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Fig. 9:
1 Admission de gaz
2 Tube en acier inoxydable 1/8 po
3.3.5 Système côté vide élevé
La pompe turbomoléculaire fonctionne selon le principe SplitFlow et maintient une pression de fonction-
nement < 5 × 10
laire prend en charge la majorité du gaz qui s'écoule via le capillaire par aspiration intermédiaire.
3.3.6 Système de vide primaire
La pompe à membrane établit le vide primaire requis pour faire tourner la pompe turbomoléculaire. Le
branchement au raccord de vide primaire (filetage 1/4") sur la pompe turbomoléculaire se fait par un
tuyau flexible de raccordement. Pour une élimination spécifique du gaz pompé, la pompe à membrane
est dotée d'une conduite d'échappement qui vous pouvez relier à une conduite locale d'évacuation du
gaz ou acheminer hors du laboratoire.
Fig. 10:
Unité de calibration en admission de gaz
-5
hPa dans l'enceinte à vide avec l'admission de gaz ouverte. La pompe turbomolécu-
Bruit croissant de la pompe à membrane
La vitesse de rotation de la pompe à membrane est automatiquement adaptée aux diffé-
rents états de marche de la GSD 350. Ceci peut entraîner différents bruits croissants.
Changement de la fréquence de la pompe avec émission active
Vous pouvez changer la fréquence de la pompe à membrane pour des mesures sensibles
avec les spectromètre de masse et l'émission active. Ceci vous permet de réduire au mini-
mum l'influence sur le signal de mesure. Pour une description détaillée, se reporter au do-
cument DA0106 « Fonctionnement via interface Web et PV MassSpec ».
Pompe à membrane
1
2
3
4
3
Vanne d'isolement EVI 005 M
4
Récipient collecteur en verre pour le fluide de calibration
PFTBA
Description du produit
29/122
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