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Maintenance
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Fig. 64:
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
Procédé
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur le bloc de vannes.
2. Tournez l'admission de gaz de sorte à dégager l'orifice.
3. Percez manuellement l'orifice avec un outil spécial et sortez l'orifice du bloc de vanne si l'orifice
4. Si l'orifice ne peut pas être desserré avec l'outil spécial, tapez doucement l'admission de gaz sur
5. Remplacez le diffuseur de gaz, l'anneau de compression et la douille en céramique.
6. Poussez le ressort sur le manchon céramique.
7. Poussez le ressort et le manchon céramique sur le diffuseur de gaz.
8. Vérifiez que le diffuseur de gaz est situé à environ 1–2 mm derrière l'extrémité du manchon céra-
9. Poussez le manchon céramique sur un morceau de papier propre et vérifiez que le ressort du dif-
10. Positionnez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz en l'orientant correctement de manière à ce
11. Avec une clé à écrou, serrez à la main le diffuseur de gaz dans le bloc de vannes.
10.6.4 Installation de la bride d'aspiration de gaz
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomo-
léculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
► Retirez les pièces manquantes de l'enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d'alimentation débranché
● Système de vide à l'arrêt et mis à l'air à la pression atmosphérique
● Couvercle d'admission de gaz retiré
● Douille de séparation retirée
● Admission de gaz déposée
● Capillarités en acier inoxydable éventuellement installées sur le bloc de vannes
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Diffuseur de gaz environ 1–2 mm derrière l'extrémité du manchon céramique
reste coincé.
une surface non dure pour le faire tomber.
mique.
fuseur de gaz agit en compression et que le frottement est faible.
que le côté mat soit visible quand vous regardez dans le trou.
diffuseur de gaz.
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Diffuseur de gaz
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