Pfeiffer Vacuum ATH 500 M Manuel De L'utilisateur page 20

Description du produit
4.2 Interface homme/machine
1
7
6
Fig. 1:
1 Bride d'aspiration (vide élevé)
2 Filtre pare-éclats
3 Raccords d'eau (WATER IN/WATER OUT)
4 Unité de commande électronique
1
8
7
6
Fig. 2:
1
2
3
3a Raccord d'eau (WATER IN - 1/4 double bague)
3b Raccord d'eau (Water OUT - 1/4 double bague)
20/84
2
Description d'une pompe ATH 500 version M
(1/8 NPT femelle)
2
Description d'une pompe ATH 500 version MT
Bride d'aspiration (vide élevé)
Filtre pare-éclats
Electrovanne d'eau
3
4 5
5 Interface de commande
6 Purge de gaz neutre (50 sccm) (1/8 BSPP fe-
melle équipée d'un filtre)
7 Bride de refoulement (PUMP EXHAUST)
3a
3
3b
5
4
4 Unité de commande électronique
5 Interface de commande
6 Purge de gaz neutre (50 sccm) (1/4 VCR)
7 Bride de refoulement (PUMP EXHAUST)
8 Ceinture chauffante