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Pfeiffer Vacuum GSD 350 OMNISTAR Manuel De L'utilisateur page 74

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Maintenance
Groupe de composants, module
et action
Instrument fondamental
Remplacer les vis du carter
Nettoyer les pièces du carter
Remplacer le couvercle de l'admission de
gaz
Remplacer le couvercle sur le côté
Remplacer le couvercle de carter
Remplacer l'aire de connexion du tuyau fle-
xible de capillaire
Nettoyer la grille de protection sur le ventila-
teur
Système côté vide élevé
Remplacer le joint cuivre sur le raccord à bri-
de DN 40 CF
Remplacer le réservoir du fluide d'exploita-
tion sur la pompe turbomoléculaire
Remplacer les roulements de la pompe tur-
bomoléculaire
Système de vide primaire
Remplacement de la pompe à membrane
Remplacement de la membrane de la pom-
pe à membrane
Unité d'analyse de gaz
Installez/démontez l'analyseur QMA 250 M
Remplacez le filament chauffé (en tungstè-
ne)
Remplacer le filament chauffé (Ir-Y
Remplacer la source d'ions (filaments chauf-
fés en tungstène)
Remplacer la source d'ions (filaments chauf-
fés Ir-Y
O
)
2
3
Remplacer le capteur sur le manomètre de
pression totale
Remplacer le manomètre de pression totale
Système d'admission de gaz
Installez/déposez l'admission de gaz (Om-
nistar)
Remplacez l'admission de gaz (Omnistar)
Installez/déposez l'admission de gaz (Ther-
mostat)
Remplacez l'admission de gaz (Thermostat)
Remplacez l'orifice (Omnistar)
Remplacez l'orifice (ThermoStar)
Remplacez l'orifice et le diffuseur de gaz in-
terne (Omnistar)
Remplacer l'orifice et le diffuseur de gaz in-
terne (ThermoStar)
Capillaire
Réduction de la longueur des capillarités en
acier inoxydable
Remplacement du capillaire en acier inoxy-
dable
74/122
Intervalle
en cas de perte
Si nécessaire
Si nécessaire
Si nécessaire
Si nécessaire
Si nécessaire
Si contaminé
Toujours lorsque le raccord à bri-
de CF est ouvert
4 ans
4 ans
Si nécessaire
après 15 000 heures de fonction-
nement
Si nécessaire
Si nécessaire
Après défaillance du premier des
2 filaments chauffés
O
)
2
3
Si contaminé
Si contaminé
Si contaminé
en cas de défaut
Si nécessaire
Si nécessaire
Si nécessaire
Si nécessaire
En cas de bouchon
En cas de bouchon
Si nécessaire
Si nécessaire
En cas de bouchon
En cas de bouchon
Niveau de
Pièces de
maintenan-
rechange/jeu de piè-
ce
ces de rechange
1
Vis du carter
1
-
1
Couvercle de l'admis-
sion de gaz
1
Couvercle sur le côté
1
Couvercle de carter
1
Zone de connexion
1
-
1
Joint cuivre
1
Réservoir du fluide
d'exploitation
2
-
1
Pompe à membrane
1
Kit de révision
1
-
1
Unité de filaments
chauffés
1
Unité de filaments
chauffés
1
Source d'ions
1
Source d'ions
1
Capteur
1
Jauge de pression to-
tale
2
-
2
Admission de gaz
2
-
2
Admission de gaz
2
Écran
2
2
Jeu de pièces de re-
change
2
1
-
1
Capillaire
Joints de capillaire

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