Agilent Technologies 969-8822 Mode D'emploi

Masquer les pouces Voir aussi pour 969-8822:

Notice de mode d'emploi (300 pages)

page de 97

/ 97
Signets

Liens rapides

Télécharger ce manuel

TV 301SF

Navigator

Pump model:

969-8917

Kit models:

969-8822

Controller models:

969-8972

87-900-957-01(F)

DECEMBER 2007

969-8823

969-8973

NOTICE: This document contains references to Varian.

Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent

Technologies. For more information, go to

www.agilent.com/chem.

(I)

MANUALE DI ISTRUZIONI

(D)

BEDIENUNGSHANDBUCH

(F)

NOTICE DE MODE D'EMPLOI

(E)

MANUAL DE INSTRUCCIONES

(P)

MANUAL DE INSTRUÇÕES

(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING

(DK) INSTRUKSTIONSBOG

(S)

BRUKSANVISNING

(N)

INSTRUKSJON MANUAL

(FIN) OHJEKÄSIKIRJA

(GR)

ODHGIES CRHSEWS

(H)

FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV

(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI

(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ

(SK) NÁVOD NA OBSLUHU

(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA

(GB) INSTRUCTION MANUAL

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies 969-8822

Page 1 MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING Pump model: (DK) INSTRUKSTIONSBOG 969-8917 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL Kit models: (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-8822 969-8823 (GR) ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV Controller models: (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI 969-8972 969-8973 (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ (SK) NÁVOD NA OBSLUHU (SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA...
Page 2 TV 301SF Navigator...
Page 5 ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................5 MODE D’EMPLOI ...............................9 INSTRUCCIONES DE USO ..........................13 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................21 BRUGSANVISNING ............................25 BRUKSANVISNING............................29 BRUKERVEILEDNING .............................33 KÄYTTÖOHJEET .............................37 PDHGIES CRHSEWS ............................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................45 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TV 301SF NAVIGATOR...............69...
Page 6 ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Page 7 ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti- Il TV 301SF Navigator viene fornito in un imballo protettivo spe- lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i- ciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Page 8 ISTRUZIONI PER L'USO Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le ATTENZIONE! seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa − temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico quando è...
Page 9 ISTRUZIONI PER L'USO MANUTENZIONE SMALTIMENTO Il TV 301SF Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale auto- Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette rizzato. Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di- rettiva CE denominata "WEEE". ...
Page 10 GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 11 GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINE INFORMATIONEN VOR DER INSTALLATION Modell TV 301SF Navigator wird in einer speziellen Schutzver- Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. packung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zu- Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie ständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 301SF alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herun- lesen.
Page 12 GEBRAUCHSANLEITUNG Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein- gehalten werden: ACHTUNG! Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An- sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da hang "Technical Information") die Lager beschädigt werden könnten.
Page 13 GEBRAUCHSANLEITUNG WARTUNG ENTSORGUNG Modell TV 301SF Navigator erfordert keine Wartung. Eventuel- le Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausge- Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten führt werden. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) ...
Page 14 MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
Page 15 MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES PREPARATION POUR L'INSTALLATION Le TV 301SF Navigator est livré dans un emballage de protec- Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes- tion spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi local.
Page 16 MODE D’EMPLOI Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: ATTENTION! pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Tech- ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério- nical Information") rer.
Page 17 MODE D’EMPLOI ENTRETIEN MISE AU REBUT Le TV 301SF Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc- ...
Page 18 INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
Page 19 INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN El TV 301SF Navigator se suministra en un embalaje especial Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer de protección; si se observan daños, que podrían haberse atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier producido durante el transporte, ponerse en contacto con la otra información suplementaria facilitada por Varian antes de oficina local de ventas.
Page 20 INSTRUCCIONES DE USO Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: ¡ATENCIÓN! presión máxima: 2 bares por encima de la presión Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la atmosférica turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo dañarse.
Page 21 INSTRUCCIONES DE USO MANTENIMIENTO ELIMINACIÓN El TV 301SF Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. autorizado. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". ...
Page 22 INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 23 INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO O TV 301SF Navigator é fornecido numa embalagem Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de com o escritório de vendas local.
Page 24 INSTRUÇÕES PARA O USO Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: ATENÇÃO! pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no turbobomba quando está...
Page 25 INSTRUÇÕES PARA O USO MANUTENÇÃO ELIMINAÇÃO O TV 301SF Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. autorizado. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE".
Page 26 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 27 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE UITPAKKEN De TV 301SF Navigator wordt in een speciale beschermende Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Page 28 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn ATTENTIE! max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen “Technical Information”) anders beschadigd raken.
Page 29 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ONDERHOUD AFVALVERWERKING 301SF Navigator onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. uitgevoerd. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE".  Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese GEVAAR! Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met...
