2.3. Composants du groupe de pompage
Groupe de pompage
Composants du groupe
de pompage
Pompe turbomoléculaire drag
Pompe à membranes
Commande électronique
d'entraînement
Commande du groupe
de pompage
Vanne de remise à l'air
2.4. Pour votre orientation
Dans le texte
Directive de travail: Vous devez alors intervenir.
Symboles utilisés
Les symboles ci-après sont toujours utilisés sur les
illustrations suivantes:
H
Bride de vide élevé
F
Raccord de remise à l'air
Racc ord d'eau de refroidissement
Raccord électrique
Régulation de gaz
Echappement
Refroidissement par air
Numéros
Les mêmes pièces du groupe de pompage et des accessoires
ont les mêmes numéros sur toutes les illustrations.
28
TSD 022
TSH 064 D
TPD 022
TMH 064
MZ 2T
MZ 2T
TCP 015
TCP 015
TCS 015
TCS 015
—
TSF 012
TSH 064 D
TSH 065 D
TSU 064 D
TMH 064
TMU 064
TMH 065
MZ 2T
MZ 2T
TCP 015
TCP 015
TCS 015
TCS 015
TSF 012
TSF 012
TSH 065 D
Mode d'emploi
TSU 065 D
PM 800 412 BN
PM 800 308 BN avec
annexe PM 800 321 BN
TMH 065
PM 800 308 BN
TMU 065
MZ 2T
PK 800 173 BN
TCP 012
PM 800 230 BN
TCS 015
PM 800 248 BN
TSF 012
PM 800 168 BN