Pfeiffer Vacuum ATH 500 M Manuel De L'utilisateur
Masquer les pouces
Voir aussi pour ATH 500 M:
- Manuel de l'utilisateur (62 pages) ,
- Manuel de l'utilisateur (60 pages) ,
- Manuel de l'utilisateur (58 pages)
Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum ATH 500 M
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum ATH 500 M
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Original ATH 500 M - ATH 500 MT Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés Groupe cible Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Etiquettes 1.3.4 Abréviations Justificatif de marque Sécurité Consignes générales de sécurité Consignes de sécurité...
- Page 4 10.1 Immobilisation prolongée 10.2 Remise en service 10.3 Mise au rebut Dysfonctionnements 11.1 Signalement des mauvais fonctionnements et défauts 11.2 Mauvais fonctionnement Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Accessoires Pièces de rechange Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Caractéristiques techniques 15.2.1Caractéristiques environnementales...
- Page 5 Table des matières Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 5/84...
- Page 6 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Charges transmises à l'équipement Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Tab. 3: Signification des LED sur l'interface EtherCAT Tab. 4: Signification des LED sur l'interface Remote/RS232-RS485/Profibus Tab. 5: Description des touches du boîtier HHR Tab.
- Page 7 Connecteur Remote : commande par tension continue Fig. 17: Connecteur Remote : commande par contacts secs Fig. 18: Connecteur Remote : sorties logiques Fig. 19: Dimensions ATH 500 M Fig. 20: Dimensions ATH 500 M refroidie à l'air Fig. 21: Dimensions ATH 500 MT 7/84...
- Page 8 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 9 A propos de ce manuel Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologi- que.
- Page 10 A propos de ce manuel Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou de coupure liés aux pièces en mouvement : éviter de s’ap- procher et/ou de mettre les mains à proximité des pièces en DO NOT TOUCH WHEN mouvement. THE PUMP IS RUNNING Toute personne en charge de l’installation ou de l’utilisation doit se référer au manuel de l’utilisateur avant d’intervenir sur...
- Page 11 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 12 ► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère...
- Page 13 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ►...
- Page 14 Sécurité 2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur est responsable de l’application qui utilise le produit. Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques.
- Page 15 Sécurité 2.4 Précautions Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per- sonnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité...
- Page 16 Sécurité ● L’utilisation dans des zones à risque d'explosion ● L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression ● L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants ● Une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles ● Une mise en oeuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contrain- tes et à...
- Page 17 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
- Page 18 Transport et stockage 1 Sangle Anneau de levage M8 Manutention avec un dispositif de levage Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Di- mensions »).
- Page 19 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ●...
- Page 20 Description du produit 4.2 Interface homme/machine Fig. 1: Description d'une pompe ATH 500 version M 1 Bride d'aspiration (vide élevé) Interface de commande 2 Filtre pare-éclats Purge de gaz neutre (50 sccm) (1/8 BSPP fe- melle équipée d'un filtre) 3 Raccords d'eau (WATER IN/WATER OUT) Bride de refoulement (PUMP EXHAUST) (1/8 NPT femelle) 4 Unité...
- Page 21 Description du produit 4.3 Unité de commande électronique La pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques avec unité de commande électronique est destinée à être installée dans un équipement et pilotée par l’équipement. En standard, l'unité de commande électronique comporte une interface de commande type liaison série RS-232/RS-485 et REMOTE.
- Page 22 Description du produit Connecteur REMOTE Le connecteur REMOTE est utilisé pour piloter les fonctions START/STOP/STANDBY, pour permettre la copie du statut de la pompe au travers de contacts secs. Voyants indicateurs Affichage de l'état de fonctionnement de la pompe Connecteur d'alimentation Utilisé...
- Page 23 Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie ciné- tique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement.
- Page 24 Installation 5.1.1 Spécifications d'installation Turbo Fig. 4: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement 1 Chambre à vide Châssis 2 Equipement Point d'ancrage sécurisé Description d’un scénario de blocage brutal L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les charges résultantes maximum ont été...
