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10.3.2 Remplacement de la vanne de ventilation
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
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10.4 Maintenance du système de vide primaire
10.4.1 Remplacement de la pompe à membrane
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d'alimentation débranché
● Pompe turbomoléculaire à l'arrêt
● Capots latéraux retirés
● Couvercle de carter retiré
Outils nécessaires
● Clé à fourche, WAF 7
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3
● Tournevis cruciforme
Instrument nécessaire
● Appareil de commande DCU 110, DCU 180 ou DCU 310 avec câble de raccordement
Pièce de rechange requise
● Pompe à membrane MVP 010-3 DC (référence PK T05 072)
Pfeiffer Vacuum
Service.
Maintenance
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