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Pfeiffer Vacuum ATH 2300 M Manuel De L'utilisateur

Pfeiffer Vacuum ATH 2300 M Manuel De L'utilisateur

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MANUEL DE L'UTILISATEUR
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Original
ATH 2300 M/MT
Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques

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Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum ATH 2300 M

  • Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Original ATH 2300 M/MT Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques...
  • Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
  • Page 3 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés Groupe cible Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Etiquettes 1.3.4 Abréviations Sécurité Consignes générales de sécurité Consignes de sécurité Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables Précautions Usage conforme à...
  • Page 4 7.4.2 Vidange du circuit d'eau 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition Mise hors service Immobilisation prolongée Remise en service Mise au rebut Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Accessoires Pièces de rechange Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.3 Caractéristiques environnementales...
  • Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Charges transmises à l'équipement Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Tab. 3: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 4: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab.
  • Page 6 Description d'une pompe ATH 2300 MT Fig. 3: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement Fig. 4: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2300 M Fig. 5: Installation de la pompe à l'horizontale Fig. 6: Installation, aspiration vers le haut Fig.
  • Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
  • Page 8 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.3.3 Etiquettes PURGE Dispositif de purge PUMP EXHAUST Refoulement de la pompe WATER MAX Pr 7 bar/101 psi Pression maximum du circuit d'eau WATER Raccordement du circuit d'eau Raccordement de la terre fonctionnelle Verrouillage du connecteur avant utilisation de la pompe. Ne pas débrancher avant arrêt de la pompe LOCK Sens de rotation du rotor de la pompe...
  • Page 9 A propos de ce manuel Cette étiquette met en garde l'utilisateur contre le risque de blessure en cas de contact de la main avec une surface chaude : s'équiper de gants de protection avant toute inter- vention. Cette étiquette met en garde l’utilisateur contre les gaz pom- pés qui peuvent être dangereux, toxiques et peuvent entraî- ner des blessures graves ou la mort.
  • Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
  • Page 11 ► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère...
  • Page 12 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ►...
  • Page 13 Sécurité 2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur est responsable de l’application qui utilise le produit. Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques.
  • Page 14 ● La pompe est destinée à être intégrée dans un équipement industriel. ● La pompe doit fonctionner avec une unité de commande électronique type OBC ou Magpower Pfeiffer Vacuum. ● La pompe Version MT peut être utilisée pour le pompage de fluides à risque de condensables sous réserve que les gaz ne se condensent pas dans la pompe.
  • Page 15 Sécurité ● L'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel ● L’utilisation dans des zones à risque d'explosion ● L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression ● L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants ●...
  • Page 16 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
  • Page 17 Transport et stockage Pompe seule Pompe avec OBC 1. Sangle 2. Anneau de levage Manutention avec un palan Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Di- mensions »).
  • Page 18 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ●...
  • Page 19 Description du produit 4.2 Interface homme/machine Fig. 1: Description d'une pompe ATH 2300 M 1 Filtre pare-éclats Raccordement d'eau (OUT) 2 Bride d'aspiration (vide élevé) Raccordement d'eau (IN) 3 Purge de gaz neutre (Purge) Bride de refoulement (Pump exhaust) Fig. 2: Description d'une pompe ATH 2300 MT 1 Filtre pare-éclats...
  • Page 20 Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie ciné- tique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement.
  • Page 21 Installation 5.1.1 Spécifications d'installation Turbo Fig. 3: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement 1 Chambre à vide Châssis 2 Equipement Point d'ancrage sécurisé Description d’un scénario de blocage brutal L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les charges résultantes maximum ont été...
