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Maintenance
10.6.1 Retrait de la bride de l'admission de gaz
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomo-
léculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
► Retirez les pièces manquantes de l'enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d'alimentation débranché
● Système de vide à l'arrêt et mis à l'air à la pression atmosphérique
● Couvercle d'admission de gaz retiré
● Douille de séparation retirée
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 2,5
● Clé plate, WAF 5/16"
● Clé plate, WAF 9/16"
● Clé plate, WAF 14
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Fig. 63:
1 Vanne de débitmètre
2 Capteur de température
3 Disque de serrage
4 Vis à tête arrondie
5 Disques de blocage (2×)
6 Vis à six pans creux intérieurs (2×)
7 Vis à six pans creux intérieurs
Procédé
1. Desserrez les écrous sur les bobines des deux vannes.
2. Tirez sur la plaque de conducteur thermique pour la sortir du bloc de vannes et placez-la sur la
3. Retirez les bobines des corps des deux vannes.
4. Ouvrez le raccord à vis du capillaire sur le bloc de valves à l'aide de la clé plate et tirez sur le
5. Desserrez la rondelle et la vis à tête arrondie du capteur de température.
6. Retirez le capteur de température.
7. Desserrez la rondelle de serrage et la vis à six pans creux de la cartouche de chauffage.
88/122
diffuseur de gaz.
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11
Démontage du bloc de vannes
GSD 350.
capillaire en acier inoxydable pour le sortir.
AVIS
1
2
3
4
5
6
9
8
7
8
Disque de serrage
9
Cartouche de chauffage
10
Raccord à vis du capillaire
11
Bloc de vannes
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Vanne Split-flow
13
Bride de raccordement
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