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Maintenance
10.10.6 Remplacement de l'unité de commande électronique TC 110 sur la pompe tur-
bomoléculaire
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
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10.11 Maintenance de l'unité de calibration
10.11.1 Appoint en fluide de calibration
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d'alimentation débranché
● Système de vide à l'arrêt et mis à l'air à la pression atmosphérique
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
● Aide au montage du support de gaz de calibration
Consommables requis
● Fluide de calibration (PFTBA) (référence PT 167 031)
10
Fig. 74:
1 Vanne d'isolement EVI 005 M
2 Joint
3 Écran
4 Joint
5 Récipient collecteur
102/122
Pfeiffer Vacuum
Service.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
Unité de calibration
6
Raccord à vis
7
Crochet
8
Écrou six pans
9
Couvercle
10
Vis à tête conique (3×)
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