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Fig. 51:
1 Pression dans l'enceinte à vide (manomètre de pres-
2 Vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire
8.6.1 Pompage du système de vide
Condition préalable
● GSD 350 prête pour l'utilisation
Procédé
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Appuyez sur le bouton « Pompage ».
Séquence
● Le GSD 350 passe de l'état « Ventilé » à l'état « Pompage ».
● La vanne de ventilation se coupe.
● La pompe à membrane démarre et évacue le système de vide.
● Après avoir atteint la valeur seuil (10 hPa), la pompe turbomoléculaire accélère jusqu'à la vitesse
● Au bout de quelques minutes, le système de vide atteint une pression < 5×10
● La GSD 350 est maintenant prête pour la mesure (vide prêt)
8.6.2 Ventilation du système à vide
Conditions préalables
● Mesures en cours terminées
● Le filament chauffé sur le multiplicateur d'électrons est coupé
Procédé
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Désactivez le multiplicateur d'électrons secondaire et l'émission.
3. Appuyez sur le bouton « Ventiler ».
Séquence
● Le GSD 350 passe de l'état « Vide » à l'état « Ventilé ».
● Un timer interne est activé si l'émission était encore activée 15 minutes maximum avant la ventila-
1
3
Menu « Commande »
sion totale)
de rotation finale de 1500 Hz.
de » », page
66).
tion. Le timer permet au filament chauffé de refroidir avant de ventiler l'enceinte à vide. Le timer
est réglé sur 15 minutes ; il s'agit du laps de temps réglé après coupure de l'émission. Si l'émis-
2
(voir chapitre « Menu « Mesure » », page 70)
Fonctionnement via l'affichage
3
État du filament chauffé du spectromè-
tre de masse et du multiplicateur
d'électrons
-5
hPa.
(voir chapitre « Menu « Comman-
67/122
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