Edwards GX Serie Mode D'emploi

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GX100L 200-230 V 50/60 Hz

GX100L 380-460 V 50/60 Hz

GX100LT 200-230 V 50/60 Hz

GX100LT 380-460 V 50/60 Hz

GX100Ti 200-230 V 50/60 Hz

GX300L 200-230 V 50/60 Hz

GX300L 380-460 V 50/60 Hz

GX600L 200-230 V 50/60 Hz

GX600L 380-460 V 50/60 Hz

GX100N 200-230 V 50/60 Hz

Mode d'emploi

Système de pompage sec GX

Numéro de

Description

référence

A547-10-958 GX100N 380-460 V 50/60 Hz

A547-10-959 GX100NT 200-230 V 50/60 Hz

A547-40-958 GX100NT 380-460 V 50/60 Hz

A547-40-959 GX300N 200-230 V 50/60 Hz

A547-46-958 GX300N 380-460 V 50/60 Hz

A547-20-958 GX600N 200-230 V 50/60 Hz

A547-20-959 GX600N 380-460 V 50/60 Hz

A547-30-958 GX1000N 200-230 V 50/60 Hz

A547-30-959 GX1000N 400 V 50/60 Hz

A547-11-958

A547-00-883

Issue D

Numéro de

référence

A547-11-959

A547-41-958

A547-41-959

A547-21-958

A547-21-959

A547-31-958

A547-31-959

A547-81-958

A547-81-959

Sommaire des Matières pour Edwards GX Serie

Page 1 A547-00-883 Issue D Mode d'emploi Système de pompage sec GX Numéro de Numéro de Description Description référence référence GX100L 200-230 V 50/60 Hz A547-10-958 GX100N 380-460 V 50/60 Hz A547-11-959 GX100L 380-460 V 50/60 Hz A547-10-959 GX100NT 200-230 V 50/60 Hz A547-41-958 GX100LT 200-230 V 50/60 Hz A547-40-958 GX100NT 380-460 V 50/60 Hz...
Page 2 Déclaration de conformité Nous, la société Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, R.U. déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que le ou les produit(s) suivant(s)
Page 3 Sécurité et fréquence d'entretien ..................29 Déplacement du système pour l'entretien ................30 Vidange de l'eau de refroidissement .................31 Nettoyage de la pompe ....................32 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page i Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 4 Centre de gravité et charges de pied de mise à niveau (voir Figure 6) ......... 8 Types de connecteurs GX ....................9 Caractéristiques techniques ...................10 Capteurs de sécurité ....................27 Accessoires .......................36 Page ii © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 5 Ce manuel présente les instructions de montage, d'utilisation et d'entretien des systèmes de pompage sec GX d'Edwards. Il convient d'utiliser le système de pompage comme indiqué dans ce manuel. Lisez ce manuel avant d’installer et d'utiliser la pompe. Les informations de sécurité importantes sont mises en évidence dans des encadrés intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION.
Page 6 Si vous utilisez le système GX sur une application pour laquelle il ne convient pas (voir Figure 1), vous risquez d'annuler vos garanties. En cas de doute, contactez Edwards qui vous conseillera sur l'adéquation du système GX à toute application particulière. Page 2 ©...
Page 7 Au fil du temps, le pompage d'une substance chimique susceptible d'attaquer les matériaux en contact avec ces produits de procédé peut provoquer une exposition du contenu de la pompe à l'environnement extérieur et constituer ainsi un danger. En cas de doute, contactez Edwards qui vous conseillera sur l'adéquation de cette pompe à toute application particulière.
Page 8 Interface module accessoire* (inutilisé) Raccord de sortie des gaz d'échappement Interface GRC* Orifice d'essai d'étanchéité Orifice d'extraction Pas sur les variantes T Page 4 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 9 Voyant d'avertissement (orange) Voyant de fonctionnement (vert) Voyant d'alimentation OK (vert) Comms 5 - Connexion terminal d'affichage (PDT1) Pas sur les variantes T © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 5 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 10 1. PDT 1 2. PDT 2 3. Contrôleur du système 4. LON 5. Panneau avant 6. Aucun aux commandes Occupé Libre Page 6 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 11 ± 1,4 bars relatifs µ Qualité de l'alimentation en azote <0,01 <0,01 Débit d'azote Pression du module de gaz bars relatifs © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 7 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 12 Charges de pied de mise à niveau Figure 6 – Centre de gravité et charges de pied de mise à niveau Page 8 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 13 4 - normalement fermé 5 - Normalement ouvert et 6 - commun 60 V c.c. 0,5 A Pas sur la variante T. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 9 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 14 Stockage -45 à +55 °C Humidité relative 10 à 90 Altitude de fonctionnement 2000 maximale Niveau de pollution 2 (CEI 61010) Page 10 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 15 Seuls les techniciens d'Edwards sont habilités à installer le système de pompage sec. Les utilisateurs peuvent  être formés par Edwards à la réalisation des tâches décrites dans ce manuel ; contactez votre centre de service local ou Edwards pour plus d'informations.
Page 16 (voir Section 7.3). Figure 7 – Disposition du système pour réduire l'encombrement effectif (si nécessaire) Page 12 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 17 Intégrez des conduites flexibles dans la conduite de vide pour réduire la transmission de vibrations et  empêcher le chargement des joints d'accouplement. Nous recommandons l'emploi de connexions flexibles renforcées Edwards. Les conduites doivent pouvoir supporter une température de 110 °C. Soutenez correctement les conduites de vide/d'échappement pour empêcher la transmission de contrainte ...
Page 18 En présence de substances inflammables ou pyrophoriques dans l'équipement : Ne laissez pas pénétrer l'air dans l'équipement  Vérifiez que le système est parfaitement étanche  Page 14 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 19 Pour plus d'informations, reportez-vous au guide des applications de pompes pour semi-conducteurs  (publication n° P411-00-090) ou contactez Edwards : consultez la page d'adresse au dos de ce manuel pour plus de détails sur la société Edwards la plus proche.
