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Description du produit
tre de masse ne peut pas être déterminé et ajusté. Si c'est nécessaire, la pénétration d'un gaz très pro-
pre (gaz zéro) permet de déterminer avec précision le bruit de fond du spectromètre de masse, même à
la pression de travail (environ 1 × 10
pression que pour le gaz à analyser.
7
Fig. 8:
1 Admission de gaz Thermostat
2 Enceinte à vide
3 Pompe turbomoléculaire
4 Aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire
3.3.4 Unité de calibration
L'unité de calibration optionnelle permet la calibration de 'échelle de masse et de la résolution du spec-
tromètre de masse dans le domaine de masse haut (> 200 u). Un récipient collecteur en verre avec de
la perfluortributylamine (PFTBA) sert de fluide de calibration et est inséré dans l'enceinte à vide via un
orifice et une vanne d'isolement. L'enceinte à vide est raccordée sur le côté, via une bride DN 40 CF
sur la face avant. La vanne d'isolement sur l'unité de calibration peut être ouverte et fermée via la com-
mande du GSD 350.
28/122
1
8
6
5
4
3
Systèmes d'admission de gaz
Perfluorotributylamine (PFTBA) dans le signal de fond
Le PFTBA présente l'inconvénient de laisser des traces dans le signal de fond de l'unité
longtemps après la fermeture de la vanne de calibration. Si cela interfère avec l'analyse
des gaz prévue, Pfeiffer Vacuum recommande l'étuvage de l'enceinte à vide après le cali-
bration avec le PFTBA.
-5
hPa). Le gaz zéro doit être injecté dans les mêmes conditions de
2
5
Bride de raccordement
6
Admission de gaz Omnistar
7
Vanne de débitmètre
8
Vanne Split-flow
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