Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original GSD 350 OMNISTAR ∣ THERMOSTAR Système d’analyse du gaz...
Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Page 3 Utilisation conforme Utilisation incorrecte envisageable Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Description fonctionnelle 3.1.1 OmniStar 3.1.2 ThermoStar 3.1.3 Version pour gaz corrosifs Commandes et indicateurs 3.2.1 Version avec écran...
Page 4 Table des matières 5.4.1 Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement 5.4.2 Raccordement du tuyau de gaz d’échappement Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre 5.5.1 Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre 5.5.2 Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre Raccordement du capillaire 5.6.1 Raccordement du capillaire en acier inoxydable OmniStar 5.6.2 Raccordement du capillaire ThermoStar quartz...
Page 5 Table des matières 10.2.2Retrait/fixation des couvercles sur le côté 10.2.3Retrait/fixation du couvercle de carter 10.2.4Nettoyage des pièces de carter 10.2.5Nettoyage des écrans de protection sur les ventilateurs 10.3 Maintenance du système de vide élevé 10.3.1Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation sur la pompe turbomoléculaire 10.3.2Remplacement de la vanne de ventilation 10.4 Maintenance du système de vide primaire...
Page 6 Dépannage Expédition Recyclage et mise au rebut 13.1 Informations générales sur la mise au rebut 13.2 Élimination du système d’analyse du gaz Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange Outil spécial Accessoires 17.1 Informations sur les accessoires 17.2 Commande d’accessoires Caractéristiques techniques et dimensions...
Page 7 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Documents applicables Tab. 2: Variantes Tab. 3: Caractéristiques des variantes Tab. 4: Abréviations employées Tab. 5: Conditions ambiantes autorisées Tab. 6: Symboles et couleurs des icônes d’état et de composant Tab. 7: LED d’état et leur signification Tab.
Page 8 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Position des autocollants sur le produit Fig. 2: Diagramme du vide de l’OmniStar Fig. 3: Diagramme du vide du ThermoStar Fig. 4: Alimentation supplémentaire en purge de gaz neutre dans la version pour gaz corrosif Fig.
Page 9 Liste des figures Fig. 55: Retrait/fixation du couvercle de carter Fig. 56: Face inférieure de l’unité Fig. 57: Remplacement de la pompe à membrane Fig. 58: Raccordement et retrait du tuyau de gaz d’échappement et d’admission Fig. 59: Spectromètre de masse quadripôle PrismaPro Fig.
Page 10 Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur « GSD 350 OmniStar/ThermoStar » DA 0106 Fonctionnement via l’interface Web et PV MassSpec Manuel de l’utilisateur « Spectromètre de masse quadripole » BG 6001 QMG 250 PrismaPro Guide de démarrage rapide «...
Page 11 A propos de ce manuel Désignation Document OM_ZSE_ISE30A_OML0003 Manuel de l’utilisateur « Manocontacteur numérique » (SMC) Déclaration de conformité (composante de ces instructions) Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Variante Version Analyseur avec filament...
Page 12 Caractéristiques des variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
Page 13 A propos de ce manuel Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique (exemple) Plaque signalétique de l’unité. D-35614 Asslar Mod. GSD 350 PT Q..
Page 14 Polymère de fluor et de carbone (polytétrafluoroéthylène) Tuyau flexi- Tuyau flexible polyuréthane calibré externe ble en PUN Pfeiffer Vacuum Chlorure de polyvinyle Type de modulation (impulsion avec modulation) dans laquelle une variable techni- que, par ex. la tension électrique, varie entre 2 valeurs.
Page 15 Internet Explorer ® sont des marques déposées de Microsoft Corporation. ● OmniStar ® ® ® , ThermoStar et PrismaPro sont des marques déposées de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Swagelok ® est une marque de commerce déposée de la société Swagelok. 15/122...
Page 16 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
Page 17 ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, con- tactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
Page 18 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la condui- te d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques.
Page 19 Sécurité AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irri- tation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ►...
