Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Manuel De L'utilisateur
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Voir aussi pour ATH 1603 M:
- Manuel de l'utilisateur (84 pages) ,
- Manuel de l'utilisateur (58 pages) ,
- Manuel de l'utilisateur (62 pages)
Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Original ATH 1603 M - ATH 2303 M Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel Validité 1.1.1 Produits concernés 1.1.2 Documents applicables Conventions 1.2.1 Pictogrammes 1.2.2 Groupe cible 1.2.3 Instructions dans le texte 1.2.4 Etiquettes 1.2.5 Abréviations Sécurité Consignes générales de sécurité Consignes de sécurité Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables Précautions Usage conforme à...
- Page 4 7.4.2 Vidange du circuit d'eau 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition Mise hors service Immobilisation prolongée Remise en service Mise au rebut Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Accessoires Pièces de rechange Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.3 Caractéristiques environnementales...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Charges transmises à l'équipement Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Tab. 3: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 4: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab.
- Page 6 Description d'une pompe ATH 2303 M Fig. 3: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement Fig. 4: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 1603 M Fig. 5: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2303 M Fig. 6: Installation de la pompe à...
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 A propos de ce manuel Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçues une formation de Pfeiffer Va- cuum. 1.2.3 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
- Page 9 A propos de ce manuel Une planche d’étiquettes comprenant d’autres versions linguistiques est fournie avec le produit. Il est de la res- ponsabilité de l’installateur de positionner ces étiquettes sur le produit, à l’endroit le plus approprié et visible afin de prévenir l’opérateur des risques potentiels.
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 ► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère...
- Page 12 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ►...
- Page 13 Sécurité 2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur est responsable de l’application qui utilise le produit. Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques.
- Page 14 ● La pompe est destinée à être intégrée dans un équipement industriel. ● La pompe doit fonctionner avec une unité de commande électronique type OBC ou Magpower Pfeiffer Vacuum. Lorsque la pompe est intégrée dans un équipement industriel, elle devient un composant de l’équipement : l’intégrateur de ce composant de pompage doit prendre toutes les protections de...
- Page 15 Sécurité ● L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression ● L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants ● Une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles ● Une mise en oeuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contrain- tes et à...
- Page 16 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
- Page 17 Transport et stockage Pompe seule Pompe avec OBC 1. Sangle 2. Anneau de levage Manutention avec un palan Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Di- mensions »).
- Page 18 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ●...
- Page 19 Description du produit 4.2 Interface homme/machine Fig. 1: Description d'une pompe ATH 1603 M 1 Filtre pare-éclats Raccordement d'eau IN/OUT 2 Bride d'aspiration (vide élevé) Connecteur électrique 3 Purge de gaz neutre (Purge) Terre fonctionnelle 4 Bride de refoulement (Pump exhaust) Fig.
- Page 20 Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie ciné- tique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement.
- Page 21 Installation 5.1.1 Spécifications d'installation Turbo Fig. 3: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement 1 Chambre à vide Châssis 2 Equipement Point d'ancrage sécurisé Description d’un scénario de blocage brutal L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les charges résultantes maximum ont été...
- Page 22 Installation Temps ms Fig. 4: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 1603 M Temps ms Fig. 5: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2303 M 1 Pompe Turbo Vanne avec plaque pendulaire Caractéristiques Unité ATH 1603 M...
- Page 23 Installation 5.1.2 Sécurisation de l'équipement et du châssis Fixation de la pompe à l’équipement Les charges maximum résultant d’un blocage brutal doivent être absorbées par les éléments de fixation de la pompe. ► Concevoir et sécuriser le châssis de la pompe de sorte qu’il supporte les charges maximum. ►...
- Page 24 Installation Mise en place de la pompe 1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »). 2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du per- sonnel et la fiabilité du fonctionnement (voir chapitre « Spécifications d'installation »). 3.
- Page 25 Installation Fig. 7: Installation, aspiration vers le haut 1 Table de levage (exemple) Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit.
- Page 26 Installation Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contrain- tes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage. 1.
- Page 27 Installation 5.3.2 Raccordement côté refoulement AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 28 Installation 5.4.1 Procédure de montage des raccords Procédure de collage et serrage des raccords filetés 1. Utiliser des raccords 1/4 NPT mâle (fourniture à la charge du client). 2. Coller les raccords avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le file- tage.
- Page 29 Installation Raccordement circuit de refroidissement pom- Raccordement circuit de refroidissement pe seule pompe avec OBC 1. WATER OUT 2. WATER IN 3. Unité de commande électronique (OBC) 1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau et un robinet pour ajuster le débit. 2.
- Page 30 Installation Purge de gaz neutre AVIS Rôle de la purge de gaz neutre Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les paliers internes de la pompe. ► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage. ►...
- Page 31 Installation Une électrovanne installée sur la pompe est alimentée et pilotée par l'unité de commande électronique raccordée à la pompe. 1. Connecter l'électrovanne sur l'orifice PURGE (fixation par 4 vis fournies). 2. Piloter l'électrovanne par le connecteur REMOTE ou via la liaison série de l'unité de commande électronique.
- Page 32 Installation 5.7 Test d'étanchéité de l'installation L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. L'exploi- tant doit préserver ce niveau d'étanchéité particulièrement lors du pompage de gaz dangereux. Pour davantage d'information concernant les tests d'étanchéité, contacter notre centre de service. 1.
- Page 33 Installation Lorsqu'il existe un danger lié à un contact accidentel de liquide, de gaz ou d'éléments solides, il est né- cessaire d'installer un circuit de verrouillage type arrêt d'urgence pour stopper l'alimentation de l'électro- nique. ► Ne pas neutraliser ces sécurités pendant l'installation, l'utilisation et la maintenance de la pompe.