- Page 25 Installation Temps ms Fig. 5: Graphe des charges transmises à l'équipement 1 Pompe Turbo Vanne avec plaque pendulaire Caractéristiques Unité Valeur Vitesse nominale 50000 Énergie kN·m Couple (C) Max. kN·m Durée ms Délai ms Moment de flexion (B) Max. kN·m Durée ms Délai ms Max.
- Page 26 Installation Type de bride d'aspiration DN160 ISO-F DN100 ISO-F DN160 CFF DN100 CFF ou ISO-K ou ISO-K N·m Couple de serrage par vis Force de serrage totale 108000 88500 222000 177000 Longueur des vis ≥ 35 ≥ 40 ≥ 35 1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires.
- Page 27 Installation Fig. 6: Positions de fonctionnement Mise en place de la pompe 1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »). 2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du per- sonnel et la fiabilité...
- Page 28 Installation Fig. 8: Installation, aspiration vers le haut 1 Table de levage (exemple) Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit.
- Page 29 Installation Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contrain- tes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage. 1.
- Page 30 Installation 5.3.2 Raccordement côté refoulement AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 31 Installation 5.4.1 Procédure de montage des raccords Raccord fileté Procédure de collage et serrage des raccords filetés 1. Utiliser des raccords 1/8 NPT (fourniture à la charge du client). 2. Coller les raccords avec de la colle oléo-étanche, ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage.
- Page 32 Raccordement d'un modèle ATH 500 M 1 WATER IN / WATER OUT (sens indifférent) Procédure de raccordement d'une pompe ATH 500 M 1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau et une vanne d'eau pour ajuster le débit. 2. Connecter l'arrivée d'eau sur l'un des raccords et l'autre au circuit d'évacuation.
- Page 33 Installation Fig. 9: Montage de l'accessoire refroidissement air 1 Câble d’alimentation du ventilateur (longueur 5 m) - [ 1 ou Connecteur ventilateur [ 1 (-), 2 bleu (-), 2 ou brun (+) ] (+), 3 (non connecté) ] 2 Rondelle ondulée Diam. 5 Support 3 Vis CHC M5x10 Procédure de montage...
- Page 34 * D'autres raccords sont possibles selon la configuration de commande (voir chapitre « Produits concer- nés ». Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm (seulement pour ATH 500 M) Il s’agit d’une option disponible selon la configuration de la pompe. Cette électrovanne de purge doit être alimentée en 24 VDC : l'alimentation et le pilotage de cette électrovanne sont de la responsabilité...
- Page 35 Installation L'installation et le raccordement d'un accessoire 'lot de purge' sont décrits au chapitre « Installation de l'accessoire de purge ». 5.6.2 Installation de l'accessoire de purge Fig. 11: Lot de purge (accessoire) A Raccord 1/8'' BSPP (ISO 228) Ecrou H M 4 (Qté 2) B Unité...
- Page 36 Installation 5.7 Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air Il s'agit d'un accessoire disponible sur commande (voir chapitre « Accessoires »). L’électrovanne d’entrée d’air est calibrée (débit 11 · 10 sccm) pour remettre à la pression atmosphéri- que le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes d’isolement sont installées à...
- Page 37 Installation 5.9 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ►...
- Page 38 Installation ► Supprimer l'origine du défaut. ► Rétablir l’alimentation électrique. – Interrupteur de l'alimentation électrique externe 48 VDC sur I. 5.9.1 Protection de l'installation électrique du client Disjoncteur différentiel à l’entrée de l’alimentation AC/DC Pour assurer la protection des personnes en cas de défaut d’isolation, il est indispensable d’installer un disjoncteur différentiel (voir chapitre «...
- Page 39 Câbles alimentation ventilateur [ 1 ou bleu (-) (0 V), 2 ou brun (+) (48 VDC) ] 3 Connecteur secteur Version ATH 500 M (seulement) ► Alimenter l'électrovanne de purge en 24 VDC (alimentation de fourniture client). Version ATH 500 MT (seulement) ►...
