 Mise à l'air
Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3
Enlever des composants pour la maintenance
7.3.1 Effectuer les travaux préparatoires
7.3.2 Enlever la pompe turbomoléculaire
7.3.3 Installer la pompe turbomoléculaire
7.4
Changer le fluide d'exploitation
Mise hors service
8.1
Mettre hors service pour de longues périodes
8.2
Remettre en service
Recyclage et mise au rebut
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
9.2
Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
9.3
Élimination de la pompe rotative à palettes
9.4
Mettre au rebut des pompes roots à plusieurs étages
9.5
Mise au rebut de la pompe Scroll
Dysfonctionnements
10.1 Généralités
10.2 Dépanner
10.3 Codes d'erreur
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1 Généralités
13.2 Fiche technique
13.2.1Fiche technique for HiCube 80 Pro
13.2.2Fiche technique HiCube 300 Pro
13.2.3Fiche technique HiCube 300 H Pro
13.2.4Fiche technique HiCube 400 Pro
13.2.5Fiche technique HiCube 700 Pro
13.2.6Fiche technique HiCube 700 H Pro
13.3 Schémas cotés
Déclaration de conformité
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