  • Page 22 Installation Temps ms Fig. 4: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2300 M 1 Pompe Turbo Vanne avec plaque pendulaire Caractéristiques Unité ATH 2300 M/MT Vitesse nominale 31000 Énergie Couple (C) Max. kN·m Durée ms Délai ms Moment de flexion (B) Max.
  • Page 23 Installation Type de bride d'aspiration Unité DN250 ISO-F DN250 CF-F ou ISO-K Force de serrage totale 161500 355000 Longueur des vis * Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires. Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Le constructeur recommande d’utiliser les lots de visserie prévus à...
  • Page 24 Installation Mise en place de la pompe 1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »). 2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du per- sonnel et la fiabilité du fonctionnement (voir chapitre « Spécifications d'installation »). 3.
  • Page 25 Installation Fig. 6: Installation, aspiration vers le haut 1 Table de levage (exemple) Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit.
  • Page 26 Installation Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contrain- tes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage. 1.
  • Page 27 Installation 5.3.2 Raccordement côté refoulement AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
  • Page 28 Installation 5.4.1 Procédure de montage des raccords Procédure de collage et serrage des raccords filetés 1. Utiliser des raccords 1/4 NPT mâle (fourniture à la charge du client). 2. Coller les raccords avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le file- tage.
  • Page 29 Installation Raccordement circuit de refroidissement pom- Raccordement circuit de refroidissement pe seule pompe avec OBC 1. WATER OUT 2. WATER IN 3. Unité de commande électronique (OBC) 1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau et un robinet pour ajuster le débit. 2.
  • Page 30 Installation Purge de gaz neutre AVIS Rôle de la purge de gaz neutre Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les paliers internes de la pompe. ► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage. ►...
  • Page 31 Installation Une électrovanne installée sur la pompe est alimentée et pilotée par l'unité de commande électronique raccordée à la pompe. 1. Connecter l'électrovanne sur l'orifice PURGE (fixation par 4 vis fournies). 2. Piloter l'électrovanne par le connecteur REMOTE ou via la liaison série de l'unité de commande électronique.
  • Page 32 Installation 5.7 Test d'étanchéité de l'installation L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. L'exploi- tant doit préserver ce niveau d'étanchéité particulièrement lors du pompage de gaz dangereux. Pour davantage d'information concernant les tests d'étanchéité, contacter notre centre de service. 1.
  • Page 33 Installation Lorsqu'il existe un danger lié à un contact accidentel de liquide, de gaz ou d'éléments solides, il est né- cessaire d'installer un circuit de verrouillage type arrêt d'urgence pour stopper l'alimentation de l'électro- nique. ► Ne pas neutraliser ces sécurités pendant l'installation, l'utilisation et la maintenance de la pompe.
  • Page 34 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
  • Page 35 Utilisation 6.2 Démarrage de la pompe 6.2.1 Mise sous tension ► Positionner l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I : l'électronique s'initia- lise. 6.2.2 Démarrage du pompage Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelle que soit l’interface de commande : ●...
  • Page 36 Utilisation 6.3 Arrêt de la pompe 6.3.1 Arrêt du pompage AVIS Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau élec- trique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau électrique : un arc électrique est créé...
  • Page 37 Utilisation Si l’alimentation revient avant que la vitesse minimum soit atteinte, la pompe reprend alors sa vitesse sans aucune perturbation. Le compteur des roulements de secours ne se décrémente pas. Dans le cas où la vitesse minimum est atteinte avant que l’alimentation secteur ne soit revenue : ●...
  • Page 38 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonne- ment ou la mort.
  • Page 39 : les roulements de secours doivent impérativement être remplacés. Si d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces roulements doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum. Rotor de la pompe La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications.
  • Page 40 6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Installation»). Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de de- mande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 45). 40/62...