- Page 40 Installation Turbo HEATER 24 V DC VALVE Water 48 VDC Fig. 14: Schéma de câblage électrique typique Alimentation ceinture chauffante (Pompe version MT) Electronique intégrée Alimentation électrique externe Alimentation électrique de l'électrovanne eau (Pompe version MT) Pompe primaire Turbo Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques Ventilateur (version refroidie à...
- Page 41 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 42 Utilisation 6.2 Démarrage de la pompe 6.2.1 Mise sous tension ► Positionner l'interrupteur de l'alimentation 48 VDC en position I : l'électronique s'initialise. – En fin d'initialisation, la LED jaune s'éteint et la LED verte s'allume. 6.2.2 Démarrage du pompage Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelle que soit l’interface de commande. Se ré- férer au chapitre «...
- Page 43 Utilisation 6.2.3 Redémarrage après un arrêt d'urgence de l'équipement L’arrêt d’urgence est géré par l’équipement dans lequel la pompe est intégrée. Après un arrêt d’urgen- ce, pour redémarrer la pompe, il est nécessaire de : 1. S'assurer que la pompe est arrêtée (toutes les LED sont éteintes). 2.
- Page 44 Utilisation Arrêt sur coupure secteur L'arrêt de la pompe par coupure secteur n'est pas un arrêt normal pour la pompe : ● Toujours envoyer un ordre 'Stop' via l'interface de commande et attendre la fin de la rotation de la pompe avant d'intervenir. Lorsqu’une coupure d’alimentation intervient, la suspension du rotor est assurée par l’énergie que déli- vre la force contre-électromotrice du moteur, ceci jusqu’à...
- Page 45 Utilisation Sym- Etat de la LED Indication Signification bole éteinte Aucun défaut. allumée, fixe La pompe est en défaut. Rou- Tab. 3: Signification des LED sur l'interface EtherCAT REMOTE Etat de la LED Signification Bleu allumé La pompe est sous tension. Jaune allumé...
- Page 46 Réglages avancés 7 Réglages avancés Ce chapitre décrit les fonctions disponibles et leurs fonctionnements respectifs. Ce chapitre aide l'utilisateur et/ou l'intégrateur à paramétrer le produit selon les spécificités d'utilisation en procédé. 7.1 Régulation de la température de la pompe Le système de régulation de température (TMS) qui équipe les pompes version MT est constitué d’une ceinture chauffante et d’une électrovanne d’eau.
- Page 47 Interfaces de commande 8 Interfaces de commande 8.1 Différents modes de commande Ce chapitre décrit pour chaque mode de commande, les raccordements et protocoles associés. On dis- tingue 4 modes de commande : ● HHR La pompe est pilotée en local à partir d’un boîtier de commande déportable HHR, connecté sur le connecteur SERVICE.
- Page 48 Interfaces de commande Touche Fonctions Tou- Fonctions ● Accéder à l’affichage des paramètres. ● Valider le choix d’un menu, d’un paramètre ou STATUS ● Sortir des menus et revenir à l’affichage d’une valeur. des paramètres. ● Confirmer une réponse à une question posée. ●...
- Page 49 Interfaces de commande Le mode de commande HHR est actif lorsque le mode de pilotage ’Keyboard’ est configuré par le boî- tier HHR ou par la liaison série RS-232/RS-485. Initialisation de l'affichage L'unité de commande électronique effectue un autotest et identifie la pompe à laquelle ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■...
- Page 50 Interfaces de commande Sélection Description WARNING Affichage successif des 10 dernières alertes avec leur intitulé. BEARING Affichage de la durée de vie des roulements de secours en pourcentage et du seuil d’alerte en pourcentage. 8.2.3 Menu SETUP Sélection Choix Description Réglage initial ACCESS CODE 0 à...
- Page 51 Interfaces de commande 8.3 Commande via le connecteur REMOTE AVIS Sécurité des circuits très basse tension Les circuits de télécommande sont équipés de sorties à contact sec (24 V - 1 A max.). Toute surten- sion ou surintensité peut entraîner des dommages électriques internes. L'utilisateur doit respecter les conditions de câblages suivantes : ►...