Page 30 BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 31 BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION FORBEREDELSE FØR INSTALLATION Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren TV 301SF Navigator leveres i en speciel beskyttende bør læse denne brugsanvisning anden yderligere emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke viser tegn på...
Page 32 BRUGSANVISNING Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk VIGTIGT! temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i “Teknisk Information”) forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) beskadigelse af lejerne.
Page 33 BRUGSANVISNING VEDLIGEHOLDELSE BORTSKAFFELSE TV 301SF Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det  såkaldte EU-direktiv "WEEE". ADVARSEL! Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, Inden der foretages noget som helst indgreb på...
Page 34 BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 35 BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. TV 301SF Navigator levereras i ett särskilt skyddande Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig emballage. Kontakta lokala försäljningskontoret dokumentation från Varian före användning av utrustningen. emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av transporten.
Page 36 BRUKSANVISNING Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) VIKTIGT! temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga Information”) förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
Page 37 BRUKSANVISNING UNDERHÅLL BORTSKAFFNING TV 301SF Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-  direktivet som har betecknats som "WEEE". VARNING! Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Innan något arbete utförs på...
Page 38 BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 39 BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. 301SF Navigator leveres spesiell Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke ha oppstått under transporten, må...
Page 40 BRUKERVEILEDNING Under bruk må følgende forhold respekteres: FORSIKTIG! maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) temperatur: fra +5°C til +35°C (se diagram i tillegget Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av “Teknisk informasjon”) turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av Ved magnetfelt må...
Page 41 BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 301SF Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-  direktiv kalt "WEEE". ADVARSEL! Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske Før noe arbeid gjøres på...
Page 42 KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37/89 87-900-957-01(F)
Page 43 KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen 301SF Navigator toimitetaan erityisessä laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden myyntitoimistoon.
Page 44 KÄYTTÖOHJEET Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: HUOMIO! maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan lämpötila: + 5°C - +35°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. kaaviota). Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) pölyä...
Page 45 KÄYTTÖOHJEET HUOLTO HÄVITTÄMINEN TV 301SF Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-  direktiivin mukaisesti. VAARA! Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) Ennen minkään tyyppistä...
Page 46 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
Page 47 ODHGIES CRHSHS PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH 301SF Navigator promhqeÚetai m∂a eidikÿ GENIKES PLHROFORIES prostateutikÿ suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj ◊rceste se epafÿ...
Page 48 ODHGIES CRHSHS Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: PROSOCH m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ apovtomeÇ qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C (bl◊pe di£gramma sto metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
Page 49 ODHGIES CRHSHS SUNTHRHSH To TV 301SF Navigator de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh. Χώνευση Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω σύµβολο εφαρµόζεται σύµφωνα µε την  ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονοµάζεται "WEEE". KINDUNOS! Αυτό...
Page 50 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 51 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell A TV 301SF Navigatort különleges védőcsomagolásban olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben információt.
Page 52 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: FIGYELEM − maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett − hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás- Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását hőmérséklet diagramot „Műszaki információ”...
Page 53 HASZNÁLATI UTASÍTÁS MEGSEMMISÍTÉS KARBANTARTÁS A TV 301SF Navigator nem igényel karbantartást. A A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű kell elvégeznie. irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. szimbólum (mely csak Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen...
Page 54 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 55 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI System TV 301SF Navigator jest dostarczany w specjanym Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą których mogłoby dojść podczas transportu, należy instrukcję...
Page 56 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać UWAGA ! następujące warunki otoczenia: − maksymalne ciśnienie: bary ponad ciśnieniem Unikać uderzeń, wahań gwałtownych przesunięć atmosferycznym turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska. − temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w Dla wlotu do powietrza pompy zastosować...
Page 57 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA KONSERWACJA PRZETWORSTWO ODPADOW System TV 301SF Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo upoważniony personel. “WEEE”.  Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia NIEBEZPIECZEŃSTWO! “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol (prawomocny tylko...
Page 58 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
Page 59 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE PŘÍPRAVA K INSTALACI Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před Vývěva TV 301SF Navigator se dodává ve speciálním použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky dodané...
Page 60 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané VAROVÁNÍ prostředím: − maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a − teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v prudkými pohyby.
Page 61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ÚDRŽBA LIKVIDACE Vývěìva TV 301SF Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. osoby. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) ...
Page 62 NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 63 NÁVOD K POUŽITIU VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Zariadenie TV 301SF Navigator sa dodáva v špeciálnom Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian.
Page 64 NÁVOD K POUŽITIU Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: UPOZORNENIE − maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená − teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom.