  • Page 41 Maintenance 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation Rappel des risques et mesures de sécurité ● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance. ● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale : ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client. Procédure de déconnexion 1.
  • Page 42 Maintenance Balayage général 1. Installer l'obturateur équipé de l'injecteur sur le raccord Purge. 2. Raccorder l'azote sur le raccord gaz prévu à cet effet. 3. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression relative de 120 à 150 hPa pendant 30 minutes. 4.
  • Page 43 Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provo- quer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à...
  • Page 44 Mise hors service ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températu- res, ● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés. 44/62...
  • Page 45 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
  • Page 46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
  • Page 47 Accessoires 10 Accessoires Accessoire Fonction Description Dimension Réf. Vanne d'iso- Cette vanne s’utilise pour maintenir le Vanne manuelle voir catalogue constructeur lement vide dans la pompe et l’isoler de la li- gne de pompage. Joint cuivre DN 250 CF-F 303294 pour bride (Qté...
  • Page 48 Accessoires Accessoire Fonction Description Dimension Réf. Câble Câble de l'électrovanne vanne d’entrée d’air et de purge pour pompe A462403-010 raccordée à l'unité de commande électronique (type Magpower). 3,5 m A462403-035 A462403-050 10 m A462403-100 20 m A462403-200 Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer- vacuum.com.
  • Page 49 Pièces de rechange 11 Pièces de rechange Désignation Réf. Remarques Bobine 24 VDC 038066 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air Bobine 24 VDC 108667 sur vanne d'eau Filtre à poussières 106229 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air 49/62...
  • Page 50 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum : ► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5. ► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puis- sance de pompes à...
  • Page 51 Caractéristiques techniques et dimensions Caractéristique Unité ATH 2300 M ATH 2300 MT sccm 3000 1000 Flux maximum sccm 1300 sccm > 4000 > 1000 sccm > 4000 > 1000 Pression maximum à l'aspi- 0,25 0,015 ration 0,04 0,006 Pression maximum au re-...
  • Page 52 Caractéristiques techniques et dimensions 12.3 Caractéristiques environnementales Caractéristiques ATH 2300 M ATH 2300 MT Utilisation intérieur Altitude jusqu’à 2000 m Indice de protection de la pompe IP 42 5 – 45 °C 5 – 25 °C Température ambiante de fonctionnement Température de stockage -5 –...
  • Page 53 Pression absolue 1 · 10 à 1,5 · 10 Tab. 7: Caractéristiques de l'azote 12.6 Caractéristiques électriques Caractéristiques du moteur triphasé ATH 2300 M-MT (valeurs max.) : Tension entre les phases 40 Vrms Fréquence d'alimentation 1300 Hz Courant par phase Les valeurs dépendent du type de contrôleur.
  • Page 54 50,5° DN16 115,5 ISO - KF Ø260 Fig. 8: Dimensions ATH 2300 M Centre de gravité 6 trous M10-6H sur ø 190 prof. maxi : 29 prof. min : 25 Trous Ø d2 équidistants sur Ø d1 Alimentation électrique de la pompe...
  • Page 55 Trous Ø d2 équidistants sur Ø d1 6 trous M10-6H sur ø 190 prof. maxi : 29 prof. min : 25 Alimentation électrique de la ceinture chauffante Alimentation électrique de la pompe ATH 2300 M/MT dimensions (mm) Bride aspiration DN 250 232,5 322,6 325,5...
  • Page 56 Caractéristiques techniques et dimensions Exh. DN 40 ISO KF FACE: Z DN 16 ISO-KF 126,3 193,6 51,4 1/4 NPT 56,7 Exh. Fig. 10: Dimensions ATH 2300 MT avec contrôleur OBC Centre de gravité Trous Ø d2 équidistants sur Ø d1 ATH 2300 MT avec contrôleur OBC - dimensions (mm) Bride aspiration DN 250...
  • Page 57 Caractéristiques techniques et dimensions 83.8 Fig. 11: Dimensions Electrovanne de purge 1 Raccordement sur pompe Rotation possible Fig. 12: Dimensions de l'électrovanne d'entrée air 1 Raccord femelle 1/8" NPT 57/62...
  • Page 58 1/8 NPT 47,7 Fig. 13: Dimensions de la vanne d'eau 1 Câble de la vanne d’eau Bride aspiration ATH 2300 M/MT sans OBC ATH 2300 MT avec OBC Poids (kg) Poids (kg) DN 250 ISO-F DN 250 ISO-K DN 250 CF-F Fig.
  • Page 59 EN 61000-3-3/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-4 : 2019 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature:...
  • Page 60 Déclaration pour produit(s) du type : Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique intégrée ATH 2300 M ATH 2300 MT Pompe raccordée à une unité de commande électronique de type OBC V4 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes.
  • Page 61 61/62...

Ce manuel est également adapté pour:

Ath 2300 mt