- Page 52 Interfaces de commande +15 V 13, 14 Fig. 17: Connecteur Remote : commande par contacts secs A Câblage interne Câblage côté client Contact Fonction S3 (13-5) Contact fermé : la vitesse de Stand-by est sélectionnée. Stand-by Contact ouvert : la vitesse de rotation correspond à la vitesse nominale de la pompe.
- Page 53 Interfaces de commande Contact Fonction Fault ● Le contact 'Fault' se ferme à l’apparition d’un défaut (externe, température, châssis moteur, etc…). ● Le contact est ouvert en l’absence de défaut. Stand-by ● Le contact 'Stand-by' est fermé lorsque le mode stand-by est acti- vé.
- Page 54 Interfaces de commande Broche Affectation RS-485 : V- RS-485 : V+ L'utilisateur doit assurer les blindages extérieurs permettant de satisfaire aux normes C.E.M. et sécurité électrique. Connexion RS-232 Un ordinateur gère une seule pompe (P1) par la liaison RS-232 via le connecteur RS-232/RS-485. Connexion RS-485 Un ordinateur gère plusieurs pompes (P1, P2, Pn,..) par liaison série RS-485 via le connecteur RS-232/ RS-485.
- Page 55 Interfaces de commande Les réponses Caractère d'en-tête Adresse de la pompe Réponse Caractère de fin yyyxxxabc <CR> Si tout est OK, ou réponse spécifique à l'ordre transmis ERR0 Erreur de réglage ERR1 Erreur d'ordre ERR2 Erreur de paramètre ERR3 Erreur de contexte ERR4 Erreur checksum Exemple de dialogue...
- Page 56 Interfaces de commande Ordre Description Fonctions Mini Maxi Ré- glage mè- initial LEV10 Etat des pa- Exemple : ramètres de #adr,nnnnn,sssss,00000,0,ccccc,eeeee,00000,0000,0000,jj, fonctionne- kk,ll,mmm<CR> ment définis nnnnn = vitesse nominale (min avec la com- sssss = vitesse de standby (min mande SET 00000 = non utilisé...
- Page 57 Interfaces de commande Ordre Description Fonctions Mini Maxi Ré- glage mè- initial SEL10 Etat des op- Exemple : #adr,0,0,1,0,r<CR> tions/ 0 = non utilisé commandes 1 = non utilisé définies avec la comman- r = retourne le choix du mode valeur par défaut en fonc- de OPT de pilotage...
- Page 58 Interfaces de commande Description Fonctions mè- : état de l’ordre Local Fault Serial STBY START Fieldbus Fault si HHR a si statut si mode si mode si mode en démar- le contrô- pilotage pilotage Stand-by rage, en Fault ac- bus ter- Remote actif vitesse ou...
- Page 59 Internal communication 8.5 Exploitation avec bus de terrain Le raccordement et l'exploitation de pompes turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum par un système bus de terrain est possible lorsque l’interface de commande correspondante est installée sur la pompe (dépend de la configuration de commande).
- Page 60 Maintenance 9 Maintenance 9.1 Consignes de sécurité pour la maintenance DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonne- ment ou la mort.
- Page 61 : les roulements de secours doivent impérativement être remplacés. Si d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces roulements doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum. Rotor de la pompe La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications.
- Page 62 6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Installation»). Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de de- mande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 70). 62/84...
- Page 63 Maintenance 9.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation Rappel des risques et mesures de sécurité ● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance. ● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale : ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client. Procédure de déconnexion 1.
- Page 64 Maintenance commandé de disposer des accessoires de raccordement qui permettent de fermer la pompe de maniè- re étanche (accessoires). Balayage refoulement/aspiration 1. Fermer le raccord de purge à l'aide d'un bouchon. 2. Mettre en place l’obturateur muni de l'injecteur sur la bri- de de refoulement.
- Page 65 Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provo- quer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à...
- Page 66 Mise hors service Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : acier, acier inoxydable, laiton, aluminium, nickel, cuivre, élastomères fluorés, PFPE, FEP, des cartes électroniques. Prendre des pré- cautions particulières pour : ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températu- res, ●...
