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Figure 12 Dimensions – T-Station 85
Toutes les mesures sont exprimées en mm (pouces).
Caractéristiques de performances de la pompe
Tableau 16 Caractéristiques de performances de la pompe – nEXT85H
Type de pompe turbomoléculaire
Vitesse de pompage à l'admission :
Azote
Hélium
Hydrogène
Argon
Taux de compression à
l'admission :
Azote
Hélium
Hydrogène
Argon
Pression limite :
D395-94-883A - Référence technique
nEXT85H ISO63
84 ls
78 ls
54 ls
80 ls
> 1 E+11
2 E+07
5 E+05
> 1 E+11
Page 38
nEXT85H CF63
-1
-1
84 ls
-1
-1
78 ls
-1
-1
54 ls
-1
-1
80 ls
> 1 E+11
2 E+07
5 E+05
> 1 E+11
nEXT85H NW40
-1
47 ls
-1
61 ls
-1
49 ls
-1
44 ls
> 1 E+11
2 E+07
5 E+05
> 1 E+11
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