Publicité
Remise en place de la source plasma dans le système
1. S'assurer que le système est hors tension.
2. S'assurer que l'interrupteur d'alimentation à l'arrière de la source plasma est sur Arrêt (O).
3. Placer la source plasma sur le plateau à l'intérieur du système et la fixer soigneusement au plateau. S'assurer que
la source plasma ne peut être penchée ou levée du plateau.
4. Faire passer les fils du cordon d'alimentation
de la source plasma à travers le serre-câble le
plus haut à l'arrière du boîtier électrique
5. Brancher le fil de terre vert à la base du boîtier
électrique
. S'assurer de bien rebrancher les
2
deux autres fils. Consulter la Figure 28.
6. Brancher les fils noir, rouge et blanc du cordon
d'alimentation tel qu'illustré sur la Figure 28.
7. Serrer le serre-câble.
8. Replacer le couvercle sur le boîtier électrique.
Freedom 38 PPA Manuel de l'opérateur 808942
6 – Procédures de remplacement des composants
.
1
Figure 28
2
Fil noir
Fil rouge
Fil blanc
1
131
Publicité
