Edwards EPX Serie Mode D'emploi

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EPX180L

EPX180N

EPX180LE

EPX180NE

EPX500L

EPX500N

EPX500LE

EPX500NE

Mode d'emploi

Pompes à vide sèches EPX de la série HiVac

EPX

Numéro de référence

A419-41-xxx

A419-42-xxx

A419-48-xxx

A419-43-xxx

A419-44-xxx

A419-51-xxx

A419-52-xxx

A419-53-xxx

A419-54-xxx

A419-00-883

Issue H

EPX TWIN

Numéro de référence

A419-61-xxx

A419-62-xxx

A419-68-xxx

A419-63-xxx

A419-64-xxx

A419-71-xxx

A419-72-xxx

A419-73-xxx

A419-74-xxx

Sommaire des Matières pour Edwards EPX Serie

Page 1 A419-00-883 Issue H Mode d’emploi Pompes à vide sèches EPX de la série HiVac Description EPX TWIN Numéro de référence Numéro de référence EPX180L A419-41-xxx A419-61-xxx EPX180N A419-42-xxx A419-62-xxx EPX180N A419-48-xxx A419-68-xxx EPX180LE A419-43-xxx A419-63-xxx EPX180NE A419-44-xxx A419-64-xxx EPX500L A419-51-xxx A419-71-xxx EPX500N A419-52-xxx...
Page 2 Déclaration de conformité Nous, la société Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, R.U. déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que le ou les produit(s) suivant(s) Pompe sèche à...
Page 3 Texte affiché et texte variable ..................38 Boucle de saisie ......................39 Temporisation ......................39 Arborescence des menus ....................39 Exemple ........................40 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page i Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 4 Schéma fonctionnel de la fonction d’arrêt d’urgence ............33 Arborescence des menus EUC et PDT ................41 Menu Switch on (marche) ....................42 Menu Switch off (arrêt) ....................42 Page ii © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 5 Programme d’entretien ....................58 Recherche des causes de pannes ..................58 Alarmes et avertissements sur l’EUC EPX ................59 Kits d’accessoires ....................... 63 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page iii Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 7 Ce manuel présente les consignes d’installation, d’exploitation et d’entretien des pompes à vide sèches EPX de la série HiVac de Edwards (pompes qui seront désignées dans le reste de ce manuel par l’abréviation « pompe EPX »). Vous devez utiliser la pompe EPX comme indiqué dans ce manuel.
Page 8 1. Toute utilisation incorrecte du système EPX risque d’annuler la garantie. Contactez votre agent Edwards local si vous n’êtes pas sûr que le système EPX convienne à votre application. La pompe EPX ne doit pas être utilisée pour pomper des mélanges explosifs ou des gaz pyrophores.
Page 9 180, par exemple EPX180LE) et 500 m /h (lettres désignant la variante, précédées de 500, par exemple EPX500N). © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 3 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 10 (ou sur l’EUC) s’allume (Figure 4, repère 4). La pompe continue à fonctionner. Voyants d’état Consultez le Tableau 1 et la Figure Page 4 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 11 4. Arrivée de l’eau de refroidissement 5. TIM 6. Câble d’alimentation secteur 7. Supports antivibratoires (quatre emplacements) 8. Echappement 9. Sortie de l’eau de refroidissement © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 5 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 12 Figure 3 - Détails d’installation de la pompe EPX Twin 180L - emplacement de l’orifice de refoulement supplémentaire pour les modèles de pompe EPX Page 6 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 13 Prise de terre de protection Utilisez cette prise pour mettre la pompe EPX à la terre : voir (Figure 2, repère 3) Section 3.10. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 7 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 15 La conduite de retour de l’eau de refroidissement se raccorde à la pompe en ce point. Etiquette de produit Nom du produit. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 9 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 16 EPX. Pour le fonctionnement de cet accessoire, voir Sections 1.8 et 4. Page 10 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 17 à votre application. Etiquette : identification du module de gaz. Raccord de conduite : alimentation en azote au lest d’air. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 11 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 18 E sont commandées via le module TIM, l’EUC surveille simplement l’état de la pompe. La pompe EPX est compatible avec Fabworks 32. Etiquettes des pompes EPX Consultez le Tableau 3 et la Figure Page 12 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 19 (autrement dit si l’origine du problème) disparaît, le voyant correspondant s’éteint dès que la condition est acquittée. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 13 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 21 Le temps nécessaire pour atteindre le vide limite dépend de la propreté du système de vide et de la conductance de la conduite amont. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 15 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 22 Le pouvoir de coupure AIC du sectionneur d’alimentation secteur doit être d’au moins 10 000 A. Pour plus de détails, consultez la clause 13 des normes SEMI S2 - 0200 et SEMI S8. Page 16 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 23 Fluoroélastomère Viton Arbre de pompe Acier au carbone Composants du module de gaz azote Acier inoxydable, aluminium anodisé dur et Viton © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 17 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 24 Pression en entrée 1. EPX500 2. EPX180 Figure 9 - Courbe caractéristique (Torr) Pression en entrée 1. EPX500 2. EPX180 Page 18 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 25 Figure 11 - Courbe de vitesse (Torr) EPX et EPX Pression en entrée 1. EPX 180 2. EPX TWIN 180 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 19 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 26 A419-00-883 Issue H Figure 12 - Cotes d’installation EPX L (modèle EPX500L illustré) H = 388 (EPX180) H = 397 (EPX500) Page 20 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 27 A419-00-883 Issue H Figure 13 - Cotes d’installation EPX LE (modèle EPX500LE illustré) © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 21 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 28 A419-00-883 Issue H Figure 14 - Cotes d’installation EPX N (modèle EPX500N illustré) Page 22 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 29 A419-00-883 Issue H Figure 15 - Cotes d’installation EPX NE (modèle EPX500NE illustré) © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 23 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 30 EPX500NE –0,69 –12,24 –206,36 EPX180L 2,50 –3,15 –196,39 EPX180LE 2,47 –1,42 –196,90 EPX180N –0,51 –14,20 –199,47 EPX180NE –0,51 –12,49 –199,93 Page 24 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 31 4. Clapet anti-retour 8a. Autre orifice de purge de joint (pas utilisé) 5. Electrovanne 9. Raccord 6. Restricteurs de débit fixes © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 25 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 33 Débranchez tous les autres composants du circuit process de l’alimentation afin d’éviter leur remise en route  accidentelle. La publication Edwards intitulée « Sécurité des pompes à vide et des systèmes de vide » (référence P300-20-200) donne des informations complémentaires. Déballage et vérifications AVERTISSEMENT Soulever des objets lourds peut provoquer des froissements de muscles et des blessures au dos.
Page 34 Le poids de la pompe est uniformément réparti entre les supports antivibratoires. La position du centre de gravité est donnée à la Figure Page 28 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 35  (débris de soudure par exemple) ne puisse pénétrer dans la pompe pendant son fonctionnement. Au besoin, demandez conseil à Edwards ou à votre fournisseur sur les vannes de sectionnement à l’admission  ou autres composants qui conviendraient de mettre en place dans votre application.
Page 36 Utilisez par exemple des soufflets flexibles tressés. La conduite d’échappement doit avoir partout un diamètre NW25 au minimum.  Page 30 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 37 ). Le débit de fuite requis pour votre système dépend des exigences de sécurité et des besoins opérationnels. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 31 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 38 6. Inspectez les tuyaux d’eau, les conduites et les raccords et assurez-vous qu’il n’y a pas de fuite. 7. Coupez l’alimentation en eau pendant l’exécution du reste de la procédure d’installation. Page 32 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 39 Figure 18 - Schéma fonctionnel de la fonction d’arrêt d’urgence REINITIALISATION/DEMARRAGE ALIMENTATION ALIMENTATION VERS Dispositif d’arrêt LE MOTEUR DE LA d’urgence ARRET POMPE D’URGENCE © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 33 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 40 être enlevés de la pompe sous peine d’endommager celle-ci, de provoquer des accidents et d’annuler la déclaration de conformité et la garantie. Avant de retirer des capots, le personnel d’intervention qualifié de Edwards doit attendre 4 minutes après la coupure de l’alimentation électrique.
Page 41 3. Pour assurer le bon fonctionnement de la pompe, laissez s’écouler au moins 10 secondes entre les opérations successives des signaux d’entrée. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 35 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 42 2. Toutes les sorties d’état de la pompe sont maintenues en cas de coupure d’alimentation d’une durée maximale d’une seconde. 3. Tous les contacts d’état s’ouvrent si l’alimentation est coupée. Page 36 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 43 Ce symbole indique la présence de texte supplémentaire qui ne fait pas partie du menu mais qui décrit plus en détail le fonctionnement du menu. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 37 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 44 Indique le numéro de série. Le numéro de série est un numéro que vous pouvez utiliser pour identifier le système EPX de l’installation. <parameter> (paramètre) Paramètre ou option de menu précédemment sélectionné. <message> Message d’avertissement, d’alarme ou de conseil. Page 38 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 45 Select Line (sélection de ligne) Service (intervention) Personnel d’intervention uniquement Serial Number (numéro de série) Personnel d’intervention uniquement Date/heure Personnel d’intervention uniquement © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 39 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 46 9. Appuyez sur les touches Haut et Bas pour modifier le paramètre affiché et appuyez sur la touche Enter. La ligne du haut de l’affichage normal indique maintenant le nouveau paramètre sélectionné. Page 40 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 48 Lorsque vous appuyez sur ENTER ou sur CANCEL, l’affichage revient au dernier écran affiché avant l’activation du bouton Page 42 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 49 Pour modifier les paramètres qui sont affichés en mode normal, utiliser l’option Normal Display du menu Setup [25]. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 43 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 50 Si des avertissements ou alarmes ont été générés, ils s’affichent. Dans le cas contraire, cette sous-routine est ignorée. Page 44 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 51 Lorsque vous appuyez sur ENTER ou sur CANCEL, l’affichage revient au dernier écran affiché avant l’activation de la touche Control. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 45 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 52 Service. Si le mot de passe est incorrect, l’écran revient à l’affichage normal. Page 46 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 53 Normal Display s’affiche. Si vous appuyez sur CANCEL alors qu’une autre rubrique du menu Setup est affichée, la rubrique Software Version s’affiche. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 47 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 54 <status> affiche le numéro de version du logiciel. Appuyez sur ENTER ou sur CANCEL pour revenir au menu Setup [25]. Page 48 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 55 à l’écran [UNITS SELECT Speed] sans que le changement d’unités ne soit pris en compte. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 49 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 56 Status [23]. Appuyez sur CANCEL pour sortir de l’écran SELECT PARAMETER et revenir à la rubrique SELECT LINE appropriée. Page 50 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 57 être enlevés de la pompe sous peine d’endommager celle-ci, de provoquer des accidents et d’annuler la déclaration de conformité et la garantie. Avant de retirer des capots, le personnel d’intervention qualifié de Edwards doit attendre 4 minutes après la coupure de l’alimentation électrique.
Page 58 « pompe en marche » se ferme. Si le voyant de marche ne s’allume pas ou si le contact de sortie d’état « pompe en marche » reste ouvert, voir Section 6.6. Page 52 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 59 électrique. En cas d’arrêt imprévu, veillez à ce que l’origine de l’arrêt soit identifié et rectifié avant de remettre la pompe en marche. En cas de doute, demandez conseil à un représentant Edwards. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés.
Page 61 électriques. Toute tentative de dépose du rotor de la pompe, de séparation du moteur de la pompe ou de dépose des capots électriques risque de provoquer des dommages matériels ou corporels. Il est recommandé de faire appel au personnel d’entretien qualifié de Edwards pour toutes les interventions ...
Page 62 Il existe des fiches de données de sécurité Edwards pour les matières fluorées utilisées dans la pompe EPX, disponibles sur simple demande: contactez votre fournisseur ou Edwards. Fiche technique santé- sécurité...
Page 63 Inspectez la pompe annuellement (ou conformément à tout programme d’entretien préventif) et, au besoin, frottez l’extérieur avec un chiffon doux non pelucheux et un produit de nettoyage spécial à base d’eau déminéralisée ou d’isopropanol. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 57 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 64 être effectuées par le personnel d’intervention qualifié de Edwards : contactez votre fournisseur ou Edwards pour programmer une révision complète. Pour déposer la pompe en vue de son entretien, voir Section Table 16 - Programme d’entretien...
Page 65 élevée) fournis. Laissez la pompe refroidir complètement. Remettez la pompe en marche. Si le problème persiste, contactez votre représentant Edwards. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 59 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 66 (Défaillance de l’alimentation de la pompe (en actionnant par l’onduleur) exemple le circuit d’arrêt d’urgence). Page 60 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 67 6. Au moment où elle doit être utilisée, préparez et installez la pompe comme indiqué à la Section 3 de ce manuel. © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 61 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Page 68 A419-00-883 Issue H Mise au rebut Ne jetez pas la pompe EPX. Retournez la pompe à Edwards (UK) dans un emballage approprié, en suivant les consignes indiquées dans le formulaire de retour d’équipement Edwards, à la fin de ce manuel.
Page 69 Edwards. Commandez les pièces détachées et accessoires auprès de la société Edwards ou du distributeur le plus proche. Lors de la commande, veuillez indiquer, pour chaque pièce souhaitée, les éléments suivants : Le modèle et le numéro de référence de votre équipement.
Page 71 La variante EPX L ..........3 La variante EPX LE .........3 La variante EPX N ..........3 La variante EPX NE ........3 © Edwards Limited 2012. Tous droits réservés. Page 65 Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.

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