Description du produit
3.1.2 ThermoStar
Fig. 3:
1 Analyseur QMA 250 M
2 Source d'ions
3 Chauffage de récipient
4 Chauffage de l'admission de gaz
5 Capillaire en quartz avec chauffage
6 Vanne d'isolement EVI 005 M sur l'unité de calibration
7 Unité de calibration (en option)
3.1.3 Version pour gaz corrosifs
7
Fig. 4:
1 Raccordement à l'enceinte à vide
2 Raccord de gaz d'échappement
3 Vanne d'étranglement
4 Vanne de retenue
5 Manocontacteur numérique avec jauge de pression
3.2 Commandes et indicateurs
3.2.1 Version avec écran
L'écran tactile 7" est situé en face avant de l'unité et peut être retiré du carter via les 2 rainures de dé-
gagements sur le côté. Le champ opérateur et les touches opérateur sont sensibles au contexte et
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13
12
11
Diagramme du vide du ThermoStar
9
8
6
P
4
3
Alimentation supplémentaire en purge de gaz neutre dans la version pour gaz corro-
sif
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5
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8
Pompe turbomoléculaire
9
Pompe à membrane
10
Raccord de gaz d'échappement
11
Vanne de ventilation
12
Unité électronique QME 250
13
Jauge de pression totale
Vanne de la purge de gaz
Raccord de la purge de gaz neutre
Régulateur de pression manuel
Vanne de ventilation