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10.2.2Retrait/fixation des couvercles sur le côté
10.2.3Retrait/fixation du couvercle de carter
10.2.4Nettoyage des pièces de carter
10.2.5Nettoyage des écrans de protection sur les ventilateurs
10.3 Maintenance du système de vide élevé
10.3.1Remplacement du réservoir de fluide d'exploitation sur la pompe
turbomoléculaire
10.3.2Remplacement de la vanne de ventilation
10.4 Maintenance du système de vide primaire
10.4.1Remplacement de la pompe à membrane
10.4.2Remplacement de la membrane de la pompe à membrane
10.5 Maintenance de l'unité d'analyse de gaz
10.5.1Maintenance de l'analyseur QMA 250 M
10.5.2Maintenance de la jauge de pression totale
10.6 Maintenance du système d'admission de gaz sur Omnistar
10.6.1Retrait de la bride de l'admission de gaz
10.6.2Remplacement de l'orifice
10.6.3Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l'orifice
10.6.4Installation de la bride d'aspiration de gaz
10.7 Maintenance du système d'admission de gaz sur ThermoStar
10.7.1Retrait de la bride de l'admission de gaz
10.7.2Remplacement de l'orifice
10.7.3Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l'orifice
10.7.4Installation de la bride d'aspiration de gaz
10.8 Entretien du capillaire
10.8.1Réduction de la longueur des capillarités en acier inoxydable
10.8.2Remplacement du capillaire en acier inoxydable
10.8.3Découpage à longueur des capillarités en quartz
10.8.4Remplacement du capillaire en quartz
10.9 Maintenance des unités de chauffage
10.9.1Remplacez le tube capillaire
10.9.2Maintenance du chauffage de l'admission de gaz
10.9.3Entretien du chauffage de l'enceinte à vide
10.10 Entretien des composants électroniques
10.10.
Remplacement de l'affichage
1
10.10.
Remplacement de l'injecteur PoE
2
10.10.
Remplacement de la platine principale
3
10.10.
Remplacement de l'unité de courant
4
10.10.
Remplacement de l'unité électronique QME 250
5
10.10.
Remplacement de l'unité de commande électronique TC 110 sur la
6
pompe turbomoléculaire
10.11 Maintenance de l'unité de calibration
10.11.
Appoint en fluide de calibration
1
10.11.
Remplacement de la vanne de calibration
2
10.12 Opérations de maintenance additionnelles pour la version pour gaz corro-
sif
10.12.
Remplacement de la vanne de la purge de gaz
1
10.12.
Remplacement du régulateur de pression manuel
2
10.12.
Remplacement du manocontacteur numérique
3
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