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Caractéristiques techniques et dimensions
Configuration (domaine de masse)
Diamètre
Température de fonctionnement du ca-
pillaire
Gaz d'échappement
Pression admissible
Connexion
Purge de gaz neutre (version de gaz corrosif)
Gaz de pressurisation
Pression
Débit de gaz
Impuretés
Connexion
Unité de calibration (option)
Fluide pour calibration de la masse
Conditions ambiantes
Température de transport et stockage
Température de service
Humidité relative de l'air
Lieu de mise en place
Altitude de l'installation
Classe de protection
Catégorie de surtension
Degré de protection
Degré de pollution
Matériaux côté vide
Capillaire
Admission de gaz
Écran
Enceinte à vide
Analyseur
Filament chauffé
Pompe turbomoléculaire
Pompe à membrane
Jauge de pression totale
Alimentation
Tension
Fréquence
Puissance absorbée
Fusible secteur
Interfaces utilisateur
Fonctionnement
Logiciel
Transfert de données
Caractéristiques de la pompe
Disponibilité opérationnelle
Temps de mise hors circuit
Commande utilisateur
118/122
1 à 100 u
OmniStar : OD = 1/16", ID = 0,12 mm
ThermoStar : OD = 0,23 mm, ID = 0,14 mm
200 °C (350 °C également disponible)
≤ pression atmosphérique
Connecteurs mâle-femelle IQS, 6 mm
Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 6 mm)
Gaz inerte, azote ou argon recommandé
5 000 à 7 000 hPa
300 sccm env.
≤ 100 ppm oxygène
Connecteurs mâle-femelle IQS, 4 mm
Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 4 mm)
PFTBA
-20 à 55 °C
10 à 40 °C
max. 80 % jusqu'à 31 °C, diminution linéaire jusqu'à 50 % à 40 °C
Intérieur, étanche à l'eau
≤ 2 000 m au-dessus du niveau de la mer
I
II
IP30
2
Acier inoxydable, verre en quartz (selon la version)
Acier inoxydable, FKM, PTFE (capillaire en quartz seulement)
Platine/Iridium
Aluminium/acier inoxydable, PTFE, cuivre, argent
Acier inoxydable, cuivre, argent, or, verre de quart, céramique
Ir-Y
O
ou W
2
3
Aluminium, acier inoxydable, résine époxy, lubrifiant
EPDM, aluminium, PVC, laiton, polyamide
Tungstène, acier inoxydable, nickel, molybdène, verre
100 à 240 V AC
50-60 Hz
830 W
2× 10 A (lent)
Via affichage de contact 7" ou interface Web
PV MassSpec
Ethernet TCP/IP
Après 10 minutes
15 minutes
1 à 200 u
1 à 300 u
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