Page 65 NÁVOD K POUŽITIU ÚDRŽBA LIKVIDÁCIA Zariadenie TV 301SF Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s personál. názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, ...
Page 66 NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
Page 67 NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo TV 301SF Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno informacije, ki mu jih je posredoval Varian.
Page 68 NAVODILA ZA UPORABO Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: POZOR − Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere − temperatura: from +5 °C to +35 °C (glejte diagram pritisk- Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom temperatura v prilogi “Tehnične informacije”) črpalke tekom delovanja.
Page 69 NAVODILA ZA UPORABO VZDRŽEVANJE ODLAGANJE OPADKOV Naprave TV 301SF Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". ...
Page 70 INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
Page 71 INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The user The TV 301SF Navigator is supplied in a special protective should read this instruction manual and any other additional packing. If this shows signs of damage which may have oc- information supplied by Varian before operating the equipment.
Page 72 INSTRUCTIONS FOR USE During operation, the following environmental conditions must CAUTION be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump − temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pres- when in operation.
Page 73 INSTRUCTIONS FOR USE MAINTENANCE DISPOSAL The TV 301SF Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by au- Meaning of the "WEEE" logo found in labels thorized personnel. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
Page 74 The TV 301SF Navigator kit two models are: • 6th, 7th, 8th and 9th stages with a blade angle − Model 969-8822 with ISO 100 high vacuum of 10°. flange and 24 Vdc controller; The Macrotorr stages are in the form of 3 discs.
Page 75 TECHNICAL INFORMATION Controller Description Power supply (24 The dedicated controller is a solid-state frequency Vdc): Input voltage: 24 Vdc converter which is driven by a single chip micro- Max input power: 200 W computer and is composed of two PCBs which in- Stand-by power: 10 W clude power supply and 3-phase output, analog...
Page 76 TECHNICAL INFORMATION TV 301SF NAVIGATOR OUTLINE The following figures show the TV 301SF Naviga- tor outlines (dimensions are in inches [mm]). TV 301SF Navigator outline 71/89 87-900-957-01(F)
Page 77 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (main port) Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (side port) 72/89 87-900-957-01(F)
Page 78 TECHNICAL INFORMATION Graph of compression ratio (main port) vs foreline pressure Graph of compression ratio (side port) vs foreline pressure 73/89 87-900-957-01(F)
Page 79 TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J5 - IN-OUT The following figure shows the TV 301SF inter- connections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 301SF Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use.
Page 80 TECHNICAL INFORMATION For example: SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must - reference quantity: frequency - threshold: 500 Hz be the following: • - hysteresis: 1% frequency: 100 Hz +/-20% - activation type: "high level" •...
Page 81 TECHNICAL INFORMATION How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV 301SF Navigator to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
Page 82 TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969-8972 The following figure shows a typical logic output The following figure shows the input power con- connection (relay coil) but any other device may be nection relevant to the model n.
Page 83 TECHNICAL INFORMATION where: The controller can answers with the following re- sponse types: NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION it means that the indicated data is the correspond- After a read instruction ing ASCII character.
Page 84 TECHNICAL INFORMATION Command: STOP Window Meanings Source: PC Read/ Data Description Admitted Destination: Controller Write Type Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode Stop = 0 the window is a STX ADDR WINDOW OFF ETX read only) Remote Remote = 1 Source: Controller (default) or Serial Serial = 0...
Page 85 TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Maximum rota- 150 to 963 CRC EPROM QE8XXXX tional frequency (QE) (where “XXXX” (default = 963) in Hz (active only are variable) in Stop condition) CRC Param.
Page 86 TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screen mod. 969-9302 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- ing speed by about 10%.
Page 87 TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION TV 301SF with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9299) is available to improve the TV 301SF cooling during heavy op- erational conditions (optional). Fan specifications: − air flow: 140 m − input voltage: 24 Vdc −...
Page 88 TECHNICAL INFORMATION The metallic model is assembled as shown in the WATER COOLING KIT INSTALLATION figure. Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (me- tallic model), and 969-9347 (plastic model).
Page 89 TECHNICAL INFORMATION Then screw the vent valve into the pump and VENT ACCESSORIES tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a The vent valve allow to avoid undesired venting of torque of 2.5 Nm. the pump during temporary power failure and en- ables an automatic vent operation.
Page 90 TECHNICAL INFORMATION TV-301 AG Rack Controller Compatible VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION A vibration isolator (P/N 969-9342) is available as Vent Valve mod. 969-9844 accessory. For further details refers to the Rack Controller manual. It typically reduces the vibration transmitted from the TV 301SF Navigator to the system by a factor of 20.
Page 91 TECHNICAL INFORMATION Bottom mounting See the following figure. 1. Turn the pump upside-down; 2. Screw the 4 fixing studs (provided with the ac- cessories bag) in the holes on the bottom of pump; 3. Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the top of the controller case;...
Page 92 TECHNICAL INFORMATION 2. Place the controller on the studs aligning the 4 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE rubber holes on the top of the controller; To connect the Turbo-V301SF pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the 3.
Page 93 TECHNICAL INFORMATION Connection B - FORE-VACUUM PUMP NOTE A flange KF 16 NW is available to connect the The Turbo-V301SF pump is characterized by its Turbo-V301SF pump to the fore-vacuum pump. A high compression ratio also for oil vapors. When hose or vacuum approved pipe can be used.
Page 94 TECHNICAL INFORMATION Close the corrosive gas flow into the system. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum opera- Leaving the Turbo-V pump and the backing tion, no particular problem should be expected. pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas However if the effect is grater, than the case...
Page 95 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
Page 96 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
Page 97 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)

Ce manuel est également adapté pour:

Tv 301sf 969-8823 969-8972 969-8973