Page 20 Notes: 1. Edwards recommande de raccorder l'alimentation électrique à un isolateur approprié, aisément accessible pour l'entretien et clairement identifié. 2. Pour plus d'informations sur le raccordement de l'alimentation électrique, consultez le site Web à...
Page 21 2, élément 2) du système GX. 7. Connectez l'autre extrémité du câble d'alimentation électrique à votre alimentation électrique via un isolateur approprié. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 17 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 22 Reportez-vous à la section Caractéristiques techniques pour la plaque signalétique du groupe de pompage. Page 18 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 23 4. Arrêt d'urgence B. Système GX 5. Alimentation électrique 1. Réinitialisation/marche 2. Alimentation électrique du système GX (Figure 2, élément 2) © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 19 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 24 Section 2 et qu'elle soit raccordée en parallèle (voir Figure 11). Edwards recommande l'utilisation de raccords rapides (fournis) pour réduire le risque de déversement accidentel d'eau pendant le branchement/débranchement. Reportez-vous à la Figure 11. Raccordez l'alimentation en eau de refroidissement comme suit : 1.
Page 25 (Figure 4, élément 9) s'allume. Si tel n'est pas le cas, contactez Edwards ou consultez son site Web. 2. Ouvrez les alimentations en eau de refroidissement et en azote. 3. Assurez-vous que le système d'extraction-évacuation n'est pas obstrué (par exemple, que les vannes du système d'extraction-évacuation sont ouvertes).
Page 26 3. Raccord réducteur 1/4" BSPT vers 3/8" BSPT 4. Raccord de retour d'eau de refroidissement 5. Raccord d'alimentation en eau de refroidissement Page 22 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 27 Figure 12 – Panneau d'accès au module de gaz 1. Vis de fixation 2. Panneau d'accès Figure 13 – Tuyau d'écoulement (14 slm) © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 23 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 28 4.4), le système GX s'arrête automatiquement. Vous devez veiller à ce que votre installation demeure sûre si le système GX s'arrête automatiquement. Page 24 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 29 (Figure 4, élément 2) jusqu'à ce que la pompe démarre et le voyant de  fonctionnement (Figure 4, élément 8) s'allume. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 25 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 30 Si la pompe ne doit pas être utilisée pendant un certain temps, coupez les alimentations électrique et en eau de refroidissement. Page 26 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 31 La décision d'arrêter ou non la pompe est laissée à l'outil. Si le système GX subit un arrêt non planifié, identifiez la cause de l'arrêt et résolvez le problème avant de redémarrer. En cas de doute, contactez un technicien d'entretien Edwards. Arrêt d'urgence Remarque : Le bouton d'arrêt d'urgence n'est pas un isolateur électrique.
Page 32 GX risque d'être endommagé pendant son fonctionnement. Si un SEM est raccordé à votre système GX, vous pouvez télécharger des paramètres de configuration contenant des valeurs de configuration prédéfinies, par exemple, des points de consigne. Contactez Edwards ou consultez son site Web pour plus d'informations.
Page 33 Les panneaux d'enceinte doivent être déposés uniquement à l'aide d'un outil spécial, lorsque le système a été  coupé et refroidi suffisamment longtemps (à titre indicatif, le système doit être laissé pendant une heure © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 29 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 34 Adaptez-la à votre expérience. Lors de l'entretien du système GX, utilisez les kits d'entretien et de maintenance Edwards. Ils contiennent tous les joints et les autres éléments nécessaires aux opérations d'entretien. Veillez à ce que les alimentations en azote et en eau de refroidissement soient conformes aux caractéristiques techniques de la...
Page 35 5. Surveillez la sortie du tuyau de vidange jusqu'à ce que l'eau de refroidissement ne s'écoule plus. Si le système est de type sas (L), la procédure est terminée. S'il s'agit d'une variante N ou TI, passez à l'étape © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 31 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 36 Inspectez la pompe mensuellement et, au besoin, frottez l'extérieur à l'aide d'un chiffon doux non pelucheux et d'un produit de nettoyage spécial à base d'eau déminéralisée ou d'isopropanol. Page 32 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 37 Les produits Edwards sont pris en charge par un réseau mondial de centres de service Edwards. Chacun d'eux propose un vaste éventail d'options de mise au rebut. Reportez-vous à la Section 7.2...
Page 39 HS1 et HS2 à la fin de ce manuel). Notes: 1. En cas de renvoi du système GX dans un centre de service Edwards ou une autre société Edwards, vous devez respecter les exigences énoncées à la Section 7 et la procédure de retour d'équipements Edwards...
Page 40 3/8" BSPP 90° Snap-tite A507-23-000 3/8" BSPP 90° Parker A507-24-000 Raccords rapides à eau en laiton 3/8" BSPP 90° Snap-tite A507-48-000 Page 36 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 41 Clapet anti-retour iGX avec sas d'enceinte (L) A507-45-000 Clapet anti-retour iGX avec procédé A507-46-000 d'enceinte (N) CD d'activation du serveur Web D373-75-400 Pas sur la variante T. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 37 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.

Ce manuel est également adapté pour:

Gx100l 200-230 v 50/60 hzGx100l 380-460 v 50/60 hzGx100lt 200-230 v 50/60 hzGx100lt 380-460 v 50/60 hzGx100ti 200-230 v 50/60 hz Gx300l 200-230 v 50/60 hz ... Afficher tout