Table des Matières
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MSA
Interférent
Acétone
Acétylène
Ammoniac
Arsine
Benzène
Brome
Dioxyde de
carbone
Disulfure de
carbone
Monoxyde
de carbone
Chlore
Diborane
FR
Concen-
tration
GeH
3
[ppm]
1000
Pas de
don-
nées
12000
Pas de
don-
nées
25
Pas de
don-
nées
1
1
20
Pas de
don-
nées
2
Pas de
don-
nées
5000
Pas de
don-
nées
15
0
100
0
5
Pas de
don-
nées
20
5
ULTIMA X
Annexe : Spécifications de l'appareil
B
H
Br
F
2
6
2
2
Pas de
0
0
don-
nées
Pas de
0
0
don-
nées
Pas de
0
0
don-
nées
5
0
0
Pas de
0
0
don-
nées
Pas de
2
12
don-
nées
Pas de
0
0
don-
nées
0
0
0
0
0
0
Pas de
4
10
don-
nées
20
0
0
®
- Series
NH
NH
EtO
3
2
Pas de
Pas de
Pas de
don-
don-
don-
nées
nées
nées
Pas de
Pas de
Pas de
don-
don-
don-
nées
nées
nées
25
Pas de
0
don-
nées
Pas de
Pas de
Pas de
don-
don-
don-
nées
nées
nées
Pas de
Pas de
Pas de
don-
don-
don-
nées
nées
nées
Pas de
Pas de
Pas de
don-
don-
don-
nées
nées
nées
0
0
Pas de
don-
nées
Pas de
Pas de
Pas de
don-
don-
don-
nées
nées
nées
0
2
Pas de
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nées
0
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0
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don-
nées
nées
nées
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