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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum ATP 1603 M
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum ATP 1603 M
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Original ATP 1603 M Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés Groupe cible Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Etiquettes 1.3.4 Abréviations Sécurité Consignes générales de sécurité Consignes de sécurité Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables Précautions Usage conforme à...
- Page 4 7.4.2 Vidange du circuit d'eau 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition Mise hors service Immobilisation prolongée Remise en service Mise au rebut Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Accessoires Pièces de rechange Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.3 Caractéristiques environnementales...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Charges transmises à l'équipement Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Tab. 3: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 4: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab.
- Page 6 Installation de la pompe à l'horizontale Fig. 5: Installation, aspiration vers le haut Fig. 6: Graphe Débit de purge Fig. 7: Dimensions ATP 1603 M avec OBC Fig. 8: Electrovanne de purge - Dimensions Fig. 9: Electrovanne d'entrée air - Dimensions 6/56...
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.3.3 Etiquettes PURGE Dispositif de purge PUMP EXHAUST Refoulement de la pompe WATER MAX Pr 7 bar/101 psi Pression maximum du circuit d'eau WATER Raccordement du circuit d'eau Raccordement de la terre fonctionnelle Verrouillage du connecteur avant utilisation de la pompe. Ne pas débrancher avant arrêt de la pompe LOCK Sens de rotation du rotor de la pompe...
- Page 9 A propos de ce manuel Cette étiquette met en garde l'utilisateur contre le risque de blessure en cas de contact de la main avec une surface chaude : s'équiper de gants de protection avant toute inter- vention. Cette étiquette met en garde l’utilisateur contre les gaz pom- pés qui peuvent être dangereux, toxiques et peuvent entraî- ner des blessures graves ou la mort.
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 ► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère...
- Page 12 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ►...
- Page 13 Sécurité 2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur est responsable de l’application qui utilise le produit. Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques.
- Page 14 ● La pompe est destinée à être intégrée dans un équipement industriel. ● La pompe doit fonctionner avec une unité de commande électronique type OBC Pfeiffer Vacuum. Lorsque la pompe est intégrée dans un équipement industriel, elle devient un composant de l’équipement : l’intégrateur de ce composant de pompage doit prendre toutes les protections de...
- Page 15 Sécurité ● L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants ● Une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles ● Une mise en oeuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contrain- tes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques. 15/56...
- Page 16 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
- Page 17 Transport et stockage Manutention avec un palan 1 Sangle 2 Anneaux de levage Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Di- mensions »).
- Page 18 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ●...
- Page 19 Description du produit 4.2 Interface homme/machine 1 Filtre pare-éclats Bride de refoulement (Pump exhaust) 2 Bride d'aspiration (vide élevé) Purge de gaz neutre 3 Connecteur électrique Terre fonctionnelle 4 Raccordement d'eau IN/OUT 19/56...
- Page 20 Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie ciné- tique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement.
- Page 21 Installation 5.1.1 Spécifications d'installation Turbo Fig. 1: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement 1 Chambre à vide Châssis 2 Equipement Point d'ancrage sécurisé Description d’un scénario de blocage brutal L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les charges résultantes maximum ont été...
- Page 22 Installation Temps ms Fig. 2: Graphe des charges transmises à l'équipement 1 Pompe Turbo Vanne avec plaque pendulaire Caractéristiques Unité ATP 1603 M Vitesse nominale 37000 Énergie Couple (C) Max. kN·m < 25 Durée ms Délai ms Moment de flexion (B) Max.
- Page 23 Installation Type de bride d'aspiration DN200 ISO-F DN200 CF-F Force de serrage totale 161500 266000 Longueur des vis 1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires. Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Le constructeur recommande d’utiliser les lots de visserie prévus à...
- Page 24 Installation Mise en place de la pompe 1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »). 2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du per- sonnel et la fiabilité du fonctionnement (voir chapitre « Spécifications d'installation »). 3.
- Page 25 Installation Fig. 5: Installation, aspiration vers le haut 1 Table de levage (exemple) Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit.
- Page 26 Installation Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contrain- tes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage. 1.
- Page 27 Installation 5.3.2 Raccordement côté refoulement AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 28 Installation 5.4.1 Procédure de montage des raccords Raccord à double bagues Procédure de montage des raccords à double bagues Raccords utilisés pour relier les tuyaux rigides (acier inox., cuivre nickelé, ...). 1. Insérer le tuyau avec les bagues en butée au fond du raccord. 2.
- Page 29 Installation DANGER Danger de mort par explosion lors du pompage de gaz chargés de matières pyrophoriques/ inflammables Si des quantités de matières pyrophoriques / inflammables supérieures à la LIE sont envoyées vers la pompe, il y a un risque d'explosion. ►...
