Použití - Agilent Technologies TV 301 Mode D'emploi

13 Návod k Použití
Použití
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.
NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře nebo nemá-li utaženou zavírací přírubu. Během
zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte.
Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby.
POZOR!
Mohly by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo
inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních
plynů jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý
přítok inertního plynu (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
"Technical Information").
NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci
každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
178/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)