Page 20 ► L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformé- ment au manuel de l'utilisateur. ► Conforme aux limites d'application. ► Observez la fiche technique. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour demander conseil sur les gaz corrosifs ou inflammables. 20/122...
Page 21 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
Page 22 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
Page 23 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Description fonctionnelle Le GSD 350 peut analyser différents composants de gaz simultanément. Le gaz à analyser passe à travers un capillaire pour atteindre le spectromètre de masse qui fonctionne dans un vide. Le spectro- mètre de masse ionise une partie du gaz et sépare et détecte les différents composants du gaz à...
Page 24 Description du produit 3.1.2 ThermoStar Fig. 3: Diagramme du vide du ThermoStar 1 Analyseur QMA 250 M Pompe turbomoléculaire 2 Source d’ions Pompe à membrane 3 Chauffage de récipient Raccord de gaz d’échappement 4 Chauffage de l’admission de gaz Vanne de ventilation 5 Capillaire en quartz avec chauffage Unité...
Page 25 Description du produit changent afin de refléter les fonctions de l’écran. Les fonctions indisponibles sont grisées. Sur l’écran « Messages », les niveaux de message inactifs sont aussi affichés comme des boutons gris. Messages d’avertissement ou de défaut En cas de message d’anomalie ou d’avertissement, un triangle d’avertissement apparaît en haut à...
Page 26 Description du produit Fonction Description Filament La LED s’allume en présence d’un flux dans le filament. chauffé Purge La LED s’allume lorsque le raccordement à la purge de gaz neutre est éta- blie ; elle clignote lorsque la surveillance de la purge de gaz neutre est shun- tée (uniquement pour les travaux de maintenance).
Page 27 Description du produit www.vsm-cloud.com D-35614 Asslar Mod. GSD 350 PT Q..Input Made in Germany 2022/02 Fig. 7: Panneau de connexion avec interfaces et connexions 1 Raccord de terre (terre fonctionnelle) Manocontacteur numérique pour purge de gaz neutre 2 Alimentation avec interrupteur de mise sous tension Connexion Ethernet (RJ-45) 3 Raccord de gaz d’échappement Connexion «...
Page 28 Le PFTBA présente l'inconvénient de laisser des traces dans le signal de fond de l'unité longtemps après la fermeture de la vanne de calibration. Si cela interfère avec l'analyse des gaz prévue, Pfeiffer Vacuum recommande l’étuvage de l’enceinte à vide après le cali- bration avec le PFTBA.
Page 29 Description du produit Fig. 9: Unité de calibration en admission de gaz 1 Admission de gaz Vanne d’isolement EVI 005 M 2 Tube en acier inoxydable 1/8 po Récipient collecteur en verre pour le fluide de calibration PFTBA 3.3.5 Système côté vide élevé La pompe turbomoléculaire fonctionne selon le principe SplitFlow et maintient une pression de fonction- nement <...
Page 30 Description du produit 3.3.7 Système de purge de gaz neutre Sur la version pour gaz corrosif, la purge de gaz neutre protège les paliers de la pompe turbomolécu- laire et assure que le gaz corrosif est évacué vers la pompe à membrane sous une forme diluée. Cela améliore la durée de vie de la pompe à...
Page 31 Description du produit Le spectromètre de masse analyse la petite fraction de gaz à analyser pénétrant dans l’enceinte à vide via l’orifice. Quand l’émission est activée, l’unité d’analyse de gaz peut déterminer la pression dans l’en- ceinte à vide de façon autonome et l’afficher dans le logiciel PV MassSpec. L’unité d’analyse de gaz a aussi une jauge de pression totale sur l’enceinte à...
Page 32 Description du produit Chauffage de récipient (étuvage) L’étuvage réduit les gaz de condensation adhérant à la surface de l’enceinte à vide. Cela conduit à une pression totale plus faible dans l’enceinte à vide, et à un signal de fond plus faible pendant les mesures. La quantité...
