8. Données techniques
Groupe de pompage
Diamètre nom. de raccordement
Capacité d'aspiration pour
azote N 2
hélium He
hydrogène H 2
Plage de travail
de
à
Capacité d'aspiration
Pompe primaire
Puissance électronique raccordée
Poids
Composants du groupe
de pompage
Pompe turbomoléculaire drag
Pompe de vide à membranes
Commande électronique
d'entraînement
Appareil de commande
du groupe de pompage
Vanne de remise à l'air
1) Valeur entre parenthèses lors d'une réduction à DN 40 ISO-KF.
2) Compris dans étendue de la fourniture.
8.1. Croquis coté
TSD 022
TSH/U 064 D
TSH/U 065 D
34
Unité
TSD 022
DN 63 ISO-K
18 (15) 1)
l/s
12 (10) 1)
l/s
9 (7) 1)
l/s
mbar
1000
2 · 10 -7
mbar
m 3 /h
2
kW
0,3
kg
24,5
TPD 022
TMH 064
MZ 2T
TCP 015
TCS 015
—
A
360
375
400
TSH 064 D
TSH 064 D
TSU 064 D
DN 40 ISO-KF
DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
30
53
40
42
20
31
1000
1000
< 1 · 10 -8
< 1 · 10 -9
2
2
0,3
0,3
25
25/25,2
—
—
TMH 064
TMH 065
TMU 064
MZ 2T
MZ 2T
TCP 015
TCP 015
TCS 015
TCS 015
TSF 012 2)
TSF 012 2)
TSH 065 D
TSH 065 D
TSU 065 D
DN 40 ISO-KF
DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
30
56
40
48
34
36
1000
1000
< 1 · 10 -8
< 1 · 10 -9
2
2
0,3
0,3/0,35
26
26/26,4
—
—
TMH 065
TMU 065
MZ 2T
MZ 2T
TCP 015
TCP 015
TCS 015
TCS 015
TSF 012 2)
TSF 012 2)