La Pompe Turbomoléculaire Est Très Bruyante, Vibre Énormément Ou Les Deux; Numéros D'erreur; Tableau 11 Numéros D'erreur - Edwards T-STATION 85 Mode D'emploi

Cause Indiquée dans la section d'identification des pannes du manuel de la pompe primaire.
Solution Consultez la section d'identification des pannes du manuel de la pompe primaire.
Reportez-vous à la section
La pompe turbomoléculaire est très bruyante, vibre énormément ou les deux
Cause Indiquée dans la section Dépannage du manuel de la pompe turbomoléculaire.
Solution Consultez la section Dépannage du manuel de la pompe turbomoléculaire. Reportez-vous à
la section
Numéros d'erreur
Si le contrôleur détecte une erreur, l'afficheur indique « Err » suivi d'un numéro.
Reportez-vous au
causes probables et des solutions proposées.
Tableau 11 Numéros d'erreur
Numéro de
l'erreur
Erreurs du contrôleur
1
2
Erreurs de jauge
11
12
21
22
23
24
25
26
D395-94-883A - Identification des pannes
Description générale
Description générale à la page 10.
Tableau 11 à la page 30 pour une description de l'erreur ainsi que de ses
Signification
Erreur EEPROM
Erreur de référence ID
Tension de jauge trop
élevée
Tension de jauge trop
basse
WRG – défaillance Pirani Erreurs spécifiques à une jauge WRG. Consultez le
WRG – magnétron court
WRG – défaillance du
percuteur
WRG – magnétron non
percuté
APGX – défaillance du
filament
APGX – erreur
d'étalonnage
à la page 10.
Cause possible/solution
La somme de contrôle de l'EEPROM interne a
échoué. Les valeurs par défaut de tous les réglages
utilisateur sont rétablies.
La référence utilisée pour identifier les jauges est
incorrecte. Déconnectez toutes les jauges,
débranchez et rebranchez l'alimentation électrique,
et attendez 30 secondes avant de reconnecter les
jauges.
La tension d'une jauge est trop élevée. La jauge est
peut-être défectueuse.
La tension d'une jauge est trop basse. La jauge est
peut-être défectueuse.
manuel de la jauge WRG pour plus d'informations.
Appuyez sur la touche ENTRÉE pour effacer l'erreur
de l'afficheur une fois corrigée.
Erreurs spécifiques à une jauge APGX. Consultez le
manuel de la jauge APGX pour plus d'informations.
Appuyez sur la touche ENTRÉE pour effacer l'erreur
de l'afficheur une fois corrigée.
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