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Maintenance
Fig. 65:
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
3 Diffuseur de gaz
10.7.1 Retrait de la bride de l'admission de gaz
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomo-
léculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
► Retirez les pièces manquantes de l'enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d'alimentation débranché
● Système de vide à l'arrêt et mis à l'air à la pression atmosphérique
● Couvercle d'admission de gaz retiré
● Douille de séparation retirée
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
● Clé à fourche, WAF 5,5
● Clé plate, WAF 1/4"
● Clé plate, WAF 3/8"
92/122
3
2
1
Pièces du diffuseur de gaz interne sur ThermoStar
diffuseur de gaz.
5
6
4
4
Écran
5
Joint torique, intérieur
6
Joint torique, extérieur
AVIS
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