Table des Matières
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Type de pompe turbomoléculaire
avec pompe primaire rotative à
palettes
avec pompe à membrane
*
Pression limite 48 heures après étuvage avec pompe primaire rotative à palettes à 2 étages.
Pression limite 48 heures après étuvage avec une pression de refoulement < 5 mbar (500 Pa).
§
Tableau 17 Caractéristiques de performances de la pompe - nEXT85D
Type de pompe turbomoléculaire
Vitesse de pompage à l'admission :
Azote
Hélium
Hydrogène
Argon
Taux de compression à
l'admission :
Azote
Hélium
Hydrogène
Argon
Pression limite :
avec pompe primaire rotative à
palettes
avec pompe à membrane
Pression limite 48 heures après étuvage avec pompe primaire rotative à palettes à 2 étages.
*
Pression limite 48 heures après étuvage avec une pression de refoulement < 5 mbar (500 Pa).
§
Substances pompées
AVERTISSEMENT :
Remettez à l'air les gaz dangereux et les mélanges gazeux de manière sûre. N'exposez
personne à ces gaz. Si vous pompez des vapeurs ou des gaz dangereux, respectez les
consignes de sécurité du fournisseur de gaz/vapeur.
AVERTISSEMENT :
La pompe ne convient pas au pompage de mélanges gazeux explosifs ou pyrophoriques.
La pompe et ses raccords ne sont pas prévus pour résister à une explosion.
AVERTISSEMENT :
N'exposez aucune partie de votre corps au vide ; vous risqueriez de vous blesser ou de
tuer quelqu'un.
D395-94-883A - Référence technique
*
§
*
§
nEXT85H ISO63
nEXT85H CF63
< 5 E-09 mbar
< 5 E-10 mbar
< 5 E-08 mbar
< 5 E-09 mbar
nEXT85D ISO63
nEXT85D CF63
-1
84 ls
-1
78 ls
-1
60 ls
-1
80 ls
> 1 E+11
8 E+06
2 E+05
> 1 E+11
< 5 E-09 mbar
< 5 E-10 mbar
< 5 E-08 mbar
< 5 E-09 mbar
Page 39
nEXT85H NW40
< 5 E-09 mbar
< 5 E-08 mbar
nEXT85D NW40
-1
84 ls
47 ls
-1
78 ls
61 ls
-1
60 ls
49 ls
-1
80 ls
44 ls
> 1 E+11
> 1 E+11
8 E+06
8 E+06
2 E+05
2 E+05
> 1 E+11
> 1 E+11
< 5 E-09 mbar
< 5 E-08 mbar
-1
-1
-1
-1
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