- Page 67 Dysfonctionnements 11 Dysfonctionnements 11.1 Signalement des mauvais fonctionnements et défauts Prendre connaissance des consignes de sécurité relatives à la maintenance (voir chapitre « Consignes de sécurité pour la maintenance »). Lorsqu'un problème intervient, l'utilisateur est averti par : ● L'activation de la LED relative au défaut/alerte ●...
- Page 68 Dysfonctionnements La pompe fonctionne et signale un défaut Message Symptôme Cause Remède Unbalance fault L’électronique arrête le mo- L’électronique n’arrive pas à ● Vérifier que la pompe est correcte- teur. L’électrovanne d’entrée centrer le rotor. ment fixée au châssis (voir chapitre Bearing over- d’air est ouverte.
- Page 69 Dysfonctionnements La pompe fonctionne et signale un défaut Message Symptôme Cause Remède Magnetic bear- L’unité de commande élec- Défaut de sustentation du ● Attendre l’arrêt complet de la rotation tronique arrête le moteur. rotor du rotor. L’électrovanne d’entrée d’air ● Couper l’alimentation de l'unité de est ouverte.
- Page 70 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 71 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 72 Accessoires 13 Accessoires Accessoire Fonction Type Dimension Réf. Vanne d’isole- Cette vanne s’utilise pour Vanne manuelle voir catalogue constructeur ment maintenir le vide dans la pompe et l’isoler de la ligne de pompage. Boîtier de com- Ce boîtier permet l’interface Boîtier avec cordon 114461 mande déporta- homme/machine pour pilo-...
- Page 73 Accessoires Accessoire Fonction Type Dimension Réf. Accessoires de Pour le refoulement (pres- Obturateur DN 25 ISO-KF 114419 raccordement surisation) avec piquage pour injec- (version M) teur DN 40 ISO-KF 065053 (version MT) Injecteur 106859 Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer- vacuum.com.
- Page 74 : ● Utiliser uniquement les pièces de rechange disponibles sur commande auprès de Pfeiffer Vacuum Service. ● Pour identifier le produit et communiquer avec Pfeiffer Vacuum, se référer à la plaque signalétique du produit. Désignation Version de pompe Référence...
- Page 75 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum : ► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5. ► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puis- sance de pompes à...
- Page 76 Caractéristiques techniques et dimensions Caractéristiques Unités ATH 500 M ATH 500 M ATH 500 MT Vitesse de pompage Taux de compression > 2 · 10 > 2 · 10 > 2 · 10 > 8 · 10 > 8 · 10 > 8 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 > 2 · 10 >...
- Page 77 Caractéristiques techniques et dimensions Caractéristiques Unités ATH 500 M ATH 500 M ATH 500 MT Débit d'eau de refroi- l/mn dissement Refroidissement (ac- eau/(air) eau/(air) cessoire) Poids (Version air) Poids (Version eau) Prévidage recomman- 15 mini. 15 mini. 15 mini.
- Page 78 Caractéristiques techniques et dimensions 5,5 à 9 100 à 20 ppm selon le pH Chlorure Dureté < 35 °fH (degré français) < 7 milli-équivalent/L Chlorure (ppm) < 350 mg/L de CaCO (carbonate de cal- cium) Résidus à sec < 100 mg/L Indice de Langelier LSI = pH - pHs <...
- Page 79 (48 VDC, 12 A). 15.3 Dimensions Dimensions (mm) max. Exh. 3 x M8 Fig. 19: Dimensions ATH 500 M 1 Trous M4 pour connexion pompe à la terre Centre de gravité Exh. Fig. 20: Dimensions ATH 500 M refroidie à l'air 79/84...
- Page 80 Caractéristiques techniques et dimensions Exh. 30° Fig. 21: Dimensions ATH 500 MT 1 Trous M4 pour connexion pompe à la terre Centre de gravité Bride aspiration DN 160 ISO-F 159.3 182.5 182.2 254.9 112.6 DN 160 ISO-K 159.3 182.5 182.2 254.9 128.6 11.3...
- Page 81 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique intégrée ATH 500 M ATH 500 MT Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes.
- Page 82 EN 61000-3-3/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-4 : 2019 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature:...
- Page 83 83/84...