- Page 30 Installation 1 Réducteur de flux 50 sccm Dispositif de purge 50 sccm Le fonctionnement de cette purge est continu. Le réducteur de flux garantit un débit de 50 sccm pour une pression de 1,1 · 10 hPa. Lorsque la canalisation de gaz neutre est équipée d'un débitmètre mas- sique, ne pas utiliser le réducteur de flux.
- Page 31 Installation lement sont installées à l’aspiration et au refoulement de la pompe. Cette électrovanne est alimentée et pilotée par l'unité de commande électronique. Exh. 1 Filtre à poussières Electrovanne d'entrée d'air 1. Raccorder l'électrovanne sur le refoulement PUMP EXHAUST de la pompe au moyen d'accessoi- res de raccordement disponibles au catalogue des produits.
- Page 32 Installation AVERTISSEMENT Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électrique- ment. ► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O. ►...
- Page 33 Installation Disjoncteur différentiel Pour assurer la protection des personnes en cas de défaut d’isolation, il est indispensable d’installer un disjoncteur différentiel (voir chapitre « Caractéristiques électriques »). La pompe est un appareil de classe 1 : par conséquent, elle doit impérativement être raccordée à la terre.
- Page 34 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 35 Utilisation 6.2 Démarrage de la pompe 6.2.1 Mise sous tension ► Positionner l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I : l'électronique s'initia- lise. 6.2.2 Démarrage du pompage Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelle que soit l’interface de commande : ●...
- Page 36 Utilisation 6.3 Arrêt de la pompe 6.3.1 Arrêt du pompage AVIS Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau élec- trique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau électrique : un arc électrique est créé...
- Page 37 Utilisation Si l’alimentation revient avant que la vitesse minimum soit atteinte, la pompe reprend alors sa vitesse sans aucune perturbation. Le compteur des roulements de secours ne se décrémente pas. Dans le cas où la vitesse minimum est atteinte avant que l’alimentation secteur ne soit revenue : ●...
- Page 38 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonne- ment ou la mort.
- Page 39 : les roulements de secours doivent impérativement être remplacés. Si d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces roulements doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum. Rotor de la pompe La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications.
- Page 40 6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Installation»). Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de de- mande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 45). 40/56...
- Page 41 Maintenance 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation Rappel des risques et mesures de sécurité ● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance. ● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale : ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client. Procédure de déconnexion 1.
- Page 42 Maintenance commandé de disposer des accessoires de raccordement qui permettent de fermer la pompe de maniè- re étanche (accessoires). 30’ 10’ A Balayage général Pressurisation de la pompe B Balayage purge/aspiration Balayage général 1. Installer l'obturateur équipé de l'injecteur sur le raccord PURGE. 2.
- Page 43 Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provo- quer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à...
- Page 44 Mise hors service ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températu- res, ● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés. 44/56...
- Page 45 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 47 Accessoires 10 Accessoires Accessoire Fonction Type Dimension Réf. Vanne d'isole- Cette vanne s’utilise pour maintenir Vanne manuelle voir catalogue constructeur ment le vide dans la pompe et l’isoler de la ligne de pompage. Joint cuivre pour Ce joint permet de rendre étanche le DN 200 CF-F 303293 bride CF-F...
- Page 48 Pièces de rechange 11 Pièces de rechange Désignation Réf. Remarques Filtre à poussières 106229 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air Bobine 24 V DC 038066 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air 48/56...
- Page 49 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum : ► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5. ► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puis- sance de pompes à...
- Page 50 Caractéristiques techniques et dimensions Caractéristique Unité ATP 1603 M Pression maximale à l'aspiration 4 · 10 2,7 · 10 Pression maximum au refoulement Pression limite < 1 · 10 Vitesse de rotation nominale 37000 (616) (Hz) Vitesse de stand-by 15000...
- Page 51 < 0,1 ppm v Pression absolue 1 · 10 à 1,5 · 10 Tab. 7: Caractéristiques de l'azote 12.6 Caractéristiques électriques Caractéristiques du moteur triphasé ATP 1603 M Tension entre phases 44 Vrms Fréquence d'alimentation 1234 Hz Courant par phase 10 A Tab. 8: Caractéristiques électriques de la pompe...
- Page 52 Purge 74.9 1/4 NPT Female 1/4 NPT Female 52.1 Fig. 7: Dimensions ATP 1603 M avec OBC Centre de gravité Raccordement à la terre Trous Ø d2 équidistants Ø d1 Anneaux de levage (Qté 2) Dimensions ATP 1603 M (mm)
- Page 53 Caractéristiques techniques et dimensions 83.8 Fig. 8: Electrovanne de purge - Dimensions 1 Raccordement sur pompe Rotation possible Fig. 9: Electrovanne d'entrée air - Dimensions 1 Raccord femelle 1/8" NPT 53/56...
- Page 54 EN 61000-3-3 : 2014/A1 : 2019 EN 61000-6-4 : 2019 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature:...
- Page 55 Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques ATP 1603 M 1) Pompe raccordée à une unité de commande électronique de type OBC V4 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes.