Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original GSD 350 OMNISTAR ∣ THERMOSTAR Système d’analyse du gaz...
Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Page 3 Utilisation conforme Utilisation incorrecte envisageable Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Description fonctionnelle 3.1.1 OmniStar 3.1.2 ThermoStar 3.1.3 Version pour gaz corrosifs Commandes et indicateurs 3.2.1 Version avec écran...
Page 4 Table des matières Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre 5.4.1 Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre 5.4.2 Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre Raccordement du capillaire 5.5.1 Raccordement du capillaire en acier inoxydable OmniStar 5.5.2 Raccordement du capillaire ThermoStar quartz Adaptation de la position du tuyau flexible capillaire Établissement d’une connexion au réseau...
Page 5 Table des matières 10.2.3Dépose/fixation du couvercle de carter 10.2.4Nettoyage des pièces de carter 10.2.5Nettoyage des écrans de protection sur les ventilateurs 10.3 Maintenance du système de vide élevé 10.3.1Remplacez le réservoir du fluide d'exploitation sur la pompe turbo- moléculaire 10.3.2Remplacement de la vanne de ventilation 10.4 Maintenance du système de vide primaire 10.4.1Remplacez la pompe à...
Page 6 Dépannage Expédition Recyclage et mise au rebut 13.1 Informations générales sur la mise au rebut 13.2 Élimination du système d’analyse du gaz Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange Outil spécial Accessoires 17.1 Informations sur les accessoires 17.2 Commande d’accessoires Caractéristiques techniques et dimensions...
Page 7 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Documents applicables Tab. 2: Variantes Tab. 3: Caractéristiques des variantes Tab. 4: Abréviations employées Tab. 5: Conditions ambiantes autorisées Tab. 6: Symboles et couleurs des icônes d’état et de composant Tab. 7: LEDs d’état et leur signification Tab.
Page 8 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Position des autocollants sur le produit Fig. 2: Diagramme du vide de l’OmniStar Fig. 3: Diagramme du vide du ThermoStar Fig. 4: Alimentation supplémentaire en purge de gaz neutre dans la version pour gaz corrosif Fig.
Page 9 Liste des figures Fig. 56: Démontage du bloc de vannes Fig. 57: Pièces du diffuseur de gaz interne Fig. 58: Dépose la bride de l’admission de gaz Fig. 59: Longueur du capillaire en acier inoxydable avec raccord à vis à collier de serrage Fig.
Page 10 Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l'utilisateur « GSD 350 OmniStar/ThermoStar » DA 0106 Fonctionnement via l'interface web et PV MassSpec Manuel de l'utilisateur « Spectromètre de masse quadripole » BG 6001 QMG 250 PrismaPro Guide de démarrage rapide «...
Page 11 Caractéristiques des variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
Page 12 ● du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise.
Page 13 Iridium recouvert d’oxyde d’yttrium (Y ) (Ir) Caoutchouc butadiène-nitrile Niveau moyen de la mer Polyamide Polyéthylène Régulateur proportionnel, intégral, dérivé Pfeiffer Vacuum Polychlorure de vinyle (PVC) PFTBA Liquide incolore pour le calibration des masses (perfluorotributylamine) Alimentation électrique par câble Ethernet (Power over Ethernet) 13/116...
Page 14 Internet Explorer ® sont des marques déposées de Microsoft Corporation. ● OmniStar ® , ThermoStar ® et PrismaPro ® sont des marques déposées de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Swagelok ® est une marque de commerce déposée de la société Swagelok. 14/116...
Page 15 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d'une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
Page 16 ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
Page 17 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la condui- te d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques.
Page 18 Sécurité AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irri- tation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ►...
Page 19 ► L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformé- ment au manuel de l'utilisateur. ► Conforme aux limites d'application. ► Observez la fiche technique. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour demander conseil sur les gaz corrosifs ou inflammables. 19/116...
Page 20 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
Page 21 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
Page 22 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Description fonctionnelle Le GSD 350 peut analyser différents composants de gaz simultanément. Le gaz à analyser passe à travers un étage de réduction de pression vers le PrismaPro qui fonctionne sous vide. Le PrismaPro ionise une partie du gaz et sépare et détecte les différents composants du gaz à...
Page 23 Description du produit 3.1.2 ThermoStar Fig. 3: Diagramme du vide du ThermoStar 1 Analyseur QMA 250 M Pompe turbomoléculaire 2 Source d’ions Pompe à membrane 3 Chauffage de l’enceinte à vide Raccord de gaz d’échappement 4 Chauffage de l’admission de gaz Vanne de mise à...
Page 24 Description du produit Messages d’avertissement ou de défaut En cas de message d'avertissement ou de défaut, un triangle d’avertissement s'affiche en haut à droite sur l’écran et la touche « Messages » est activée. Le triangle d’avertissement est susceptible d’apparaître sur l’ensemble des écrans de menu. Une description de l’er- reur est affichée quand le triangle d’avertissement est enfoncé.
Page 25 Description du produit Fonction Description Filament chauffé La LED s’allume en présence d’un flux dans le filament. Purge La LED s’allume lorsque le raccordement à la purge de gaz neutre est établie ; elle clignote lorsque la surveillance de la purge de gaz neutre est shuntée (uniquement pour les travaux de maintenance).
Page 26 Description du produit Fig. 7: Ouvertures de ventilation sur les côtés de l’unité 1 Admission avec ventilateur Échappement avec ventilateur 3.3.2 Panneau de connexion Le panneau de connexion contient toutes les interfaces et connexions de l’unité. D-35614 Asslar Mod. GSD 350 PT Q80 ...
Page 27 Description du produit Fig. 9: Systèmes d’admission de gaz 1 Admission de gaz Thermostat Bride de raccordement 2 Enceinte à vide Admission de gaz Omnistar 3 Pompe turbomoléculaire Vanne d’admission 4 Aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire Vanne de pompe Système d’admission de gaz (OmniStar) Lorsque l’admission de gaz est ouverte, un volume de 1 à...
Page 28 Le PFTBA présente l'inconvénient de laisser des traces dans le signal de fond de l'unité longtemps après la fermeture de la vanne de calibration. Si cela interfère avec l'analyse des gaz prévue, Pfeiffer Vacuum recommande l’étuvage de l’enceinte à vide après le cali- bration avec le PFTBA.
Page 29 Description du produit Fig. 11: Pompe à membrane 3.3.7 Système de purge de gaz neutre Concentrations de gaz admissibles Pour calculer la toxicité de la purge de gaz neutre, on part du principe que la purge de gaz neutre dilue les concentrations des gaz d’admission par un facteur > 100. Fig.
Page 30 Description du produit 3.3.8 Unité d’analyse de gaz Principe de fonctionnement du PrismaPro Le principe de fonctionnement du PrismaPro est décrit dans le manuel de l’utilisateur cor- respondant. Le PrismaPro analyse la petite fraction de gaz à analyser pénétrant dans l’enceinte à vide via l’orifice. Pour déterminer la pression dans l’enceinte à...
Page 31 Description du produit Chauffage de récipient (étuvage) Fig. 14: Chauffage et isolation de l’enceinte à vide 1 Isolation (coudée) 3 + 4 Cartouches de chauffage de l’enceinte à vide 2 Isolation de l’enceinte à vide L'étuvage réduit les gaz de condensation adhérant à la surface de l’enceinte à vide. Cela conduit à une pression totale plus faible dans l’enceinte à...
Page 32 Description du produit Caractéristiques du chauffage de l’admission de gaz ● L’admission de gaz est munie d’un coussin chauffant et d’une isolation en mousse de silicone. ● Le chauffage de l’admission de gaz est toujours activé et désactivé parallèlement au chauffage du capillaire.
Page 33 ● Interfaces externes 3.4 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. 1. Relever les données sur la plaque signalétique produit. 2. Enregistrer ces données. 3. Toutes les caractéristiques de la plaque signalétique doivent toujours être disponibles.
Page 34 Description du produit Fig. 19: Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4.
Page 35 Transport et stockage 4 Transport et stockage AVERTISSEMENT Risque de blessure lors du levage de charges lourdes Le produit est lourd ; il peut peser jusqu’à 26 kg, selon la version. Une personne soulevant le produit sans aide et de manière incorrecte risque de se blesser. ►...
Page 36 Transport et stockage ► Stocker les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenir la température d’entreposage admissible. ► Éviter les fortes variations de températures ambiantes. ► Éviter un taux d'humidité élevé dans l'air. ► Fermer les raccords avec les bouchons de protection d'origine. ►...
Page 37 Installation 5 Installation 5.1 Ventilation de l’unité AVIS Dégâts causés par surchauffe La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil. ► Veillez à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil. ► Si nécessaire, contrôlez et nettoyez régulièrement le filtre à air installé. Procédure 1.
Page 38 Installation Fig. 20: Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement Procédure 1. Vous devez prendre beaucoup de précautions pour la coupe du tuyau flexible de gaz d'échappe- ment. – Le tuyau flexible de gaz d'échappement ne doit pas être déformé, éraflé ou fendillé. 2.
Page 39 Installation Fig. 22: Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre Procédure 1. Vous devez prendre beaucoup de précautions pour la coupe du tuyau flexible de purge de gaz neutre. – Le tuyau flexible de purge de gaz neutre ne doit pas être déformé, éraflé ou fendillé. 2.
Page 40 Installation 5.5 Raccordement du capillaire AVIS Endommagement du système d’échantillonnage Une manipulation incorrecte du capillaire peut endommager le système d’échantillonnage de l'unité. ► Tenez compte du rayon de courbure. ● Tuyau capillaire 200 °C : ≥ 50 mm ● Tuyau capillaire 350 °C : ≥ 200 mm ►...
Page 41 Pour optimiser le positionnement du tube capillaire pour des applications spécifiques, 3 positions du tuyau flexible capillaire sont possibles. Pfeiffer Vacuum fournit toujours le GSD 350 avec le tuyau flexi- ble capillaire sur le côté droit. Des bouchons borgnes viennent obturer les deux positions non utilisées.
Page 42 Les adresses IP entrent en conflit en cas de raccordement de plusieurs unités Pfeiffer Vacuum fournit à chaque GSD 350 la même adresse IP par défaut. Si vous souhaitez con- necter plusieurs unités GSD 350, gardez à l’esprit que leurs adresses IP ne sont pas uniques au dé- part La connexion simultanée de plusieurs GSD 350 avec une adresse IP standard identique entraî-...
Page 43 Installation Réglage des adresses IP ► Recommandation : utilisez des adresses IP statiques. – Vous pouvez régler et modifier manuellement les adresses IP statiques. ► N’utilisez pas d’adresses IP dynamiques. – Un hôte (DHCP) règle automatiquement ces adresses IP ► Une alternative à la modification de l’adresse IP du consiste à modifier l’adresse IP de l’ordinateur hôte, afin de permettre la communication entre l’ordinateur hôte et l’unité...
Page 44 Installation Procédure 1. Appuyez sur le bouton Démarrage dans la barre des tâche. 2. Appuyez sur Réglages. – La fenêtre Réglages s'ouvre. 3. Cliquez sur Réseau & Internet. 4. Cliquez sur Sans fil. 5. Sélectionnez Gestion des réseaux connus. 6. Sélectionnez le réseau dont vous souhaitez modifier les réglages. 7.
Page 45 Installation D-35614 Asslar Mod. GSD 350 PT Q80 ... Input Made in Germany 2020/02 Fig. 26: Raccordement pour la terre fonctionnelle 1 Raccordement pour la terre fonctionnelle (vis M5) Procédure ► Si nécessaire, utilisez la vis M5 pour raccorder l’unité à la terre de référence du système via un conducteur de protection par exemple.
Page 46 Installation les autres fonctions de l’unité GSD 350 peuvent encore être commandés via l’affichage ou l’interface web. Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont dis- ponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106.
Page 47 Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de l’unité et des dommages matériels. Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires torsadées. ► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
Page 48 Interfaces et connexions avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez visualiser l'état de cette entrée ou l’utiliser pour la recette ou la commande séquentielle. ● Nombre total de canaux : 1 ● Connexion « USER IO » : Entrée numérique 1 Sortie relais Vous pouvez réglez la sortie relais (24 V CA/CC, 1 A) via la sortie numérique DO8.
Page 49 Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de l’unité et des dommages matériels. Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires torsadées. ► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
Page 50 Interfaces et connexions Fig. 30: Connexion « AUX IO » Sortie analogique AO2 Sortie analogique AO3 Terre analogique Terre ou masse numérique Entrée analogique AI3 (-) Entrée analogique AI3 (+) Entrée analogique AI4 (-) Entrée analogique AI4 (+) Entrée analogique AI5 (-) Entrée analogique AI5 (+) Terre analogique Terre ou masse numérique...
Page 51 Mise en service 7 Mise en service AVIS Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la pompe turbomoléculaire. ► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câ- bles ou les seuils de porte.
Page 52 Mise en service Fig. 33: Écran de « Control » Pompage du système de vide 1. Basculez sur l’écran « Control ». 2. Appuyez sur le bouton « Pump down » (voir chapitre « Pompage du système de vide », pa- 64).
Page 53 Fonctionnement via l’affichage 8 Fonctionnement via l’affichage Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont dis- ponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106. Le GSD 350 peut fonctionner via l’affichage ou l’interface web.
Page 54 Fonctionnement via l’affichage Fig. 34: Écran « Dashboard » 1 Valeur actuelle de la pression dans l’enceinte à vide État du chauffage 2 Triangle d’avertissement État du système de vide 3 État du système Lien vers la page d’accueil 8.1.1 Structure du menu avec les fonctions Menu Sous-programmes, fonctions et informations 1.
Page 55 Fonctionnement via l’affichage Menu Sous-programmes, fonctions et informations 1. Niveau 2. Niveau Settings Recettes Créer une nouvelle recette (voir page 56) Recettes par défaut pour l’air Unités de chauffage Chauffage du capillaire Chauffage de l’admission de gaz Chauffage de l’enceinte à vide Capteurs Spectromètre de masse Manomètre de pression totale...
Page 56 Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et en- dommagent l’unité et ses composants. Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 57 Fonctionnement via l’affichage Fig. 35: Exemple de réglage de paramètre 1 Symbole de l’interrupteur (marche) Valeur numérique modifiable Utilisation d’un interrupteur pour modifier les paramètres 1. Naviguez vers le paramètre souhaité. 2. Appuyez sur le symbole de l’interrupteur pour basculer ce dernier. 3.
Page 58 Fonctionnement via l’affichage Fig. 37: Recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre » Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre » 1. Appuyez sur le bouton « New recipe ». 2.
Page 59 Fonctionnement via l’affichage Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées » 1. Appuyez sur le bouton « New recipe ». 2. Saisissez un nom pour la recette de mesure. 3. Sélectionnez le mode de mesure « Selected Masses ». 4.
Page 60 Fonctionnement via l’affichage 8.3.3 Ajustement des capteurs Les paramètres courants du capteur sont affichés dans le sous-menu « Sensors ». Capteurs ● Spectromètre de masse Sélection du filament ● Manomètre de pression totale Le système ignore l’activation/désactivation du capteur et les erreurs de capteur ●...
Page 61 Fonctionnement via l’affichage 8.3.5 Réglage des fonctions de démarrage automatique Fig. 41: Sous-menu « Autostart » Dans le sous-menu « Autostart », vous pouvez définir les fonctions du GSD 350 devant démarrer auto- matiquement après la mise en marche. Fonctions de démarrage automatique ●...
Page 62 Fonctionnement via l’affichage Réglage de l’adresse IP pour le GSD 350 1. Saisissez la nouvelle adresse IP statique. – Le réglage du DHCP est impossible. 2. Saisissez le nouveau masque de sous-réseau, si nécessaire. 3. Appuyez sur le bouton « Save ». 4.
Page 63 Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et en- dommagent l’unité et ses composants. Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 64 Fonctionnement via l’affichage Fig. 45: Menu « Control » 1 Pression dans l’enceinte à vide (manomètre de pression Statut du filament chauffé Prisma- totale) Pro et du multiplicateur d'électrons 2 Vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire 8.5.1 Pompage du système de vide Condition préalable ●...
Page 65 Fonctionnement via l’affichage ● Une fois le temps du timer écoulé, la pompe turbomoléculaire s’arrête. ─ En dessous de la vitesse de rotation de la ventilation (750 Hz), la vanne de ventilation permet de ventiler la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à vide. ─...
Page 66 Fonctionnement via l’affichage Séquence d'étuvage ● Le GSD 350 passe de l'état « Étuvage désactivé » à l'état « Étuvage activé ». ─ Le multiplicateur d'électrons sur le PrismaPro se coupe. ─ Le filament chauffé commence à émettre. ● Le GSD 350 enclenche les cartouches de chauffage de l’enceinte à vide. ─...
Page 67 Fonctionnement via l’affichage Activation du multiplicateur d'électrons 1. Basculez dans le menu « Control ». 2. Actionnez le bouton « EM on ». Séquence d’activation ● Le GSD 350 enclenche le multiplicateur d'électrons. Désactivation du multiplicateur d'électrons 1. Basculez dans le menu « Control ». 2.
Page 68 Mise hors service 9 Mise hors service AVIS Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la pompe turbomoléculaire. ► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câ- bles ou les seuils de porte.
Page 69 Pfeiffer Vacuum. Ces consignes s’appliquent aussi s’il ne s’agit pas de pièces de rechange d’origine.
Page 70 Maintenance Groupe de composants, mo- Intervalle Niveau Pièces de re- Description dule de main- change/jeu de tenance pièces de re- et action change Instrument fondamental Nettoyage des pièces de carter Si demandé (voir page 74) Nettoyage des grilles de protec- Une fois par mois (voir page 75) tion sur le ventilateur...
Page 71 Maintenance Groupe de composants, mo- Intervalle Niveau Pièces de re- Description dule de main- change/jeu de tenance pièces de re- et action change Remplacez l’orifice et le diffuseur Si demandé PT 167 014 -T (voir page 84) de gaz interne (Omnistar) Remplacez l’...
Page 72 Maintenance 10.2.1 Dépose/fixation du couvercle de l’admission de gaz Fig. 46: Dépose/fixation du couvercle de l’admission de gaz 1 Couvercle de l’admission de gaz Vis à six pans creux intérieurs (8×M3) Conditions préalables ● GSD 350 à l’arrêt ● Câble d’alimentation débranché Outil nécessaire ●...
Page 73 Maintenance Fig. 47: Dépose/fixation des capots latéraux 1 Capot latéral de droite Vis à six pans creux intérieurs (2×M3) 2 Capot latéral de gauche Conditions préalables ● GSD 350 à l’arrêt ● Câble d’alimentation débranché Outil nécessaire ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2 Retrait des capots latéraux 1.
Page 74 ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
Page 75 Maintenance AVIS Dégâts causés par la pénétration d'humidité La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil. ► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec. ►...
Page 76 4. Fermez le couvercle de carter de la pompe turbomoléculaire à l’aide d'une clé à fourche spéciale pour le couvercle de carter. 5. Redressez le GSD 350 avec précaution. 10.3.2 Remplacement de la vanne de ventilation Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 77 Maintenance ● Capots latéraux retirés ● Couvercle de carter retiré Outillage nécessaire ● Clé à fourche, WAF 7 ● Clé Allen, WAF 3 ● Tournevis cruciforme Équipement requis ● Unité de commande CCU 110, CCU 180 ou CCU 310 avec câble de raccordement Pièce détachée requise ●...
Page 78 Maintenance 4. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déverrouillage pour la descendre au niveau de la bride d’aspiration sur la pompe à membrane, afin d’ouvrir uniformément les griffes de main- tien et d’éviter tout rayure sur le tuyau d’aspiration. 5.
Page 79 Maintenance 10.5 Maintenance de l’unité d’analyse de gaz 10.5.1 Maintenance de l’analyseur QMA 250 M AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes.
Page 80 ► Recommandation : Remplacez les deux filaments chauffés dès que possible en cas de défaillan- ce d’un filament chauffé. ► Vérifiez également l’état de la source d’ions. – En cas de forte contamination de la source d’ions, Pfeiffer Vacuum recommande le remplace- ment de l’ensemble de la source d’ions. Maintenance de l’analyseur 1.
Page 81 Maintenance 7. Remettez l’analyseur en place dans l’enceinte à vide, avec un nouveau joint cuivre plaqué argent. – Prenez garde à ce que la gorge sur l’analyseur soit bien orientée (« position à 9h ») sur la bride de passage. 8.
Page 82 Réduisez d'abord la longueur ou remplacez le capillaire en acier inoxydable. Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire en acier inoxydable , et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire en acier inoxydable ne donnent pas les résultats escomptés.
Page 83 Maintenance Conditions préalables ● GSD 350 à l’arrêt ● Câble d’alimentation débranché ● Pompe turbomoléculaire à l’arrêt ● Couvercle d’admission de gaz retiré Outils nécessaires ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5 ● Clé plate, WAF 5/16" ●...
Page 84 Maintenance Pièce détachée requise ● Orifice, 50 μm (référence BK212576) Procédure 1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur le bloc de vannes. 2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice. 3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice reste coincé.
Page 85 ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Réduisez d'abord la longueur ou remplacez le capillaire en quartz. Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire quart, et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire quartz ne donnent pas les résultats escomptés.
Page 86 Maintenance 10.7.1 Dépose la bride de l’admission de gaz AVIS Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomo- léculaire.
Page 87 Maintenance 10.7.2 Remplacement de l’orifice. Conditions préalables ● GSD 350 mis hors circuit ● Câble d’alimentation débranché ● Pompe turbomoléculaire à l’arrêt ● Admission de gaz déposée Outil nécessaire ● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz Pièce détachée requise ●...
Page 88 10.8 Entretien du capillaire Réduction de la longueur ou remplacement du capillaire Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire, et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire ne donnent pas les résul- tats escomptés.
Page 89 Maintenance Fig. 59: Longueur du capillaire en acier inoxydable avec raccord à vis à collier de serrage 1 Capillaire en acier inoxydable Joint capillaire (virole) 2 Raccord à vis à collier de serrage Fig. 60: Entaillage et cassage du capillaire en acier inoxydable Sectionnement du capillaire en acier inoxydable avec le tube ou les cutters de capillaire 1.
Page 90 Maintenance Outillage nécessaire ● Clé plate, WAF 9/16 po ● Clé plate, WAF 5/16 po ● Tube ou cutter de capillaire (1/16 po) lime coupante Pièces détachées requises ● Capillaire en acier inoxydable (référence PT 167 060 -T) ● Joints capillaires (référence PT 167 017 -T) Fig.
Page 91 Maintenance 10.8.3 Sectionnement du capillaire en quartz ATTENTION Risque de blessure par éclatement du capillaire en quartz Les capillaires au quartz éclatent en cas d’utilisation non conforme. Risque de grave blessure aux yeux lié à la projection d'éclats. ► N’exercez pas de force en entaillant le capillaire en quartz. ►...
Page 92 Maintenance Outillage nécessaire ● Clé plate, WAF 1/4 po ● Clé plate, WAF 3/8 po ● Outil de coupe du capillaire Pièces détachées requises ● Capillaire en quartz (référence B1975082EC) ● Joints capillaires (référence PT 167 015 -T) Ne desserrez pas le raccord à vis arrière Vous ne devez pas ouvrir le raccord à...
Page 93 ► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus. ► Portez des gants de protection (conformément à EN 420). 10.9.1 Remplacez le tube capillaire Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 94 6. Placez l’affichage dans le GSD 350. Pendant la phase d’accélération, le GSD 350 synchronise automatiquement l’affichage avec la configu- ration du GSD 350. 10.10.2 Remplacement de l'injecteur PoE Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 95 4. Montez le récipient collecteur sur la vanne d’isolement. – Attention au disque et à l’orifice. 5. Serrez manuellement le raccord à vis au-dessus du récipient collecteur en verre. 10.11.2 Remplacement de la vanne de calibration Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 96 10. Connectez l’alimentation en purge de gaz neutre sur la vanne de la purge de gaz. 10.12.2 Remplacement du régulateur de pression manuel Réglage par défaut du régulateur de pression Ne modifiez pas ce réglage par défaut. Pfeiffer Vacuum a réglé par défaut le régulateur de pression. Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
Page 97 Maintenance 10.12.3 Remplacement du régulateur de pression numérique Réglage par défaut du régulateur de pression Ne modifiez pas ce réglage par défaut. Pfeiffer Vacuum a réglé par défaut le régulateur de pression. Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 98 Dépannage 11 Dépannage Notes sur la gestion des dysfonctionnement dans les menus d’aide Pour de plus amples informations sur les messages d'anomalie et le dépannage lors de l’utilisation de l’appareil via l’interface web ou lors de l’utilisation du logiciel PV MassSpec, se référer aux menus d’aide correspondants.
Page 99 Dépannage Problème Cause possible Remède Après l’instruction de réglage « Refouler », Le temps d’accéléra- Patientez jusqu’à la fin du la pompe turbomoléculaire ne parvient pas tion de la pompe tur- temps d’accélération < 8 minu- à atteindre la vitesse de rotation nominale bomoléculaire n’est tes.
Page 100 Dépannage Problème Cause possible Remède La pression dans les enceintes à vide avec Le système n’est pas Poursuivez le pompage. la fermeture de la vanne d’admission de en route depuis long- temps gaz est > 1 × 10 hPa (seulement pour OmniStar).
Page 101 Dépannage Problème Cause possible Remède Difficulté d’ouverture de la vanne d’admis- Temporisation pour Patientez jusqu’à la fin de la sion de gaz (seulement sur Omnistar) le passage de la temporisation < 7 secondes. vanne pas encore écoulée La vanne d’admis- Vérifiez le connecteur mâle-fe- sion de gaz ne ré- melle sur la vanne d’admission...
Page 102 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Consignes pour une expédition sécurisée ►...
Page 103 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 13.2 Élimination du système d’analyse du gaz Les systèmes d’analyse du gaz Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Démontez les éléments du boîtier. 2. Démontez tous les composants individuels.
Page 104 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
Page 105 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
Page 106 Pièces de rechange 15 Pièces de rechange Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. Désignation Numéro de Description/contenu de la livraison commande Admission de gaz (Omnistar) PT 167 016 -T...
Page 107 Pièces de rechange Désignation Numéro de Description/contenu de la livraison commande Écran tactile 7 po PT 167 025 Module d’affichage, sans câble Fluide de calibration (PFTBA) PT 167 031 En flacon de 5 ml Tab. 15: Pièces de rechange 107/116...
Page 108 Outil spécial 16 Outil spécial Désignation Numéro de com- Utilisation mande Clé pour couvercle PV M40 813 (voir chapitre « Remplacez le réservoir du fluide d'ex- de carter ploitation sur la pompe turbomoléculaire », page 76) Tab. 16: Outil spécial Fig. 67: Clé...
Page 109 Accessoires 17 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ThermoStar et OmniStar. 17.1 Informations sur les accessoires Adaptateur de tube capillaire L’adaptateur de tube capillaire est utilisé pour raccorder correctement le tube capillaire. Fig. 68: Adaptateur de tube capillaire 17.2 Commande d’accessoires Description Numéro de commande...
Page 110 Caractéristiques techniques et dimensions 18 Caractéristiques techniques et dimensions 18.1 Généralités mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1,000 1,000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7.5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1,000 Torr | mm Hg 1,33...
Page 111 Caractéristiques techniques et dimensions Configuration (domaine de masse) 1 à 100 u 1 à 200 u 1 à 300 u Diamètre OmniStar : DE = 1/16 po., DI = 0,15 mm ThermoStar : DE = 0,23 mm, DI = 0,15 mm Température de fonctionnement du ca- 200 °C (350 °C également disponible) pillaire...
Page 112 Caractéristiques techniques et dimensions Configuration (domaine de masse) 1 à 100 u 1 à 200 u 1 à 300 u Caractéristiques de la pompe Disponibilité opérationnelle Après 10 minutes Temps entre la mise hors circuit et le re- > 10 secondes démarrage Temps de mise hors circuit 15 minutes...
Page 113 The product GSD 350 OmniStar/ThermoStar - conforms to the UL standards UL 61010-1:2012 R4.16 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use Part 1: General requirements UL 61010-2-010:2014 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use...
Page 114 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Système d’analyse du gaz GSD 350 OmniStar GSD 350 ThermoStar Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée...
Page 115 115/116...

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