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Description du produit
3.3.7 Système de purge de gaz neutre
Sur la version pour gaz corrosif, la purge de gaz neutre protège les paliers de la pompe turbomolécu-
laire et assure que le gaz corrosif est évacué vers la pompe à membrane sous une forme diluée. Cela
améliore la durée de vie de la pompe à membrane et empêche la condensation des vapeurs dans la
pompe à membrane. La version de gaz corrosif est dotée d'un régulateur de pression interne réglé en
usine qui utilise un rhéomètre pour assurer un flux adéquat de purge de gaz neutre. Une faible fraction
de la purge de gaz neutre atteint la vanne de purge de gaz neutre et de ventilation de la pompe turbo-
moléculaire via un diviseur de débit. La fraction principale de la purge de gaz neutre, environ 300 sccm,
s'écoule directement vers le raccord de gaz d'échappement. Si un conduit d'échappement ou un épura-
teur est raccordé, il ne doit pas y avoir de surpression au niveau du raccordement des gaz d'échappe-
ment.
Objet du manocontacteur numérique :
● fournir un indicateur visuel de la pression de la purge de gaz neutre interne (2 à 16 kPa de sur-
● émettre un signal qui déclenche la procédure d'arrêt si la pression de la purge de gaz neutre dé-
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Fig. 11:
1 Tuyau flexible entre la pompe à membrane et la
2 Pompe à membrane
3 Tuyau flexible de gaz d'échappement de la pompe
4 Vanne de retenue d'étranglement
5 Tuyau vers le raccord de gaz d'échappement
6 Vanne de retenue
7 Régulateur de pression manuel
8 Raccord de gaz d'échappement
3.3.8 Unité d'analyse de gaz
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pression) en aval du régulateur de pression
passe ou tombe en dessous de la plage autorisée
Concentrations de gaz admissibles
Pour calculer la toxicité de la purge de gaz neutre, on part du principe que la purge de gaz
neutre dilue les concentrations des gaz d'admission par un facteur > 100.
Système de purge de gaz neutre
pompe turbomoléculaire
à membrane
Principe fonctionnel du spectromètre de masse
Le principe fonctionnel du spectromètre de masse PrismaPro est décrit dans le manuel de
l'utilisateur correspondant.
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Raccord de la purge de gaz neutre
Manocontacteur numérique avec jauge
de pression
Tuyau vers la vanne de la purge de gaz
Tuyau flexible de la purge de gaz neutre
Tuyau vers la vanne de ventilation
Vanne de la purge de gaz
Vanne de ventilation
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