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Fig. 7:
1 Raccord de terre (terre fonctionnelle)
2 Alimentation avec interrupteur de mise sous tension
3 Raccord de gaz d'échappement
4 Raccord de la purge de gaz neutre
3.3.3 Système d'admission de gaz
Le diffuseur de gaz vers la source d'ions est vissé sur les systèmes d'admission d'admission de gaz de
l'OmniStar et du ThermoStar. Le diffuseur de gaz retient l'orifice et dirige le flux de gaz réduit vers la
chambre de formation de la source d'ions. La douille en céramique agit comme isolant électrique. Un
ressort à pression comprime la douille en céramique contre la chambre de formation de la source
d'ions.
Système d'admission de gaz (OmniStar)
Lorsque l'admission de gaz est ouverte, un volume de 1 à 2 sccm du gaz à analyser reflue par le capil-
laire en acier inoxydable vers l'unité de vanne. Par l'intermédiaire de l'étage de réduction de pression,
constitué du capillaire et d'un orifice devant le diffuseur de gaz, le gaz à analyser atteint le spectromètre
de masse sans démixtion. Le capillaire en acier inoxydable est situé dans un tube capillaire, qui peut
être chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option. Quand le chauffage du capillaire est activé, le chauffa-
ge d'admission est aussi activé et l'admission de gaz est automatiquement chauffée. Les effets de la
condensation dans les gaz à analyser peuvent être évités par l'augmentation de la température. Les
vannes permettent l'interruption du flux de gaz d'échantillon. L'orifice encastré permet à une petite frac-
tion du flux de gaz de pénétrer dans l'enceinte à vide. Le flux de gaz résiduel atteint l'aspiration intermé-
diaire de la pompe turbomoléculaire. Quand l'admission de gaz et les vannes Split-flow sont fermées, le
flux de gaz dans l'enceinte à vide est nul. Ceci permet de déterminer le bruit de fond de l'enceinte à
vide avec le spectromètre de masse et de la soustraire des mesures ultérieures, si nécessaire. La non
linéarité du spectromètre de masse peut nuire à la haute précision des mesures. La pénétration d'un
gaz très propre (gaz zéro) permet de déterminer avec précision le bruit de fond du spectromètre de
masse, même à la pression de travail (environ 1 × 10
mes conditions de pression que pour le gaz à analyser.
Système d'admission de gaz (ThermoStar)
1 à 2 sccm du gaz à analyser passe par l'étage de réduction de pression, constitué du capillaire et d'un
orifice dans le diffuseur de gaz, pour atteindre le spectromètre de masse sans démixtion. Le capillaire
en quartz est situé dans un tube capillaire, qui peut être chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option.
Quand le chauffage du capillaire est activé, le chauffage d'admission est aussi activé et l'admission de
gaz est donc chauffée. Les effets de la condensation dans les gaz à analyser peuvent être évités par
l'augmentation de la température. Le capillaire en quartz se termine à 1 à 2mm avant l'orifice. Cela si-
gnifie qu'une partie du gaz sortant du capillaire en quartz atteint le spectromètre de masse sans impact
sur les parois dans l'étage de réduction de la pression. Ceci est important pour identifier de faibles con-
centrations de gaz réactifs, car ceux-ci ne doivent pas entrer en contact avec l'acier inoxydable. Le flux
de gaz ne peut pas être séparé de l'enceinte à vide avec le spectromètre de masse quand cette varian-
te d'admission de gaz est utilisée. Ceci signifie que le bruit de fond de l'enceinte à vide et le spectromè-
7)
8)
www.vsm-cloud.com
D-35614 Asslar
Mod.
GSD 350
P/N
PT Q.. ...
S/N
...
Input
...
Made in Germany 2022/02
8
7
Panneau de connexion avec interfaces et connexions
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
6
5
4
8)
-5
hPa). Le gaz zéro doit être injecté dans les mê-
Description du produit
1
2
3
5
Manocontacteur numérique pour purge
7)
de gaz neutre
6
Connexion Ethernet (RJ-45)
7
Connexion « USER IO »
8
Connexion « AUX IO »
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