Pfeiffer Vacuum ATH 500 M Manuel De L'utilisateur page 40

Installation
Fig. 14:
1
2
3
4
P
Turbo
F
N2
V1
V2
V3
V4
W
1) Recommandé pour connecter la pompe à la prise de terre dans un environnement perturbé en on-
des électromagnétiques.
40/84
1
F
HEATER
3
48 VDC
Schéma de câblage électrique typique
Alimentation ceinture chauffante (Pompe version MT)
Electronique intégrée
Alimentation électrique externe
Alimentation électrique de l'électrovanne eau (Pompe version MT)
Pompe primaire
Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques
Ventilateur (version refroidie à l'air)
Entrée gaz neutre
Vanne d'isolement vide primaire
Vanne d'isolement vide élevé
Electrovanne de purge (option)
Electrovanne d'entrée d'air (accessoire)
Electrovanne du circuit de refroidissement (Pompe version MT)
Raccordement de la terre fonctionnelle
Raccordement de la terre de protection
V2
V4
Turbo
2
W
VALVE
4
Water
1)
V1
V3
24 V DC
P
N
2