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Maintenance
10.5 Maintenance de l'unité d'analyse de gaz
10.5.1 Maintenance de l'analyseur QMA 250 M
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l'assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccorde-
► Enlevez la protection pour le transport de l'analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d'alimentation débranché
● Pompe turbomoléculaire à l'arrêt
● Capots latéraux retirés
● Couvercle de carter retiré
● Admission de gaz retirée (pour réinstallation du QMA)
Outils nécessaires
● 2 clés à fourche, WAF 10
Accessoires requis
● Équipement de montage pour analyseur QMA 250
● Jauge de centrage pour QMA (disponible comme outil spécial)
1
Fig. 59:
1 Analyseur QMA 250 M
2 Bride
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toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
ments uniquement lorsque cela est nécessaire.
Manuel de l'utilisateur du spectromètre de masse
Les informations relatives au démontage et au montage de l'unité électronique (QME) et de
l'analyseur (QMA) sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur du spectromètre de mas-
se PrismaPro.
Centrage de la source d'ions
Une source d'ions décentrée va affecter les performances de mesure du spectromètre de
masse et entraîner un vieillissement prématuré des filaments chauffés.
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3
2
Spectromètre de masse quadripôle PrismaPro
AVIS
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Collier de serrage
4
Unité électronique QME 250
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