Pumpstandkomponenten; Zu Ihrer Orientierung - Pfeiffer Vacuum TSD 022 Mode D'emploi

2.3. Pumpstandkomponenten

Pumpstand
Pumpstandkomponenten
Turbomolekular-Drag-Pumpe
Membranpumpe
Antriebselektronik
Pumpstandsteuerung
Flutventil

2.4. Zu Ihrer Orientierung

Im Text
Arbeitsanweisung: Hier müssen Sie etwas tun.
Benutzte Symbole
Die folgenden Symbole werden auf den folgenden
Abbildungen einheitlich verwendet:
H
Hochvakuumflansch
F
Flutanschluß
Kühlwasseranschluß
Elektroanschluß
Gaseinlaß
Auspuff
Luftkühlung
Positionsnummern
Gleiche Pumpstand- und Zubehörteile haben in allen
Abbildungen die gleichen Positionsnummern.
4
TSD 022 TSH 064 D
TPD 022
TMH 064
MZ 2T MZ 2T
TCP 015 TCP 015
TCS 015 TCS 015
— TSF 012
TSH 064 D TSH 065 D
TSU 064 D
TMH 064
TMU 064
TMH 065
MZ 2T MZ 2T
TCP 015 TCP 015
TCS 015 TCS 015
TSF 012 TSF 012
TSH 065 D Betriebsanleitung
TSU 065 D
PM 800 412 BN
PM 800 308 BN mit
Beiblatt PM 800 321 BN
TMH 065 PM 800 308 BN
TMU 065
MZ 2T PK 800 173 BN
TCP 015 PM 800 230 BN
TCS 015 PM 800 248 BN
TSF 012 PM 800 168 BN