Publicité
Problème
Après l'instruction de réglage « Refou-
ler », la pompe turbomoléculaire ne par-
vient pas à atteindre la vitesse de rotation
nominale (l'icône reste en vert foncé).
La pompe à membrane s'arrête.
La pompe turbomoléculaire se désactive.
Les deux pompes à vide sont mises hors
circuit et le système est automatiquement
coupé.
Cause possible
Action corrective
Le temps d'accéléra-
Patientez jusqu'à la fin du temps
tion de la pompe tur-
d'accélération < 8 minutes.
bomoléculaire n'est
pas écoulé
Pression d'entrée
Réduisez la pression du côté en-
trop élevée (seule-
trée du capillaire à < 1 200 hPa.
ment pour Thermos-
tat)
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire dans
la zone d'admission de gaz.
Pression de vide pri-
Contrôlez l'étanchéité du raccord
maire trop haute
à vide de la pompe à membrane/
pompe turbomoléculaire.
Température exces-
1. Vérifiez les ventilateurs.
sive
2. Effectuez la maintenance de
Connexion du câble
Contrôlez le connecteur mâle-fe-
desserrée
melle sur la pompe à membrane
et sur la carte superviseur.
Pompe à membrane
Effectuez l'entretien de la pompe
défectueuse
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Température exces-
1. Vérifiez les ventilateurs.
sive
2. Effectuez la maintenance de
Pression d'entrée
Réduisez la pression du côté en-
trop élevée
trée du capillaire à < 1 200 hPa.
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire dans
la zone d'admission de gaz.
Pression de vide pri-
Contrôlez l'étanchéité du raccord
maire trop haute
à vide de la pompe à membrane/
pompe turbomoléculaire.
Condensats dans la
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane
2. Séchez les éléments de la
Pompe à membrane
Effectuez l'entretien de la pompe
défectueuse
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Température exces-
1. Vérifiez les ventilateurs.
sive
2. Nettoyez les grilles de pro-
3. Maintenez la température
Pression de la purge
Contrôlez l'alimentation de la
de gaz neutre insuffi-
purge de gaz neutre.
sante (pour la ver-
sion pour gaz corro-
sif)
Dépannage
la pompe à membrane.
la pompe turbomoléculaire.
pompe à membrane.
pompe à membrane.
tection sur les ventilateurs.
ambiante admissible.
105/122
Publicité