Page 33 Description du produit Fig. 14: Chauffage de l’admission de gaz 1 Chauffage du capillaire dans le tube capillaire Coussin de chauffage (collé à la plaque de conducteur thermique) 2 Douille isolante du couvercle de l’admission de Plaque de conducteur thermique 3 Couvercle de l’admission de gaz Douille isolante de paroi arrière Chauffage du capillaire...
Page 34 3.4 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. 1. Relever les données sur la plaque signalétique produit. 2. Enregistrer ces données. 3. Toutes les caractéristiques de la plaque signalétique doivent toujours être disponibles.
Page 35 ● Protection pour le transport, pour l’analyseur QMA 250 M ● Câble Ethernet, 3 m de long, rouge ● Câble de secteur ● Manuel de l’utilisateur ─ GSD 350 OmniStar/ThermoStar ─ Composants (voir chapitre « Documents applicables », page 10) Fig. 17: Équipement de montage pour analyseur QMA 250...
Page 36 Transport et stockage 4 Transport et stockage AVERTISSEMENT Risque de blessure lors du levage de charges lourdes Le produit est lourd ; il peut peser jusqu’à 26 kg, selon la version. Une personne soulevant le produit sans aide et de manière incorrecte risque de se blesser. ►...
Page 37 Transport et stockage 4. Installez toujours l’ensemble de la protection pour le transport avant le transport. 5. Retirez le cache de protection existant seulement juste avant l’installation. Installation de la protection pour le transport de la pompe à membrane 1. Soulevez légèrement le côté gauche de la GSD 350. 2.
Page 38 Installation 5 Installation 5.1 Assurer la ventilation AVIS Dégâts causés par surchauffe La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil. ► Veillez à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil. ► Si nécessaire, contrôlez et nettoyez régulièrement le filtre à air installé. Fig.
Page 39 Installation Procédé La protection pour le transport est située au-dessous de la GSD 350. Pfeiffer Vacuum a marqué la pro- tection pour le transport avec une patte au départ usine. 1. Installez l’unité GSD 350 à l’emplacement d’utilisation. 2. Soulevez légèrement le côté gauche de la GSD 350 pour accéder sous l’unité.
Page 40 Installation 5.4.2 Raccordement du tuyau de gaz d’échappement Condition préalable ● Conduite d'échappement non pressurisée Équipement nécessaire ● Tuyau d’échappement PE (Ø extérieur = 6 mm) ● en option : connecteurs mâle-femelle IQS ou Schott supplémentaires Connecteurs mâle-femelle IQS Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint. Le tuyau flexible est correctement raccordé...
Page 41 Installation 5.5.2 Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre Condition préalable ● Conduites de purge de gaz et d'échappement non pressurisées Équipement nécessaire ● Tuyau de purge de gaz neutre PE (Ø extérieur = 4 mm) ● en option : connecteurs mâle-femelle IQS ou Schott supplémentaires Connecteurs mâle-femelle IQS Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint.
Page 42 Installation AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement.
Page 43 Pour optimiser le positionnement du tube capillaire pour des applications spécifiques, 3 positions du tuyau flexible capillaire sont possibles. Pfeiffer Vacuum fournit la GSD 350 avec le tuyau flexible de ca- pillaire sur le côté droit. Des bouchons borgnes viennent obturer les deux positions non utilisées.
Page 44 Les adresses IP entrent en conflit en cas de raccordement de plusieurs unités Pfeiffer Vacuum fournit à chaque GSD 350 la même adresse IP par défaut. Si vous souhaitez con- necter plusieurs unités GSD 350, gardez à l’esprit que leurs adresses IP ne sont pas uniques au dé- part La connexion simultanée de plusieurs GSD 350 avec une adresse IP standard identique entraî-...
Page 45 Installation Réglage des adresses IP ► Recommandation : utilisez des adresses IP statiques. – Vous pouvez régler et modifier manuellement les adresses IP statiques. ► N’utilisez pas d’adresses IP dynamiques. – Un hôte (DHCP) règle automatiquement ces adresses IP ► Une alternative à la modification de l’adresse IP du consiste à modifier l’adresse IP de l’ordinateur hôte, afin de permettre la communication entre l’ordinateur hôte et l’unité...
Page 46 Installation Fig. 29: Changement de l’adresse IP de la GSD 350 via l’interface Web Procédé ► Utilisation de l’affichage pour modifier l’adresse IP de l’unité (voir chapitre « Réglage des paramè- tres réseau », page 64). ► Utilisation de l’interface Web pour modifier l’adresse IP de l’unité. 5.8.4 Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte Droits d’administrateur Les étapes suivantes sont valables pour le système d’exploitation Windows 10.
Page 47 Installation 12. Sélectionnez Sauvegarder. – L’adresse IP de votre ordinateur est alors réglée sur l’adresse IP manuelle sélectionnée. 13. Fermez toutes les fenêtres de réglages ouvertes. 5.9 Raccordement de la terre fonctionnelle DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier.
Page 48 Installation 5.10 Raccordement de l’alimentation électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel.
Page 49 Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de l’unité et des dommages matériels. Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires torsadées. ► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
Page 50 Interfaces et connexions avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez visualiser l’état de cette entrée ou l’utiliser pour la recette ou la commande séquentielle. ● Nombre total de canaux : 1 ● Connexion « consommateur I/O » : DI1 Sortie relais Vous pouvez réglez la sortie relais (24 V CA/CC, 1 A) via la sortie numérique DO8.
Page 51 Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de l’unité et des dommages matériels. Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires torsadées. ► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
Page 52 Interfaces et connexions Fig. 34: Connexion « AUX IO » Sortie analogique AO2 Sortie analogique AO3 Terre analogique Terre ou masse numérique Entrée analogique AI3 (-) Entrée analogique AI3 (+) Entrée analogique AI4 (-) Entrée analogique AI4 (+) Entrée analogique AI5 (-) Entrée analogique AI5 (+) Terre analogique Terre ou masse numérique...
Page 53 Mise en service 7 Mise en service AVIS Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la pompe turbomoléculaire. ► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câ- bles ou les seuils de porte.
Page 54 Mise en service Fig. 37: Écran de « commande » Pompage du système de vide 1. Basculez sur l’écran « Control ». 2. Appuyez sur le bouton « Pump down » (voir chapitre « Pompage du système de vide », pa- 67).
Page 55 Fonctionnement via l’affichage 8 Fonctionnement via l’affichage Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont dis- ponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106. Le GSD 350 peut fonctionner via l’affichage ou l’interface web.
Page 56 Fonctionnement via l’affichage Fig. 38: Écran « Tableau de bord » 1 Valeur actuelle de la pression dans l’enceinte à vide État du chauffage 2 Triangle d’avertissement en cas d’avertissement ou de message État du système de vide d’anomalie 3 Réglages de l’utilisateur Lien vers le tableau de bord 4 État du système 8.2 Structure du menu avec les fonctions...
Page 57 Fonctionnement via l’affichage Menu Sous-programmes, fonctions et informations 1er niveau 2e niveau Réglages Recettes Créer une nouvelle recette (voir page 58) Recettes par défaut pour l’air Unités de chauffage Capillaire Admission de gaz Enceinte à vide Capteurs Jauges Capteur de purge de gaz neutre Réglages de l’utilisateur Nom de l’utilisateur Rouleau...
Page 58 Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et en- dommagent l’unité et ses composants. Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 59 Fonctionnement via l’affichage Utilisation d’un interrupteur pour modifier les paramètres 1. Naviguez vers le paramètre souhaité. 2. Appuyez sur le symbole de l’interrupteur pour basculer ce dernier. 3. Appuyez sur le bouton « Save » pour enregistrer les modifications. Appuyez sur le bouton « Back » pour annuler les modifications. 4.
Page 60 Fonctionnement via l’affichage Fig. 41: Recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre » Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre » 1. Appuyez sur le bouton « New recipe ». 2.