- Page 34 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 35 Utilisation 6.2 Démarrage de la pompe 6.2.1 Mise sous tension ► Positionner l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I : l'électronique s'initia- lise. 6.2.2 Démarrage du pompage Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelque soit l’interface de commande : ●...
- Page 36 Utilisation 6.3 Arrêt de la pompe 6.3.1 Arrêt du pompage AVIS Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau élec- trique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau électrique : un arc électrique est créé...
- Page 37 Utilisation Si l’alimentation revient avant que la vitesse minimum soit atteinte, la pompe reprend alors sa vitesse sans aucune perturbation. Le compteur des roulements de secours ne se décrémente pas. Dans le cas où la vitesse minimum est atteinte avant que l’alimentation secteur ne soit revenue : ●...
- Page 38 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonne- ment ou la mort.
- Page 39 : les roulements de secours doivent impérativement être remplacés. Si d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces roulements doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum. Rotor de la pompe La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications.
- Page 40 Comment nous contacter ? La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contac- ter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : Pfeiffer Vacuum Service Support. 7.3 Entretien sur site La pompe ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté l’entretien courant décrit dans ce manuel.
- Page 41 Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de de- mande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 46). 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation Rappel des risques et mesures de sécurité...
- Page 42 Maintenance 10. Mettre en place les dispositifs de manutention (voir chapitre« Manutention de la pompe »). 11. Déconnecter la pompe de l'installation. 7.4.2 Vidange du circuit d'eau L'eau doit être évacuée de la pompe pour éviter le gel dans les canalisations pendant le transport. Pour cela le client doit prévoir des tuyaux flexibles et des raccords ainsi qu'un circuit d'air comprimé...
- Page 43 Maintenance Balayage purge/aspiration 1. Installer l'obturateur sur l'embout de refoulement Pump exhaust et fermer de manière étanche. 2. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression relative de 120 à 150 hPa pendant 10 minutes. 3. Stopper le flux d’azote. 10’...
- Page 44 Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provo- quer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à...
- Page 45 Mise hors service ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températu- res, ● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés. 45/60...
- Page 46 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 47 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 48 Accessoires 10 Accessoires Accessoi- Fonction Description Dimension Réf. Vanne Cette vanne s’utilise pour main- Vanne manuelle voir catalogue constructeur d'isole- tenir le vide dans la pompe et ment l’isoler de la ligne de pompage. Joint cui- DN 200 CF-F 303293 vre pour (Qté...
- Page 49 Accessoires Accessoi- Fonction Description Dimension Réf. Réducteur Cet accessoire permet de ré- Réducteur DN16 ISO-KF 066752S de flux duire le flux de gaz de purge à 50 sccm pour certaines applica- tions. Electro- L'électrovanne d'entrée d'air 24 V DC (NF) 11 slm 114280 vanne...
- Page 50 Pièces de rechange 11 Pièces de rechange Désignation Réf. Remarques Bobine 24 VDC 038066 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air Filtre à poussières 106229 sur électrovanne d'entrée d'air 50/60...
- Page 51 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum : ► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5. ► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puis- sance de pompes à...
- Page 52 Caractéristiques techniques et dimensions Caractéristique Unité ATH 1603 M ATH 2303 M Flux maximum avec sccm 4000 4000 4000 4000 débit d'eau 60 l/h sccm 1200 1200 1500 1500 sccm > 4000 > 4000 > 4000 > 4000 sccm > 4000 >...
- Page 53 Caractéristiques techniques et dimensions Température ambiante de fonctionnement 5 – 45 °C Température de stockage -5 – +50 °C Humidité relative maximale 80 % max. avec T ≤ 31 °C, à 50 % max. avec T ≤ 40 °C Degré de pollution niveau 2 Catégorie II Protection contre les surtensions transitoires...
- Page 54 Caractéristiques électriques du réseau client 12.7 Dimensions et poids 122.5 1/4 NPT M4x8 Exh. Female DN 40 ISO-KF DN 16 ISO-KF Fig. 9: Dimensions ATH 1603 M Centre de gravité 5 trous M10 pour manutention Trous Ø d2 équidistants Ø d1 54/60...
- Page 55 Female (OUT) 1/4 NPT Female 34.6 (IN) 49.6 Fig. 10: Dimensions ATH 1603 M avec OBC Centre de gravité Vue selon F Trous Ø d2 équidistants Ø d1 Anneaux de levage (Qté 2) Dimensions ATH 1603 M (mm) Pom- Pom-...
- Page 56 Caractéristiques techniques et dimensions Bride aspiration ATH 1603 M (pompe seule) ATH 1603 M avec OBC Poids (kg) Poids (kg) DN 250 ISO-F DN 250 ISO-K DN 250CF-F DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K DN 200 CF-F 1/4 NPT Female 85.5...
- Page 57 Caractéristiques techniques et dimensions 268 maxi 155.4 195 maxi 125 maxi 85.7 Exh. 17.9 49.6 DN 40 ISO KF 1/4 NPT Exh. Fig. 12: Dimensions ATH 2303 M avec OBC Centre de gravité Trous Ø d2 équidistants Ø d1 Dimensions ATH 2303 M (mm) Pompe seule Pompe + OBC Bride aspiration...
- Page 58 Caractéristiques techniques et dimensions 83.8 Fig. 13: Dimensions Electrovanne de purge 1 Raccordement sur pompe Rotation possible Fig. 14: Dimensions Electrovanne d'entrée air 1 Raccord femelle 1/8" NPT 58/60...
- Page 59 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques ATH 1603 M ATH 2303 M 1) Pompe raccordée à une unité de commande électronique de type OBC V4 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes.