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Contrôle de la pression dans l'enceinte à vide
1. Contrôlez la pression dans l'enceinte à vide.
2. Si la pression affichée est < 1 × 10
10.8.2 Remplacement du capillaire en acier inoxydable
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d'alimentation débranché
● Système de vide à l'arrêt et mis à l'air à la pression atmosphérique
● Capillaire en acier inoxydable déconnecté du point de mesure
● Couvercle d'admission de gaz retiré
● Douille de séparation retirée
Outils nécessaires
● Clé plate, WAF 9/16"
● Clé plate, WAF 5/16"
● Tube ou cutter de capillaire (1/16") lime coupante
Pièces de rechange requises
● Capillaire en acier inoxydable (référence PT 167 060 -T)
● Joints de capillaire (référence PT 167 017 -T)
Fig. 70:
1 Adaptateur
2 Écrou
3 Collier de serrage avant
– La pression affichée doit être de ≥ 1 × 10
– Capillaire en acier inoxydable bouché sur toute sa longueur
du capillaire en acier inoxydable », page 97)
– Écran bloqué
(voir chapitre « Remplacement de l'orifice », page 89)
placement du diffuseur de gaz intérieur et de l'orifice », page 89)
– Capillaire en acier inoxydable trop long
– Diamètre du capillaire trop petit
Raccord à collier de serrage pour capillaire en acier inoxydable
-6
hPa avec la vanne de débitmètre ouverte.
-6
hPa, les causes suivantes sont possibles :
5
1
2
3
4
Collier de serrage arrière
5
Capillaire en acier inoxydable
Maintenance
(voir chapitre « Remplacement
ou
(voir chapitre « Rem-
4
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