Publicité
13
Návod k Použití
Použití
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 80 °C.
NEBEZPEČÍ!
Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká
teplota může způsobit popáleniny.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly
POZOR!
by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu
a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad
atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N
pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical Information").
NEBEZPEČÍ!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních
plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
198/304
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
, Ar)
2
Publicité
Chapitres