Page 61 Fonctionnement via l’affichage Fig. 43: Recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées – Spécial » Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées » 1. Appuyez sur le bouton « Nouvelle recette ». 2.
Page 62 Fonctionnement via l’affichage Fig. 44: Mode de trempage de l’enceinte à vide En principe, le GSD 350 ne chauffe pas l’enceinte à vide pendant une opération de mesure. Pour cer- taines mesures analytiques, vous pouvez activer le « Tempering mode » dans le sous-menu « Vacuum chamber ».
Page 63 Fonctionnement via l’affichage 8.4.4 Modification des réglages de l’utilisateur Fig. 45: Sous-menu « Réglages de l’utilisateur » Vous pouvez changer d’unité de variables physiques de pression et de température dans le menu Navi- gation dans le sous-menu « Réglages de l’utilisateur ». Vous pouvez également définir la langue, la da- te et l’heure.
Page 64 Fonctionnement via l’affichage Vide requis dans l’enceinte à vide Les fonctions de démarrage automatique « Chauffage » et « Admission de gaz » sont dis- ponibles uniquement en combinaison avec la fonction de démarrage automatique « Vide », car le vide requis doit avoir été établi dans l’enceinte à vide pour ces fonctions de démarra- ge automatique.
Page 65 Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et en- dommagent l’unité et ses composants. Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 66 Fonctionnement via l’affichage Fig. 50: Exemple de messages anciens Accès aux messages d’avertissement et de dysfonctionnement ► Basculez dans le menu « Messages » ou appuyez sur le triangle d’avertissement. – Les messages d’avertissement et de dysfonctionnement apparaissent. ► Effleurez le bouton « Historique » pour accéder aux anciens messages. ►...
Page 67 Fonctionnement via l’affichage Fig. 51: Menu « Commande » 1 Pression dans l’enceinte à vide (manomètre de pres- État du filament chauffé du spectromè- sion totale) tre de masse et du multiplicateur d’électrons 2 Vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire 8.6.1 Pompage du système de vide Condition préalable ●...
Page 68 Fonctionnement via l’affichage sion était encore activée au moment du démarrage de la « Ventilation », le timer démarre à 15 mi- nutes. Le temps restant du timer est affiché en haut à droite de l’écran. ● Une fois le temps du timer écoulé, la pompe à membrane s’arrête ainsi que la pompe turbomolé- culaire.
Page 69 Fonctionnement via l’affichage 8.6.5 Étuvage de l’enceinte à vide Une fois le timer écoulé, l’étuvage est automatiquement désactivé, ou alors l’utilisateur peut sélection- ner la fonction « Étuvage désactivé ». Condition préalable ● GSD 350 prête pour la mesure (vide prêt) Étuvage de l’enceinte à...
Page 70 Fonctionnement via l’affichage 8.6.7 Activation et désactivation du multiplicateur d’électrons Des dysfonctionnements ou des conditions non admissibles se traduisent par une désactivation auto- matique du multiplicateur d’électrons. Si l’émission du filament est coupée manuellement ou automatiquement, le multiplicateur d’électrons est également coupé automatiquement. Conditions préalables ●...
Page 71 Fonctionnement via l’affichage Fig. 52: Sélection de la recette Lancement de la mesure 1. Dans le menu « Control », activez le filament chauffé et, si nécessaire, le multiplicateur d'élec- trons. 2. Dans le menu « Measure », actionnez le bouton « Start ». 3.
Page 72 Mise hors service 9 Mise hors service AVIS Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la pompe turbomoléculaire. ► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câ- bles ou les seuils de porte.
Page 73 Pfeiffer Vacuum. Ces consignes s’appliquent aussi s’il ne s’agit pas de pièces de rechange d’origine.
Page 74 Maintenance Groupe de composants, module Intervalle Niveau de Pièces de maintenan- rechange/jeu de piè- et action ces de rechange Instrument fondamental Remplacer les vis du carter en cas de perte Vis du carter Nettoyer les pièces du carter Si nécessaire Remplacer le couvercle de l’admission de Si nécessaire Couvercle de l’admis-...
Page 75 Maintenance Groupe de composants, module Intervalle Niveau de Pièces de maintenan- rechange/jeu de piè- et action ces de rechange Découpage à longueur des capillarités en En cas de bouchon quartz Remplacement du capillaire en quartz En cas de bouchon Capillaire Joints de capillaire Composants électroniques Remplacement de l’affichage...
Page 76 ● Admission de gaz ● Réservoir du fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire ● Ouverture de service du fluide de calibration (PFTBA) Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance rac- courcis lié au processus. 76/122...
Page 77 ● Admission de gaz ● Réservoir du fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire ● Ouverture de service du fluide de calibration (PFTBA) Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance rac- courcis lié au processus. Conditions préalables ●...
Page 78 ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, con- tactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
Page 79 Maintenance AVIS Dégâts causés par la pénétration d'humidité La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil. ► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec. ►...
Page 80 Maintenance 10.3 Maintenance du système de vide élevé 10.3.1 Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation sur la pompe turbomolécu- laire AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Ris- que d’empoisonnement en cas d’inhalation. ►...
Page 81 Maintenance 10.3.2 Remplacement de la vanne de ventilation Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service. 10.4 Maintenance du système de vide primaire 10.4.1 Remplacement de la pompe à membrane Conditions préalables ● GSD 350 désactivée ● Câble d’alimentation débranché...
Page 82 Maintenance Fig. 57: Remplacement de la pompe à membrane 1 Boulon six pans M4×10 (4×) Amortisseur de vibrations à ressorts (4×) 2 Disques de blocage (4×) Ressort de compression (4×) 3 Borne du raccord de terre Plaque de fixation 4 Vis à tête hexagonale M4×12 (2×) Écrou (4×) 5 Disques de blocage (2×) Support de pompe à...
Page 83 Maintenance 5. Débranchez le connecteur D-Sub sur la pompe à membrane. 6. Desserrez le raccord de terre sur la pompe à membrane. 7. Dévissez les vis à six pans creux avec les rondelles du support de pompe à membrane. 8. Retirez la pompe à membrane et son support de la plaque de fixation, en tournant doucement. 9.
Page 84 Maintenance 10.5 Maintenance de l’unité d’analyse de gaz 10.5.1 Maintenance de l’analyseur QMA 250 M AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes.
Page 85 ► Recommandation : Remplacez les deux filaments chauffés dès que possible en cas de défaillan- ce d’un filament chauffé. ► Vérifiez également l’état de la source d’ions. – En cas de forte contamination de la source d’ions, Pfeiffer Vacuum recommande le remplace- ment de l’ensemble de la source d’ions. Effectuer la maintenance de l’analyseur 1.
Page 86 Maintenance 8. Serrez l’analyseur de manière à ce que la source d’ions reste positionnée au centre dans la bride. 9. Positionnez l’unité électronique sur l’analyseur. – La gorge dans l’analyseur doit s’engager dans la patte sur l’unité électronique. 10. Serrez le collier de serrage noir sur l’unité électronique. 11.
Page 87 Maintenance 6. Installez la jauge sur le raccord angulaire à l’aide d’un nouveau joint cuivre plaqué argent. 7. Mettez le matelas isolant en place autour du raccord angulaire et la bride de manomètre. 8. Connectez les câbles de raccordement au manomètre. 10.6 Maintenance du système d’admission de gaz sur Omnistar AVIS Défaillance due à...
Page 88 Maintenance 10.6.1 Retrait de la bride de l’admission de gaz AVIS Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomo- léculaire.
Page 89 Maintenance 8. Tirez sur la cartouche de chauffage pour la sortir du bloc de vannes. 9. Desserrez les rondelles de serrage et les vis à six pans creux sur le bloc de vannes. 10. Tirez sur le bloc de vannes avec précaution vers l’avant pour le sortir de la bride de raccorde- ment.
Page 90 Maintenance Fig. 64: Diffuseur de gaz environ 1–2 mm derrière l’extrémité du manchon céramique 1 Douille en céramique Diffuseur de gaz 2 Ressort de compression Procédé 1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur le bloc de vannes. 2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice. 3.
Page 91 ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Réduisez d’abord la longueur ou remplacez le capillaire en quartz Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire quart, et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire quartz ne donnent pas les résultats escomptés.
Page 92 Maintenance Fig. 65: Pièces du diffuseur de gaz interne sur ThermoStar 1 Douille en céramique Écran 2 Ressort de compression Joint torique, intérieur 3 Diffuseur de gaz Joint torique, extérieur 10.7.1 Retrait de la bride de l’admission de gaz AVIS Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomo- léculaire.
Page 93 Maintenance Fig. 66: Retrait de la bride de l’admission de gaz 1 Disques de blocage (2×) Borne de connexion 2 Vis à six pans creux intérieurs (2×) Raccord à vis du capillaire 3 Vis à tête arrondie Bride d’aspiration de gaz 4 Capteur de température Bride de raccordement Procédé...
Page 94 Maintenance 6. Si l’orifice ne peut pas être desserré avec l’outil spécial, tapez doucement l’admission de gaz sur une surface non dure pour le faire tomber. 7. Positionnez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz en l’orientant correctement de manière à ce que le côté...
Page 95 Pfeiffer Vacuum. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous avez des ques- tions. Réduction ou remplacement du capillaire Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire, et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire ne donnent pas les résul- tats escomptés.
Page 96 Maintenance 10.8.1 Réduction de la longueur des capillarités en acier inoxydable Longueur nécessaire des capillarités en acier inoxydable Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 15 cm + longueur requise au point de mesure Le capillaire fait partie du système de réduction de pression. Un capillaire dont la longueur dépasse 2 m peut entraîner des pressions plus basses dans l’enceinte à...
Page 97 Maintenance Contrôle de la pression dans l’enceinte à vide 1. Contrôlez la pression dans l’enceinte à vide. – La pression affichée doit être de ≥ 1 × 10 hPa avec la vanne de débitmètre ouverte. 2. Si la pression affichée est < 1 × 10 hPa, les causes suivantes sont possibles : –...
Page 98 Maintenance Procédé 1. Découpez à la longueur les capillarités en acier inoxydable. – Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 15 cm + longueur requise au point de mesure 2. Ouvrez le raccord à chapeau de serrage de refroidissement. 3.
Page 99 Maintenance Mise en service de l’unité 1. Démarrez le système de pompage. 2. Attendez pendant le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire (environ 5 minutes). Contrôle de la pression dans l’enceinte à vide 1. Contrôlez la pression dans l’enceinte à vide. –...
Page 100 ► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus. ► Portez des gants de protection (conformément à EN 420). 10.9.1 Remplacez le tube capillaire Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 101 6. Placez l’affichage dans le GSD 350. Pendant la phase d’accélération, le GSD 350 synchronise automatiquement l’affichage avec la configu- ration du GSD 350. 10.10.2 Remplacement de l'injecteur PoE Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Page 102 Maintenance 10.10.6 Remplacement de l’unité de commande électronique TC 110 sur la pompe tur- bomoléculaire Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service. 10.11 Maintenance de l’unité de calibration 10.11.1 Appoint en fluide de calibration Conditions préalables ● GSD 350 désactivée ●...
Page 103 Pour cette étape, vous devez tirer la GSD 350 à environ 17 cm du bord de la table pour pouvoir ouvrir le couvercle de la base du carter de la GSD 350. Pfeiffer Vacuum recom- mande de vous faire assister par une autre personne pour éviter que la GSD 350 glisse pendant cette étape.
Page 104 Dépannage 11 Dépannage Notes sur la gestion des dysfonctionnement dans les menus d’aide Pour de plus amples informations sur les messages d’anomalie et le dépannage lors de l’utilisation de l’appareil via l’interface Web ou lors de l’utilisation du logiciel PV MassSpec, se référer aux menus d’aide correspondants.
