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Le spectromètre de masse analyse la petite fraction de gaz à analyser pénétrant dans l'enceinte à vide
via l'orifice. Quand l'émission est activée, l'unité d'analyse de gaz peut déterminer la pression dans l'en-
ceinte à vide de façon autonome et l'afficher dans le logiciel PV MassSpec. L'unité d'analyse de gaz a
aussi une jauge de pression totale sur l'enceinte à vide qui permet une mesure du vide dans le domaine
de pression allant de 1000 à 5 × 10
totale mesurée peut être lue sur l'affichage, l'UI Web et dans le logiciel PV MassSpec.
Fig. 12:
1 Jauge de pression totale
2 Unité électronique QME 250
3 Capteur de température
4 Cartouche de chauffage dans l'enceinte à vi-
5 Vanne de la purge de gaz sur la version pour
3.3.9 Chauffage et isolation
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l'admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d'avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d'intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
Les dispositifs de chauffage de l'unité peuvent être totalement contrôlées via le contrôleur de l'unité.
Type
Chauffage du capillaire (200 °C)
Chauffage du capillaire (350 °C)
Chauffage de l'admission de gaz
Chauffage de récipient
Tab. 8:
10
9
8
7
Composants de l'unité d'analyse de gaz
de
gaz corrosif
AVERTISSEMENT
Dispositifs de chauffage sur l'unité
-9
hPa indépendamment du spectromètre de masse. La pression
1
4
3
4
5
6
6
7
8
9
10
Température (max.)
200 °C
350 °C
100 °C
130 °C
Description du produit
2
Vanne de ventilation
Pompe turbomoléculaire
Aspiration intermédiaire de la pompe turbomo-
léculaire
Source d'ions pour analyseur QMA 250 M
Enceinte à vide
Température (réglable)
80 à 200 °C
80 à 350 °C
Réglé automatiquement
40 à 130 °C
31/122
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