Page 105 Dépannage Problème Cause possible Action corrective Après l’instruction de réglage « Refou- Le temps d’accéléra- Patientez jusqu’à la fin du temps ler », la pompe turbomoléculaire ne par- tion de la pompe tur- d’accélération < 8 minutes. vient pas à atteindre la vitesse de rotation bomoléculaire n’est nominale (l’icône reste en vert foncé).
Page 106 Dépannage Problème Cause possible Action corrective La pression dans l’enceinte à vide avec Le système n’est pas Continuez le pompage. la fermeture de la vanne de débitmètre en route depuis long- temps est > 1 × 10 hPa (seulement pour Om- niStar).
Page 107 Dépannage Problème Cause possible Action corrective Pas de pic de masse visible dans la pla- Sensibilité trop basse Lire le manuel de l’utilisateur du ge > 200 u lors de la calibration de du spectromètre de spectromètre de masse pour de l’échelle de masse (version avec unité...
Page 108 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité...
Page 109 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 13.2 Élimination du système d’analyse du gaz Les systèmes d’analyse du gaz Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Démontez les éléments du boîtier. 2. Démontez tous les composants individuels.
Page 110 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
Page 111 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
Page 112 Pièces de rechange 15 Pièces de rechange Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. Désignation Référence Description/contenu de la livraison Structure et éléments du carter Couvercle de carter PT 167 000...
Page 113 Pièces de rechange Désignation Référence Description/contenu de la livraison Analyseur PT M25 451 1 – 100 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé tungstène et EM PT M25 452 1 – 100 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé Ir-Y et EM PT M25 453...
Page 114 Pièces de rechange Description Nombre par Référence (Tempel) GSD 350 Raccord à connecteur angulaire, long, filetage 1/8", 8 mm IQSLL 188 G Raccord à bouchon angulaire, filetage 1/8", 4 mm IQSL 184 GL Raccord à connecteur angulaire, long, filetage 1/4", 8 mm IQSLL 148 G Raccord à...
Page 115 Outil spécial 16 Outil spécial Désignation Référence Usage Clé à écrou pour couvercle de car- PV M40 813 (voir chapitre « Remplacement du réservoir de ter de pompe turbomoléculaire fluide d’exploitation sur la pompe turbomolécu- laire », page 80) Jauge de centrage pour QMA PT 167 082 (voir chapitre «...
Page 116 Accessoires 17 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ThermoStar et OmniStar. 17.1 Informations sur les accessoires Adaptateur de tube capillaire L’adaptateur de tube capillaire est utilisé pour raccorder correctement le tube capillaire. Fig. 78: Adaptateur de tube capillaire 17.2 Commande d’accessoires Description Référence...
Page 117 Caractéristiques techniques et dimensions 18 Caractéristiques techniques et dimensions 18.1 Généralités mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1,000 1,000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7.5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1,000 Torr | mm Hg 1,33...
Page 118 Caractéristiques techniques et dimensions Configuration (domaine de masse) 1 à 100 u 1 à 200 u 1 à 300 u Diamètre OmniStar : OD = 1/16", ID = 0,12 mm ThermoStar : OD = 0,23 mm, ID = 0,14 mm Température de fonctionnement du ca- 200 °C (350 °C également disponible) pillaire...
Page 119 Caractéristiques techniques et dimensions Configuration (domaine de masse) 1 à 100 u 1 à 200 u 1 à 300 u Entrées analogiques 5× ±10 V, résolution 14 et 16 bit Entrées numériques 4× nominal +24 V Sorties analogiques 4× 0 à 10 V, I = 10 mA, résolution 16 bit Sorties numériques 6×...
Page 120 The product GSD 350 OmniStar/ThermoStar - conforms to the UL standards UL 61010-1:2012 R4.16 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use Part 1: General requirements TÜV Rheinland UL 61010-2-010:2014 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use...
Page 121 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Système d’analyse de gaz GSD 350 OmniStar GSD 350 ThermoStar Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée...

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